【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台,包括平台支撑装置、三自由度装置、力传感器与声发射传感器控制单元、工具头加持单元,其特征在于:所述三自由度装置分别提供Z轴转动、Y轴转动、Z轴移动,三自由度装置提供工件所需要的加工位置和向下的载荷力;所述力传感器与声发射传感器控制单元包括力传感器(13)及声发射传感器(25),由连接环(12)、法兰(14)和工具头加持单元(11)固定,力传感器(13)通过连接环(12)、法兰(14)测量工件在加工过程中所受到的作用力;声发射传感器(25)与金刚石工具头(10)接触,监控加工时材料去除动态过程;所述力传感器与声发射传感器控制单元连接三自由度传动装置与工具头加持单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵宏伟,韩磊,高景,张鹏,闫纪旺,佟达,鲁帅,刘宏达,程虹丙,董晓龙,
申请(专利权)人:吉林大学,
类型:新型
国别省市:吉林;22
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