储存匣置放架制造技术

本实用新型专利技术提供一种储存匣置放架，其用于轨道缓冲区（ＯＨＢ）中，包含：一框架本体，组设成一容置空间，于其底部具有用于承载储存匣的一底座；至少三弹性组件，固设于该底座，该些弹性组件的排列构成单一平面；及至少三固定组件，分别固设于不同的弹性组件上，该些固定组件固定所承载的储存匣于该容置空间中。由此，本实用新型专利技术的弹性组件可消除由轨道震动所带给储存匣置放架的震动能量，进而可将晃动对储存匣造成的影响降到最低。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种储存匣置放架，尤其涉及一种应用于轨道缓冲区(Over-Head Buffer，0ΗΒ)的储存匣置放架。
技术介绍
随着半导体技术的演进，许多产业，诸如显示器制造厂、半导体制造厂、太阳能设 备制造厂等，都会进行半导体相关组件的处理或制造，而在制造过程中需要将半导体相关 组件，如半导体晶圆、光罩等，在不同的位置间移动，因此，在该些半导体相关组件移动或 存放时，都会将的置放在一特制的储存匣中以避免被杂质污染。此外，当不需要使用这些半 导体相关组件时，该些储存匣会被暂时存放在特定的缓冲区中以待下一次的取用使用。前述的运送系统，如图1所示，包含轨道100、天车(OHT) 102、缓冲区的框架本体 200及储存匣400，该缓冲区为一临时置放区，用于暂时存放储存匣400。此种自动运送系统 有一特点即是该天车102会不断地在轨道100上运行以运送储存匣400，而由于该框架本 体200与该轨道相接合且悬吊于天花板上，因此，轨道上的震动能量皆会传递至该框架本 体200上。该天车102的运行即是该轨道100不断发生震动的主因，而此震动一旦影响了 该框架本体200，就会间接地影响存放于该框架本体200中的储存匣400。储存匣400的不当晃动引起不当的碰撞会损坏盒内材料材质，或产生微尘颗粒， 扩散于材料表面，影响材料良率，这些情况对于成本高昂的半导体晶圆或光罩来说是相当 不愿意见到的。
技术实现思路
本技术的一目的在于提供一种可消除框架本体传递予储存匣的震动能量的 储存匣置放架。为达上述目的及其它目的，本技术的用于轨道缓冲区中的储存匣置放架包 含一框架本体，组设成一容置空间，于其底部具有用于承载储存匣的一底座；至少三弹性 组件，固设于该底座，该些弹性组件的排列构成单一平面，也即，该些弹性组件的排列位于 同一平面且非位于一直在线，以提供力学平衡；及至少三固定组件，分别固设于不同的弹性 组件上，该些固定组件固定所承载的储存匣于该容置空间中。其中，更可包含一板体，其组 设于该至少三弹性组件与该至少三固定组件之间。为达上述目的及其它目的，本技术的另一种储存匣置放架包含一框架本体， 组设成一容置空间，于其底部具有用于承载储存匣的一底座；至少三弹性组件，固设于该底 座，该些弹性组件的排列构成单一平面；一板体，组设于该至少三弹性组件上；及至少三固 定组件，分别固设于该板体上，该些固定组件固定所承载的储存匣于该容置空间中，其中， 该些弹性组件及该些固定组件分别位于该板体的不同侧。在一实施例中，该板体选自环形板体、三角中空板体、矩形中空板体、具多个通孔 的矩形板体，此四者中的其中一种。在一实施例中，该弹性组件可包含一上抵顶件；一弹性本体，呈一圆柱体，与该 上抵顶件共轴心；及一下抵顶件，其相对于该上抵顶件，且与该上抵顶件及该弹性本体共轴 心，用于与该上抵顶件配合而将该弹性本体夹设于其中。在一实施例中，该弹性组件可包含一上抵顶件；一弹性本体，呈一圆柱体；一弹 簧件，与该弹性本体共轴心，并环绕于该弹性本体周围，该弹簧件具有大于该弹性本体的直 径；及一下抵顶件，其相对于该上抵顶件，且与该上抵顶件、该弹性本体及该弹簧件共轴心， 用于与该上抵顶件配合而将该弹性本体及该弹簧件夹设于其中。在一实施例中，该底座可为一底框架或一底板。由此，本技术于框架本体的底座上加设至少三弹性组件，可有效减低框架本 体传递予储存匣的震动能量，进而可有效避免储存匣中的组件因框架本体传递的震动而发 生损伤。附图说明图1为现有储存匣置放架的结构示意图。图2A为本技术在第一实施例中储存匣置放架的结构示意图。