本实用新型专利技术涉及一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁通过支柱与立柱连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁上部设有气缸，横梁下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，所述立柱与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁与立柱相对应的一侧下部安装有轴承座，此轴承座与立柱上端的轴承相连接。本实用新型专利技术的有益效果为：将立柱做成旋转可调式立柱，横梁与可调式立柱连接，当上盘需要贴抛光布或更换磨盘时，可以将横梁转动一定的角度，这样上盘就转到机座以外的地方，如此贴抛光布或更换磨盘时比较方便快捷，使操作员对上盘下盘进行贴抛光布或更换磨盘的工序时简单方便，降低操作难度，减少操作时间，提高生产率。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁通过支柱与立柱连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁上部设有气缸，横梁下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，所述立柱与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁与立柱相对应的一侧下部安装有轴承座，此轴承座与立柱上端的轴承相连接。本技术的有益效果为：将立柱做成旋转可调式立柱，横梁与可调式立柱连接，当上盘需要贴抛光布或更换磨盘时，可以将横梁转动一定的角度，这样上盘就转到机座以外的地方，如此贴抛光布或更换磨盘时比较方便快捷，使操作员对上盘下盘进行贴抛光布或更换磨盘的工序时简单方便，降低操作难度，减少操作时间，提高生产率。【专利说明】一种双面抛光机
本技术涉及一种双面抛光机。
技术介绍
蓝宝石(AL203)为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括平面度，平行度达到0.005mm，光洁度达到0.5nm。现有的双面抛光机，主要包括机座，立柱，横梁，工作面板，电机传动系统,上磨盘，上磨盘支撑机构，气缸，下磨盘，内齿圈，太阳齿，和多块游星轮组成。其中横梁通过两根立柱安装在机座上，气缸安装在横梁上，上磨盘与上磨盘支撑机构固定，上磨盘支撑机构与气缸相连，这样通过气缸推动上盘上下运动，并控制气缸的进气气压来控制上盘的压力。这种固定式横梁机构存在一些不足:当在上盘上贴抛光垫的时候，由于上下盘距离有限，因此粘贴的时候操作起来相当困难，况且也不方便抛光，操作不够便捷，影响工作效率等诸多缺点。
技术实现思路
针对上述问题中存在的不足之处，本技术提供一种双面抛光机。为实现上述目的，本技术提供一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁通过支柱与立柱连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁上部设有气缸，横梁下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，所述立柱与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁与立柱相对应的一侧下部安装有轴承座，此轴承座与立柱上端的轴承相连接。进一步的，所述支撑装置包括支撑块与锁紧螺母，支撑块套在横梁下部并与支柱上端的锁紧螺母相卡接，锁紧螺母两侧均设有把手二。进一步的，所述横梁侧部安装有把手一。本技术的有益效果为:将立柱做成旋转可调式立柱，横梁与可调式立柱连接，当上盘需要贴抛光布或更换磨盘时，可以将横梁转动一定的角度，这样上盘就转到机座以外的地方，如此贴抛光布或更换磨盘时比较方便快捷，使操作员对上盘下盘进行贴抛光布或更换磨盘的工序时简单方便，降低操作难度，减少操作时间，提高生产率。【专利附图】【附图说明】图1为本技术一种双面抛光机的主视图；图2为本技术一种双面抛光机的使用状态图。图中:1、横梁；2、把手一 ；3、支撑块；4、锁紧螺母；5、把手二 ；6、支柱；7、轴承；8、轴承座；9、立柱。【具体实施方式】如图1-2所示，本技术实施例所述的一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁I通过支柱6与立柱9连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁I上部设有气缸，横梁I下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，所述立柱9与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁I与立柱9相对应的一侧下部安装有轴承座8，此轴承座8与立柱9上端的轴承7相连接。将立柱做成旋转可调式立柱，横梁与可调式立柱连接，当上盘需要贴抛光布或更换磨盘时，可以将横梁转动一定的角度，这样上盘就转到机座以外的地方，如此贴抛光布或更换磨盘时比较方便快捷，使操作员对上盘下盘进行贴抛光布或更换磨盘的工序时简单方便，降低操作难度，减少操作时间，提高生产率。所述支撑装置包括支撑块3与锁紧螺母4，支撑块3套在横梁I下部并与支柱6上端的锁紧螺母4相卡接，锁紧螺母4两侧均设有把手二 5。采用上述结构便于横梁与支柱弹开。所述横梁I侧部安装有把手一 2，便于操作。具体使用时:横梁I右端与轴承座8连接，轴承座8同构轴承7与立柱9连接，如此横梁I就可绕着立柱9旋转。横梁I左端与支撑块3连接，支撑块3与锁紧螺母4配合，当利用锁紧螺母4上的把手5旋转锁紧螺母4时，支撑块3便随着锁紧螺母4往上或往下运动，当横梁I需要转动时，支撑块3调低并脱离横梁1，这样横梁I就可以轻松的转动。当横梁I需要与立柱6固定时，就将支撑块3调高，顶住横梁I时便可锁紧。此套机构使得横梁的固定与续传变的轻松快捷，安全可靠。惟以上所述者，仅为本技术的较佳实施例而已，举凡熟悉此项技艺的专业人士。在了解本技术的技术手段之后，自然能依据实际的需要，在本技术的教导下加以变化。因此凡依本技术申请专利范围所作的同等变化与修饰，曾应仍属本技术专利涵盖的范围内。【权利要求】1.一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁(I)通过支柱(6)与立柱(9)连接,机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁(I)上部设有气缸，横梁(I)下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，其特征在于:所述立柱(9)与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁(I)与立柱(9)相对应的一侧下部安装有轴承座(8),此轴承座(8)与立柱(9)上端的轴承(7)相连接。2.根据权利要求1所述的双面抛光机，其特征在于:所述支撑装置包括支撑块(3)与锁紧螺母(4)，支撑块(3)套在横梁(I)下部并与支柱(6)上端的锁紧螺母(4)相卡接，锁紧螺母(4 )两侧均设有把手二( 5 )。3.根据权利要求1所述的双面抛光机，其特征在于:所述横梁(I)侧部安装有把手一(2)。【文档编号】B24B39/06GK203665310SQ201420004463【公开日】2014年6月25日 申请日期:2014年1月3日 优先权日:2014年1月3日 【专利技术者】岳伟, 陈志嵩, 殷华林, 戴安娜, 伊莲娟, 毛可勇, 李海宁 申请人:常州贝斯塔德机械科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种双面抛光机，包括机座，所述机座与横梁（1）通过支柱（6）与立柱（9）连接，机座上部安装有游星轮与太阳轮，机座内部安装有电机传动系统，横梁（1）上部设有气缸，横梁（1）下部安装有上磨盘支撑机构，此上磨盘支撑机构与气缸连接，其特征在于：所述立柱（9）与横杆之间安装有支撑装置，所述横梁（1）与立柱（9）相对应的一侧下部安装有轴承座（8），此轴承座（8）与立柱（9）上端的轴承（7）相连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：岳伟，陈志嵩，殷华林，戴安娜，伊莲娟，毛可勇，李海宁，
申请(专利权)人：常州贝斯塔德机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。