一种数字移相器制造技术

技术编号:10249968 阅读:132 留言:0更新日期:2014-07-24 05:37
本发明专利技术提供了一种数字移相器,该数字移相器的开关器件为具有GaN基异质结的高电子迁移率场效应晶体管,该场效应晶体管的异质结上设置有肖特基接触电极和欧姆接触电极。该移相器可以工作在高温大功率等恶劣的条件下,可以进一步改善雷达收发组件的性能,并能减小器件的体积,提高集成度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种数字移相器,其特征在于,该数字移相器的开关器件为具有GaN基异质结的高电子迁移率场效应晶体管,该场效应晶体管的异质结上设置有肖特基接触电极和欧姆接触电极。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:罗卫军陈晓娟袁婷婷庞磊刘新宇
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:北京;11

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