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本发明提供了一种闭环控制的纳米级三维精密定位台，包括底座、封装壳体、载物板、X轴放大机构、第一连接板、Z轴放大机构、第二连接板和Y轴放大机构，三种放大机构均为长方体状结构，长方体状结构的一端为固定端，另一端为运动端，X轴放大机构的固定端固定...
该专利属于哈尔滨芯明天科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨芯明天科技有限公司授权不得商用。

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