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本案提供一种控片制作装置。在各实施例中，控片制作装置包括晶圆基板移除元件及磊晶形成元件。在各实施例中，控片包括基板、凹部、阻挡层及磊晶。基板具有表面，且凹部位于基板的表面中。除了凹部，阻挡层位于基板的表面上方。磊晶位于凹部中。在各实施例中，...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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