【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种物镜驱动装置。
技术介绍
传统的光学显微镜的呈现清晰度完全取决于光学镜头的放大倍数，而当前光学镜头的最大放大倍数只能达到1600倍(人眼分辨的清晰度为Imm左右，以1600倍放大为例，最小观察精度为0. 625微米)。现有物镜驱动装置一般采用电机驱动或者手调，精度达不到要求、响应时间慢、体积过大且噪声大
技术实现思路
本技术的目的是提供一种压电式物镜驱动进给装置，以解决目前物镜驱动装置一般采用电机驱动或者手调，精度达不到要求、响应时间慢、体积过大且噪声大的问题。本技术为解决上述技术问题采取的技术方案是所述装置包括壳体、平行四边形机构、压电陶瓷、后盖、预紧顶丝、钨钢片、物镜侧适配器和显微镜侧适配器，平行四边形机构是由壳体线切割而成的具有四个柔性铰接点的平行四边形机构，平行四边形机构的四个铰接点分别定义为第一铰接点、第二铰接点、第三铰接点和第四铰接点，压电陶瓷设在壳体内，压电陶瓷的一端与钨钢片粘接，压电陶瓷的另一端与后盖粘接，后盖与壳体连接，第二铰接点与第三铰接点之间的边通过预紧顶丝上的球点与钨钢片接触，物镜侧适配器和显微镜侧适配器并列设置在壳体上，平行四边形机构带动壳体及物镜侧适配器运动。本技术具有以下有益效果当采用压电式驱动机构带动普通光学镜头进行Z向的I纳米精确进给，同时精度可控制在纳米量级，通过此进给调节可以精确地接近被检测物体，实现更高精度的观察或操作。附图说明图I是本技术整体结构主剖视图，图2是运动机构示意图。具体实施方式具体实施方式一结合图I和图2说明本实施方式，本实施方式的装置包括壳体I、平行四边形机构2、压电陶瓷3、后盖4、预紧顶丝5...
【技术保护点】
一种压电式物镜驱动进给装置，其特征在于所述装置包括壳体(1)、平行四边形机构(2)、压电陶瓷(3)、后盖(4)、预紧顶丝(5)、钨钢片(6)、物镜侧适配器(7)和显微镜侧适配器(8)，平行四边形机构(2)是由壳体线切割而成的具有四个柔性铰接点的平行四边形机构，平行四边形机构(2)的四个铰接点分别定义为第一铰接点(2？1)、第二铰接点(2？2)、第三铰接点(2？3)和第四铰接点(2？4)，压电陶瓷(3)设在壳体(1)内，压电陶瓷(3)的一端与钨钢片(6)粘接，压电陶瓷(3)的另一端与后盖(4)粘接，后盖(4)与壳体(1)连接，第二铰接点(2？2)与第三铰接点(2？3)之间的边通过预紧顶丝(5)上的球点与钨钢片(6)接触，物镜侧适配器(7)和显微镜侧适配器(8)并列设置在壳体(1)上，平行四边形机构(2)带动壳体(1)及物镜侧适配器(7)运动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈峰，邓恩坤，
申请(专利权)人：哈尔滨芯明天科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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