图2B为本技术在第二实施例中储存匣置放架的结构示意图。图3A为本技术在第三实施例中储存匣置放架的结构示意图。图3B为本技术在第四实施例中储存匣置放架的结构示意图。图4A为图3AX方向的正视图。图4B为图3BY方向的正视图。图5A为本技术弹性组件在一实施例中的结构图。图5B为本技术弹性组件在图5A中的分解结构图。图6A为本技术弹性组件在另一实施例中的结构图。图6B为本技术弹性组件在图6A中的分解结构图。图7A为本技术的板体在第一实施例的结构图。图7B为本技术的板体在第二实施例的结构图。图7C为本技术的板体在第三实施例的结构图。图7D为本技术的板体在第四实施例的结构图。主要组件符号说明100轨道102天车200框架本体210底座220底板300弹性组件301上抵顶件303弹性本体305弹簧件307弹性本体309下抵顶件310固定组件320 板体322锁固孔324 通孔400储存匣具体实施方式为充分了解本技术的目的、特征及功效，现通过下述具体的实施例，并配合附 图，对本技术做一详细说明，说明如后首先请参阅图2A，本技术在第一实施例中储存匣置放架的结构示意图。该储 存匣置放架与自动运送系统的轨道相结合(请参阅图1)而应用于轨道缓冲区中。本实用 新型的储存匣置放架包含一框架本体200、至少三弹性组件300及至少三固定组件310。该框架本体200组设成一容置空间，用于存放储存匣400，在该框架本体200的底 部则具有用来承载储存匣400的一底座210。该至少三弹性组件300固设于该底座210，该 些弹性组件300的排列，如图2A所示，构成单一平面，以提供均衡的缓冲力道来减缓该框架 本体200传递来的震动能量。较佳地，以一储存匣400下具有三个弹性组件300来说，此三 个弹性组件300的排列位于如同一三角形般的三顶点上，以提供力学上的均衡。在第一实施例中，该至少三固定组件310分别固设于不同的弹性组件300上，如图 2A所示，可直接固设于对应的弹性组件300上，而该些固定组件310用来固定所承载的储存 匣400于该容置空间中。此外，该底座210在此实施例中为一底框架。接着请参阅图2B，本技术在第二实施例中储存匣置放架的结构示意图。与地 一实施例不同之处在于该底座210在此实施例中为一底板220。接着请参阅图3A，本技术在第三实施例中储存匣置放架的结构示意图。此实 施例在于更包含一板体320，其组设于该至少三弹性组件300 (请参阅图2A或图2B，在此实 施例中被埋没于该板体320下)与该至少三固定组件310之间。图3A可与图2A作直接对 照，差别在于弹性组件300与固定组件310之间被安插该板体320。该板体320由于介于弹性组件300与固定组件310之间，而更可将框架本体200 传递来的震动能量予以平均化。以本技术的实施例为例，一储存匣400下具有三组弹 性组件300与固定组件310，该板体320能对三个弹性组件300所各别传递来的震动能量作 一平均，即该板体320能使此三个传递而来的震动能量彼此互相影响，进而平均化该些震 动能量。接着请参阅图3B，为本技术在第四实施例中储存匣置放架的结构示意图。图 3B可与图3A作直接对照，差别在于弹性组件300与固定组件310间的相对位置互相错开， 后续图4A及图4B有更详细的说明。请同时参阅图4A及图4B，分别为图3A中X方向与图3B中Y方向的正视图。由 图4A可知该固定组件310与该弹性组件300直接对应的关系，同样地，在第一或第二实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种储存匣置放架，用于轨道缓冲区中，其特征在于包含：　　一框架本体，组设成一容置空间，在其底部具有用于承载储存匣的一底座；　　至少三弹性组件，固设于该底座，该些弹性组件的排列构成单一平面；及　　至少三固定组件，分别固设于不同的弹性组件上，该些固定组件固定所承载的储存匣于该容置空间中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴俊龙，林权瑞，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]