【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种。技术背景一般在制造过程中,用压膜设备对基板进行压膜时,该基板需以压 膜设备贴附保护基板用的膜体,该膜体与基板的贴附过程,是先通过一 预贴机初步固定于基板外侧,再由真空压膜机将基板与膜体间空气挤出, 完成压膜的程序。因膜体在温度较高时容易直接沾附于基板表面,增加后续压膜作业 的失败率,因此现有预贴机在基板与膜体的预贴,以及压膜完成的前的过程中,是借由无尘室中的空调系统保持于l 8 2 2"C的适当温度, 以进行压膜作业;然而,以预贴的过程为例,需要先将两片膜体由贴膜座加热稍做结 合以利后续压膜的进行,而贴膜座的高温则不可避免的会向周围扩散, 如此的温度改变将会影响到基板与膜体之间的关系,令膜体容易部分沾 附于基板上,若膜体在真空压膜机压膜过程的前便已沾附于基板上,则 压膜的过程中不易将空气完全挤出,因此容易在基板该处形成气泡或膜 皱,影响成品质量与良率,再加上世界各国对于基板的主要材料铜金属 供需失衡情况下,价格飙涨的铜材浪费势必造成厂商严重的负担。有鉴于现有的基板在压膜设备上尚未发展出有效的冷却设计,对于 成品整体质量与良率也有着负面的影 ...
【技术保护点】
一种压膜设备的冷却装置,其特征在于,其本体主要包括一水冷装置、一鼓风装置、以及至少一进气口、出气口,其中:该水冷装置是具有一进水口与一出水口,水冷装置是供气流通过;该鼓风装置是与水冷装置连通,鼓风装置是可吸引气流由进气口经过 水冷装置,再向出气口排出;借此,可将低温水流导入进水口,令水冷装置降低气流温度,再由出气口排出提供低温气流以达到降温的效果。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:钟承翰,杨佳裕,陈明宗,曾文进,
申请(专利权)人:志圣工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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