无母篮清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种无母篮清洗机，包括机架、安装于机架上的清洗槽和机械手，所述机械手的悬臂位于清洗槽的上方，在悬臂上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座，各抓取钩座均固定设置有硅片篮抓取钩，所述清洗槽内设置有硅片篮托盘。该无母篮清洗机不仅可以在每一工位同时进行数个硅片篮的清洗，具有较高的生产效率，而且无需清洗母篮，减少用工，降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种无母篮清洗机，包括机架、安装于机架上的清洗槽和机械手，所述机械手的悬臂位于清洗槽的上方，在悬臂上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座，各抓取钩座均固定设置有硅片篮抓取钩，所述清洗槽内设置有硅片篮托盘。该无母篮清洗机不仅可以在每一工位同时进行数个硅片篮的清洗，具有较高的生产效率，而且无需清洗母篮，减少用工，降低使用成本。【专利说明】无母篮清洗机
本技术涉及半导体、光伏、LED等行业的硅/晶片清洗设备，尤其涉及硅/晶片的多槽式清洗机。
技术介绍
半导体行业中晶元、光伏行业中的硅片以及LED行业的蓝宝石晶片等在制造过程中都必须经过清洗工序，以清除硅/晶片表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染，其清洗过程是在专门的多槽式清洗中进行的。上述的多槽式清洗机一般主要由设置于机架上的清洗槽、清洗液管路系统、超声波系统、加热系统、清洗抛动装置，以及清洗篮输送系统和电控部分构成，需要清洗的硅/晶片通常是放置在专用的硅片篮内，为了提高清洗效率，通常清洗机都是配备有清洗母篮，清洗时将数个硅片篮放置在一个母篮内，由清洗篮输送系统将清洗母篮逐个输送至各清洗槽中，从而对清洗母篮中各硅片篮内的硅/晶片进行清洗。利用清洗母篮承载硅片篮进行清洗，一次可以清洗多个硅片篮，明显提高了清洗机的工作效率，但一台清洗机通常都有十多个工位，加上周转所需要的数量，一台清洗机会需要至少二十个清洗母篮，并且清洗母篮需要耐清洗用化学液的腐蚀，一般的金属材料无法使用，需要使用耐化学液的工程塑料，清洗母篮的制造加工需要专业设备，故清洗母篮的成本会较高，另外，清洗母篮在使用过程中在上料端装篮，清洗完成后取出清洗母篮中的硅片篮，空的清洗母篮需要连续不断地回送至上料端再次装载硅片篮，用工多，工作量大，还容易造成清洗母篮的损坏进而影响正常生产。
技术实现思路
针对现有技术所存在的上述不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种无母篮清洗机，它不仅可以在每一工位同时进行数个硅片篮的清洗，具有较高的生产效率，而且无需清洗母篮，减少用工，降低使用成本。为了解决上述技术问题，本技术的一种无母篮清洗机，包括机架、安装于机架上的清洗槽和机械手，所述机械手的悬臂位于清洗槽的上方，在悬臂上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座，各抓取钩座均固定设置有硅片篮抓取钩，所述清洗槽内设置有硅片篮托盘。在上述结构中，由于机械手的悬臂位于清洗槽的上方，在悬臂上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座，各抓取钩座均固定设置有硅片篮抓取钩，则各硅片篮抓取钩位于清洗槽的上方，可以从清洗槽的上方对硅片篮进行抓取操作，两运动方向相反的抓取钩座可以带动各自的硅片篮抓取钩同时作相反方向的运动，当两抓取钩座相向运动时，带动各自的硅片篮抓取钩向内侧运动，可以夹持位于各抓取钩之间的硅片篮，而当两抓取钩座相背运动时，带动各自的硅片篮抓取钩向外侧运动，可以放开夹持于各硅片篮抓取钩之间的硅片篮，每次所抓取的硅片篮的数量取决于所设置的硅片篮抓取钩数量的多少；机械手同时抓取数个硅片篮按清洗工艺流程从一个清洗槽输送到另一清洗槽中，从而实现在每一工位同时进行数个硅片篮的清洗，具有较高的生产效率，而且无需清洗母篮，相应地减少了清洗母篮返回输送所需的人工，同时也节省了生产清洗母篮所需的成本及由于清洗母篮使用过程中可能造成的损坏而对清洗母篮进行维护的生产成本。