一种闭环控制的纳米级三维精密定位台制造技术

本发明专利技术提供了一种闭环控制的纳米级三维精密定位台，包括底座、封装壳体、载物板、X轴放大机构、第一连接板、Z轴放大机构、第二连接板和Y轴放大机构，三种放大机构均为长方体状结构，长方体状结构的一端为固定端，另一端为运动端，X轴放大机构的固定端固定在底座上，运动端与Z轴放大机构的固定端通过第一连接板连接，Z轴放大机构与X轴放大机构并排布置在底座上，Y轴放大机构设置在X轴放大机构和Z轴放大机构的上方，且与X轴放大机构空间呈90度垂直布置，Z轴放大机构的运动端与Y轴放大机构的固定端通过第二连接板连接，Y轴放大机构的运动端与载物板连接。本发明专利技术能够实现三维运动，具有小体积、高精度、误差小、传动速度快的特点。传动速度快的特点。传动速度快的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种闭环控制的纳米级三维精密定位台


[0001]本专利技术属于精密定位台
，尤其是涉及一种闭环控制的纳米级三维精密定位台。

技术介绍

[0002]随着当今科技水平不断提升，超精密加工和精密作业等领域不断地深入研究，对于精密运动有了更进一步的研究需求。传统的定位装置采用电机驱动，存在分辨率低、响应频率慢、体积大、摩擦大等问题，已经很难满足微纳米领域的精密运动要求。目前在微纳米领域的精密运动中，压电陶瓷得到了越来越多的重视。压电陶瓷是一类具有压电特性的电子陶瓷材料。压电陶瓷能够将机械能和电能相互转换，具有敏感的特性，可以将极其微弱的机械振动转换成电信号，它频率稳定性好，精度高。目前微纳米领域中，对于能实现多维运动，高分辨率以及较短的阶跃时间的定位台的需求日益迫切，但即便有良好的驱动源，要设计出一款小体积三维纳米级精密定位台，对结构设计及布局都有很高的要求。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术旨在提出一种闭环控制的纳米级三维精密定位台，能够实现三维运动，具有小体积、高精度、误差小、传动速度快的特点。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种闭环控制的纳米级三维精密定位台，其特征在于：包括底座(1)、封装壳体(2)、载物板(3)、X轴放大机构(4)、第一连接板(5)、Z轴放大机构(6)、第二连接板(7)和Y轴放大机构(8)，所述的X轴放大机构(4)、Y轴放大机构(8)和Z轴放大机构(6)均为长方体状结构，长方体状结构的一端为固定端，另一端为运动端，X轴放大机构(4)的固定端固定在底座上，X轴放大机构(4)的运动端与Z轴放大机构(6)的固定端通过第一连接板(5)连接，X轴放大机构(4)与Z轴放大机构(6)前后并排布置在底座(1)上，Y轴放大机构(8)设置在X轴放大机构(4)和Z轴放大机构(6)的上方，且与X轴放大机构(4)空间呈90度垂直布置，Z轴放大机构(6)的运动端与Y轴放大机构(8)的固定端通过第二连接板(7)连接，Y轴放大机构(7)的运动端与载物板(3)连接，在三个放大机构的外围设置封装壳体(2)。2.根据权利要求1所述的一种闭环控制的纳米级三维精密定位台，其特征在于：所述Z轴放大机构(6)包括放大式机构主体和压电陶瓷(12)，所述放大式机构主体包括陶瓷固定端一(13
‑
1)、四个柔性铰链(14)、圆弧凸台一(15
‑
1)、陶瓷固定端二(13
‑
2)和圆弧凸台二(15
‑
2)，所述陶瓷固定端一(13
‑
1)、圆弧凸台一(15
‑
1)、陶瓷固定端二(13
‑
2)和圆弧凸台二(15
‑
2)顺次连接形成闭环式中空腔，且陶瓷固定端一(13
‑
1)与圆弧凸台一(15
‑
1)的一端之间、圆弧凸台一(15
‑
1)的另一端与陶瓷固定端二(13
‑
2)之间、陶瓷固定端二(13
‑
2)与圆弧凸台二(15
‑
2)的一端之间及圆弧凸台二(15
‑
2)的另一端与陶瓷固定端一(13
‑
1)之间分别通过一柔性铰链连接，所述圆弧凸台一(15
‑
1)和圆弧凸台二(15
‑
2)上下对称布置，四个柔性铰链在两个圆弧凸台的左右两侧对称布置，所述压电陶瓷(12)的两端分别与陶瓷固定端一(13
‑
1)和陶瓷固定端二(13
‑
2)接触，且陶瓷固定端一(13
‑
1)和陶瓷固...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈峰，徐国飞，杨明远，闫巍，
申请(专利权)人：哈尔滨芯明天科技有限公司，
类型：发明
国别省市：