【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种改良的硅片收集装置,包括收集槽,其特征为,所述收集槽两壁中各设有一空腔,所述空腔外壁上设有出风装置,内壁均匀设有若干纵向通孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:聂金根,
申请(专利权)人:镇江市港南电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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