激光装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够使用常用的反射镜容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方，由此，能够实现成本的低廉化的激光装置。激光装置（10A）具备将激光（LB）分割为分割激光（LB1、LB2）的多个反射镜（44、46）与聚光镜（52）。反射镜（46）在能以改变激光（LB）相对于该反射镜（46）的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜（46）反射的分割激光（LB2）相对于聚光镜（52）的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供能够使用常用的反射镜容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方，由此，能够实现成本的低廉化的激光装置。激光装置（10A）具备将激光（LB）分割为分割激光（LB1、LB2）的多个反射镜（44、46）与聚光镜（52）。反射镜（46）在能以改变激光（LB）相对于该反射镜（46）的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜（46）反射的分割激光（LB2）相对于聚光镜（52）的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设。【专利说明】激光装置
本专利技术涉及分割从激光振荡器振荡的激光并照射到工件上的激光装置。
技术介绍
激光装置用于例如热交换器的冷却风扇或珠宝饰品的微小部件等的焊接上，近年来，对应用于电子部件向印刷电路板的软钎焊进行了研究。在激光软钎焊的领域中，已知有使用分割单元将一个激光分割为两个分割激光，并将这些分割激光的各个聚光照射到工件的规定位置的技术思想(例如参照专利文献I?3)。在使用激光进行焊接或软钎焊等的场合，为了与多种工件对应，期望能容易地调整分割激光的光量比及工件的分割激光的射线间隔。例如，在专利文献4中，公开了下述激光加工装置:通过能旋转且能移动地配设将一个抛物面反射镜分割为一半而形成的分割抛物面反射镜的各个，能够调整分割激光的光量比及射线间隔。现有技术文献专利文献1:日本特开平7-211424号公报专利文献2:日本特开2007-289980号公报专利文献3:日本特开2011-56520号公报专利文献4:日本特开平4-182087号公报但是，在上述专利文献4那样的现有技术中，由于使用作为专用品(特殊品)的分割抛物面反射镜，因此存在激光加工装置的成本升高之类的问题。另外，在想要改变焦点距离的场合，需要更换各分割抛物面反射镜，有可能成本进一步升高。
技术实现思路
本专利技术是考虑这种课题而完成的，其目的在于提供能够使用常用的反射镜容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方，由此，能够实现成本的低廉化的激光装置。(I)本专利技术的激光装置具备使激光振荡的激光振荡器、将上述激光分割为多个分割激光并且朝向工件反射的多个反射镜、将多个上述分割激光聚光到上述工件上的聚光镜，该激光装置的特征在于，多个上述反射镜的至少一个是在能以改变上述激光相对于该反射镜的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜反射的上述分割光相对于上述聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态配设的可动反射镜。根据本专利技术的激光装置，能够在以改变上述激光相对于反射镜的入射量的方式进退的状态下配设将激光分割为多个分割激光的多个反射镜的至少一个。在该场合，能够以只使该反射镜进退就能容易地调整多个分割激光的光量比。另外，能够在以能改变由该反射镜反射的分割激光相对于聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态下配设多个上述反射镜的至少一个。在该场合，能够只通过使该反射镜倾斜运动就能容易地调整多个分割激光在工件中的射线间隔。另外，由于不是分割抛物面反射镜那样的特殊品，能够使用普通的反射镜及聚光镜，因此能够实现激光装置的成本的低廉化。另外，即使是想要改变焦点距离的场合，也能够只通过更换上述聚光镜来实现，因此能够适当抑制成本升高。