【技术实现步骤摘要】
用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备
[0001]本专利技术涉及光学测量
,特别涉及一种用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备。
技术介绍
[0002]磁光克尔设备基于磁光克尔效应设计,主要用于样品表面磁畴的测量。现有的磁光克尔设备仅能测量单个方向磁场(垂直方向或面内方向)的磁滞回线和磁畴,垂直方向磁场和面内方向磁场的切换需通过搬运电磁铁组件实现,样品测试的人力时间成本高,存在安全隐患;且受限于上述测量方式,现有的磁光克尔设备仅适于安装较小的电磁铁组件,无法实现大磁场电磁铁设置,致使样品端操作空间狭小。此外,电磁铁搬运前后存在样品台与磁极间相对位置的不一致性问题,导致测试结果不重复,降低测量精度,增加切换调试复杂度。因此,需提供一种改进的磁光克尔测量方案,以解决上述现存问题中的至少其一。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题中的至少其一,本专利技术提供了一种用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备,能够高效切换磁光克尔测量的磁场方向。
[0004]一方面,本专利技术提供了一种用于磁光克尔测量的模式切换设备,包括:光学面板,用于承载至少两套电磁铁组件,设有至少两个电磁铁安装位,所述至少两个电磁铁安装位沿X轴方向分布设置于所述光学面板的板体上;龙门架组件,设置于所述光学面板上,用于承载切换机构和显微装置承载组件;切换机构,包括X轴切换机构和Z轴切换机构,所述X轴切换机构与所述龙门架组件固定连接,所述X轴切换机构与所述Z轴切换机构连接;显微装置承载组件, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,包括:光学面板(100),用于承载至少两套电磁铁组件(20),设有至少两个电磁铁安装位(110),所述至少两个电磁铁安装位(110)沿X轴方向分布设置于所述光学面板(100)的板体上;龙门架组件(200),设置于所述光学面板(100)上,用于承载切换机构和显微装置承载组件(500);切换机构,包括X轴切换机构(300)和Z轴切换机构(400),所述X轴切换机构(300)与所述龙门架组件(200)固定连接,所述X轴切换机构(300)与所述Z轴切换机构(400)连接;显微装置承载组件(500),用于承载磁光克尔显微装置,与所述Z轴切换机构(400)连接;所述X轴切换机构(300)用于使所述Z轴切换机构(400)和所述显微装置承载组件(500)相对于所述龙门架组件(200)沿X轴方向协同运动,以使所述磁光克尔显微装置能够运动至所述至少两套电磁铁组件(20)中其一的上方;所述Z轴切换机构(400)用于使所述显微装置承载组件(500)沿Z轴方向运动以远离或靠近所述光学面板(100)的板面。2.根据权利要求1所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述X轴切换机构(300)包括X轴固定组件(310)和X轴切换组件(320);所述X轴固定组件(310)与所述龙门架组件(200)固定连接,所述X轴固定组件(310)用于承载所述X轴切换组件(320)、所述Z轴切换机构(400)和所述显微装置承载组件(500);所述X轴切换组件(320)与所述X轴固定组件(310)滑动连接,所述X轴切换组件(320)与所述Z轴切换机构(400)固定连接;在外力作用下,所述X轴切换组件(320)能够带动所述Z轴切换机构(400)相对于所述X轴固定组件(310)沿X轴方向运动。3.根据权利要求2所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述X轴固定组件(310)包括连接盖体(311),所述连接盖体(311)与所述龙门架组件(200)固定连接;所述X轴切换组件(320)包括滑板(321)和X轴滑动组件(322),所述滑板(321)与所述Z轴切换机构(400)固定连接;所述滑板(321)与所述连接盖体(311)通过所述X轴滑动组件(322)沿X轴滑动连接。4.根据权利要求3所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述连接盖体(311)设有间隙结构(312),所述滑板(321)穿过所述间隙结构(312)后,与所述Z轴切换机构(400)固定连接。5.根据权利要求2所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述X轴切换机构(300)包括X轴限位件(323),所述X轴限位件(323)设置于所述X轴固定组件(310)的X轴方向上的两端侧中的至少一侧;所述X轴限位件(323)能够限制所述X轴切换组件(320)在X轴方向上的滑动行程;在外力作用下,所述X轴限位件(323)与所述X轴固定组件(310)间的相对位置可调,以使所述X轴切换组件(320)在X轴方向上的滑动行程大小可调。6.根据权利要求2所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述X轴切换机构(300)还包括磁吸定位组件,所述磁吸定位组件包括匹配设置的定位磁体(325)
和定位磁吸配合件(326);所述定位磁体(325)和定位磁吸配合件(326)中二者择一地与所述X轴固定组件(310)的X轴方向上的端侧固定连接,另一与所述X轴切换组件(320)的X轴方向上的端侧固定连接,所述X轴切换组件(320)沿X轴方向运动至滑动行程终点时,所述定位磁体(325)和定位磁吸配合件(326)相吸贴合。7.根据权利要求1
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6中任一项所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述Z轴切换机构(400)包括转接件(410)和设置于所述转接件(410)上的Z轴滑动组件(420),所述转接件(410)与所述X轴切换机构(300)固定连接,所述Z轴滑动组件(420)与所述显微装置承载组件(500)连接;所述X轴切换机构(300)能够带动所述转接件(410)沿X轴方向运动,以携带所述Z轴滑动组件(420)和所述显微装置承载组件(500)协同运动;通过所述Z轴滑动组件(420),所述显微装置承载组件(500)能够相对于所述转接件(410)沿Z轴方向上下滑动。8.根据权利要求7所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述Z轴切换机构(400)还包括Z轴驱动装置,所述Z轴驱动装置与所述显微装置承载组件(500)传动连接;所述Z轴驱动装置用于提供所述显微装置承载组件(500)协同所述磁光克尔显微装置沿Z轴方向上下滑动的驱动力。9.根据权利要求7所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述Z轴切换机构(400)还包括吊装盖板(440)、滑轮机构(450)和配重组件(460);所述吊装盖板(440)设置于所述龙门架组件(200)的上方,所述吊装盖板(440)与所述转接件(410)连接;所述滑轮机构(450)与所述吊装盖板(440)固定连接,通过所述滑轮机构(450),所述配重组件(460)与所述显微装置承载组件(500)传动连接;所述配重组件(460)吊装于所述吊装盖板(440)上,与所述显微装置承载组件(500)相对设置于所述龙门架组件(200)的两侧,所述配重组件(460)用于为所述显微装置承载组件(500)的运动提供配重平衡力。10.根据权利要求9所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备(10),其特征在于,所述配重组件(4...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨黄林,胡夏君,吴阳,
申请(专利权)人:赫智科技苏州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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