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本实用新型涉及一种面向规则金刚石工具头超精密研磨/抛光加工平台，属于精密、超精密加工领域。包括由平台支撑装置、三自由度装置、力传感器与声发射传感器控制单元、工具头加持单元，三自由度装置提供Z轴移动、绕Z轴转动和绕Y轴转动的三个运动自由度，同...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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