(2)在上述激光装置中，各上述反射镜构成为具有与上述激光的波长不同的波长的光能通过，上述激光装置还具备图像摄影单元，该图像摄影单元通过接受从上述工件导入并通过了各上述反射镜的上述光来对该工件进行摄影。根据这种结构，由于具备通过接受从工件导入并通过了各反射镜的光而对该工件进行摄影的图像摄影单元，因此能够比较近地配置图像摄影单元与多个反射镜。由此，能使激光装置紧凑。另外，因为能够使用作为常用品的反射镜(例如平面反射镜)，因此即使是接受通过了各反射镜的上述光并对工件进行摄影的场合，也能够适当地抑制摄影所得的图像的紊乱。(3)在上述激光装置中，多个上述反射镜的一个可以是以相对于上述聚光镜的相对部位不会改变的方式配设的固定反射镜。根据这种结构，由于多个反射镜的一个是固定反射镜，因此与使全部的反射镜为可动反射镜的场合相比，能够减少用于使反射镜可动的部件。由此，能够进一步实现激光装置的低廉化。(4)在上述激光装置中，上述固定反射镜构成为具有红外区域的波长的红外光能通过，上述激光装置还具备温度测定单元，该温度测定单元通过接受从上述工件导入并通过了上述固定反射镜的上述红外光来测定该工件的温度。根据这种结构，由于具备通过接受从工件导入并通过了固定反射镜的红外光而测定该工件的温度的温度测定单元，因此能够比较近地配置温度测定单元与多个反射镜。由此能够使激光装置紧凑。另外，由于接受不是通过可动反射镜而是通过固定反射镜的红外光，因此即使使可动反射镜倾斜运动，该红外光相对于温度测定单元的照射位置也不会移动。由此，能够可靠地测定工件的温度。(5)在上述激光装置中，上述固定反射镜构成为具有1.8μπι~2.3μπι的范围的波长的上述红外光能通过，上述温度测定单元可以是接受该红外光并测定上述工件的温度的放射温度计。根据这种结构，由于温度测定单元是接受具有作为距激光的波长带比较远且黑体辐射光谱的误差比较小的波长带即1.8μπ?~2.3μ--的范围的波长的红外光并测定工件的温度的放射温度计，因此能够正确地测定工件的温度。(6)在上述激光装置中，上述反射镜设有η个(η是3以上的整数)，至少η_1个上述反射镜是上述可动反射镜。根据这种结构，由于至少η-l个反射镜是可动反射镜，因此能够照射对工件的任意的η处必要的光量的分割激光。由此，能够与多种形状的工件可靠地对应。另外，例如在使η-l个反射镜为可动反射镜并且使一个反射镜为固定反射镜的场合，能够适当地进行所谓的通孔安装。即，由于能够将由固定反射镜反射的分割激光照射到端子(引线部)上，并且将由各可动反射镜反射的各分割激光照射到焊盘上，因此能够使上述端子与上述焊盘平衡性好地升温。本专利技术的效果如下。根据本专利技术的激光装置，由于使多个反射镜的至少一个为可动反射镜，因此能够容易地调整分割激光的光量比及射线间隔的至少任一方。另外，由于能够使用普通的反射镜及聚光镜，因此能够实现激光装置的低廉化。【专利附图】【附图说明】图1是表示本专利技术的第一实施方式的激光装置的示意图。图2是表示上述激光装置的主要部分的方框图。图3是构成上述激光装置的激光头的局部省略截面立体图。图4是图1所示的工件的局部省略俯视图。图5A是表示向上述工件照射了分割激光的第一状态的平面说明图，图5B是表示向该工件照射了分割激光的第二状态的平面说明图，图5C是表示向该工件照射了分割激光的第三状态的平面说明图。图6是表示用于说明从工件导入的光(红外光及可见光)的光路的上述激光装置的主要部分的方框说明图。图7A是表示利用第一实施方式的变形例的激光装置的摄像单元进行摄影的第一图像的说明图，图7B是表示利用该摄像单元进行摄影的第二图像的说明图，图7C是表示利用该摄像单元进行摄影的第三图像的说明图。图8是表示本专利技术的第二实施方式的激光装置的主要部分的局部省略方框图。图9是构成图8所示的激光装置的激光头的局部省略截面立体图。图1OA是表示向图8所示的工件照射了分割激光的第一状态的平面说明图，图1OB是表示向该工件照射了分割激光的第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光装置，其具备：使激光振荡的激光振荡器；将上述激光分割为多个分割激光并且朝向工件反射的多个反射镜；以及将多个上述分割激光聚光到上述工件上的聚光镜，该激光装置的特征在于，多个上述反射镜的至少一个是在能以改变上述激光相对于该反射镜的入射量的方式进退的状态、以及能以改变由该反射镜反射的上述分割激光相对于上述聚光镜的入射角度的方式倾斜运动的状态中的任一个状态下配设的可动反射镜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：三浦荣朗，
申请(专利权)人：米亚基株式会社，
类型：发明
国别省市：