又由于所述清洗槽内设置有硅片篮托盘，这样使得各硅片篮被机械手抓取进入清洗槽内后可以放置在硅片篮托盘内，使得硅片篮在清洗槽内具有确定的位置，从而可以保证硅片篮在该槽内清洗完成后机械手能准确的完成对各硅片篮的抓取，从而保证数个硅片篮无母篮清洗的正常运行。本技术的一种优选实施方式，所述每一抓取钩座上均设置有两排硅片篮抓取钩，一抓取钩座左侧一排的娃片篮抓取钩与另一抓取钩座左侧一排的娃片篮抓取钩构成抓取钩对,一抓取钩座右侧的一排娃片篮抓取钩与另一抓取钩座右侧的一排娃片篮抓取钩构成抓取钩对。采用该实施方式，由于所述每一抓取钩座上均设置有两排硅片篮抓取钩，这样，两运动方向相反的抓取钩座就可以形成两对抓取钩对，每一抓取钩对可以抓取一排硅片篮，同一驱动机械所驱动的两运动方向相反的抓取钩座可以同时抓取两排硅片篮，则机械手可以同时抓取的硅片篮数量更多，生产效率更高。本技术的另一种优选实施方式，所述硅片篮托盘安装在清洗槽内的托盘架上。采用该实施方式，硅片篮托盘可以随托盘架上、下运动或固定不动，以满足清洗过程的不同工艺要求。本技术的又一种优选实施方式，所述硅片篮托盘上设置有硅片篮定位卡槽。这样，可以保证硅片篮在硅片篮托盘上的位置，不会随托盘架的运动而改变位置，定位精度更高，保证机械手的可靠抓取。本技术的进一步的优选实施方式，所述机架上设置有传送带，该传送带的传送方向与被清洗物料的传送方向相反。采用该实施方式，当被清洗的载有硅片的硅片篮完成清洗后，硅片篮中的硅片会从硅片篮中取出送检，空的硅片篮就可以通过所设置的传动带从清洗机的出料端输送传送回到清洗机的进料端，重新由清洗机的前道工序将待清洗的硅片插入硅片篮中，再次进入清洗机进行清洗，省去了从清洗机出料端向清洗机进料端进行空硅片篮运送所需的人工。本技术的又一进一步的优选实施方式，所述机械手上附设有物料篮检测装置，每一硅片篮对应有一该物料篮检测装置。采用该实施方式，可以对机械手在抓放篮及输送过程中物料篮的存在与否进行检测，从而避免机械手在抓放篮过中可能出现的差错，所述物料检测装置形式多样，可以是光电传感器，也可以是超声波传感器或其它形式的传感器。每一硅片篮对应有一该物料篮检测装置可以保证机械手上同时输送的所有硅片篮都得到检测，只要有一只硅片篮未被正确抓放，都有异常检测信号发送到设备的控制系统。本技术的另一进一步的优选实施方式，所述物料篮检测装置包括附设于至少一硅片篮抓取钩上的导杆，所述导杆内封装有干簧管，所述干簧管的导线同样被封装并连向电控装置；在所述导杆上还可活动地套装有浮球，所述浮球内封装有磁铁零件。采用该实施方式，附设于硅片篮抓取钩上的导杆随硅片篮抓取钩一同进出清洗槽，并随之一同完成在清洗槽内进行的抓放篮运动。当机械手未夹持硅片篮处于清洗槽上方时，附设于硅片篮抓取钩上的导杆上所套装的浮球处于导杆的最低处，封装于浮球内的磁铁零件与导杆内封装的相应位置的干簧管作用，使干簧管动作，通过导线向电控装置给出信号，电控装置据此判断为无篮，当机械手进入清洗槽中准备抓取硅片篮时，硅片篮抓取钩及其上附设的导杆进入到清洗槽中的清洗液内，此时套装于导杆上的浮球将由于液体浮力的作用而一直漂浮在清洗液表面，当机械手上的两抓取钩座带动各自硅片篮抓取钩向内侧相向运动时，硅片篮抓取钩的钩板处于硅片篮上翻边下方，对硅片篮实施夹持，硅片篮抓取钩向上提升时，硅片篮上翻边就搁置在硅片篮抓取钩上，当机械手夹持硅片篮向上运动而逐渐脱离液面时，导杆上的浮球与导杆最低端的距离随之逐渐减小，直到硅片篮被提升至液面以上时，浮球的一边会搁置在硅片篮上翻边上不再下降，这样其与导杆内最低处封装的干簧管尚有一段距离，浮球内封装的磁铁零件不能与干簧管产生作用，这就说明机械手上有篮，抓篮动作正确实现，反之，如果机械手没能正确抓取硅片篮，浮球会本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无母篮清洗机，包括机架（1）、安装于机架（1）上的清洗槽（4）和机械手（3），其特征在于：所述机械手（3）的悬臂（4）位于清洗槽（9）的上方，在悬臂（4）上滑动支承有两运动方向相反的抓取钩座（5），各抓取钩座（5）均固定设置有硅片篮抓取钩（6），所述清洗槽（9）内设置有硅片篮托盘（8）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：倪加乐，滕明，陈玉华，陈蒙，
申请(专利权)人：上海思恩电子技术东台有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32