【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术的微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器利用一个较小电感量的平面螺旋电感和八个较小电容值的MIM电容实现了具有十六状态的中心频率和带宽的变化，从而突破了传统可重构带通滤波器中电感数量多且电感量较大的限制。通过在一个平面螺旋电感的左右两侧依次对称放置两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容，构成π型微波带通滤波器；将四个由引线连接的MIM电容对称放置在平面螺旋电感的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容之间；四个由引线连接的MIM电容分别具有不同的电容值；通过四个MEMS悬臂梁分别控制四个由引线连接的MIM电容是否与CPW地线相连接，实现该滤波器的可重构变化。【专利说明】微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器
本专利技术提出了微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器，属于微电子机械系统(MEMS)的
。
技术介绍
滤波器是微波工程中最重要的器件之一。在无源滤波器的设计中，滤波器综合法/插入损耗法的应用最为广泛。这种方法包括以下几个步骤:设计具有...
【技术保护点】
一种微机械悬臂梁式十六状态可重构微波带通滤波器，其特征在于：在砷化镓衬底（19）上面设有CPW（1），CPW（1）的中间位置是CPW信号线，CPW信号线的两侧是CPW地线，平面螺旋电感（2）位于该滤波器平面的中间，在平面螺旋电感（2）的左右两侧依次对称放置两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容（3）和第二MIM电容（4）以及两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容（5）和第四MIM电容（6），构成π型拓扑结构形式的微波带通滤波器；四个由引线连接的第五MIM电容（7）、第六MIM电容（8）、第七MIM电容（9）和第八MIM电容（10）对称放置在平面螺旋电感（2...
【技术特征摘要】
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