【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及一种新的减薄研磨液,其特征在于,所述研磨液由金刚石粉、氨水、丙酮、异丙醇及去离子水组成,其比例为:金刚石粉为0.3-2.2%,氨水为4-7%,丙酮为0.5-2%,异丙酮为0.5-1.5%,剩余为去离子水。本专利技术提供的一种新的减薄研磨液,能够有效的散发在减薄过程中产生的热量,提高了散热水平,从而减少芯片的翘曲,降低了裂片率。【专利说明】一种新的减薄研磨液
本专利技术涉及一种新的减薄研磨液,属于光电子生产领域。
技术介绍
在LED生产过程中,为了提高LED芯片的散热,往往需要将芯片进行减薄,而减薄研磨液能够直接影响着芯片的减薄效果,目前常用的减薄研磨液由于在研磨过程中散热性较差,因此会导致芯片的减薄不均匀,出现较大的翘曲,容易产生裂片,从而为后工序的生产产生了不必要的麻烦。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在的不足,提供一种新的减薄研磨液。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种新的减薄研磨液,其特征在于,所述研磨液由金刚石粉、氨水、丙酮、异丙醇及去离子水组成,其比例为:金刚石粉为0.3-2.2%,氨水为4-7%,丙酮 ...
【技术保护点】
一种新的减薄研磨液,其特征在于,所述研磨液由金刚石粉、氨水、丙酮、异丙醇及去离子水组成,其比例为:金刚石粉为0.3?2.2%,氨水为4?7%,丙酮为0.5?2%,异丙酮为0.5?1.5%,剩余为去离子水。
【技术特征摘要】
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