【技术实现步骤摘要】
一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法
[0001]本专利技术涉及半导体制备
,具体涉及一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法。
技术介绍
[0002]在半导体制造的湿法工艺步骤中使用了许多种液态化学品,而将多种化学药液按照比例混合形成多种试剂,实现半导体晶圆的刻蚀或清理工作。
[0003]半导体行业需要用到很多的化学溶液,大多属于强酸、强碱或强腐蚀性的溶液。出于安全和生产的需求,往往采用供液系统进行药液的输送或混合后再输送。尤其使用的药液是混合溶液时,需要将多种药液从药液桶或储液桶等中抽取出来送入混合液储存槽中进行药液混合。
[0004]但是现有的化学药液自动供给混合系统在液量较低时,会吸入空气而引起化学药液的混合量出现误差,使得配比比例不准确,影响试剂的性能。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统及方法,以解决现有技术中吸入空气而引起化学药液的混合量出现误差,使得配比比例不准确,影响试剂的性能的技术问题。
[0006]为解决上述技术问题,本专利技术具体提供下述技术方案:
[0007]一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统,包括:
[0008]多个药液桶,每个所述药液桶用于盛装一种化学药液;
[0009]供给混料机构,用于将多个药液桶内的化学药液泵取集中混合;
[0010]换液升降机构,用于固定所述药液桶的底部,且所述换液升降机构推动所述药液桶与所述供给混料机构脱离和 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统,其特征在于,包括:多个药液桶(1),每个所述药液桶(1)用于盛装一种化学药液;供给混料机构(2),用于将多个药液桶(1)内的化学药液泵取集中混合;换液升降机构(3),用于固定所述药液桶(1)的底部,且所述换液升降机构(3)推动所述药液桶(1)与所述供给混料机构(2)脱离和连接,以实现自动补给化学药液;流量检测组件(4),安装在所述供给混料机构(2)上,所述流量检测组件(4)用于测量每种所述化学药液的供给量;倾斜施力机构(5),设置在所述换液升降机构(3)的侧边,所述倾斜施力机构(5)用于推动所述药液桶(1)绕其底面的棱边朝向所述供给混料机构(2)旋转,以使得所述供给混料机构(2)及时泵取到所述药液桶(1)底部的化学药液;控制系统(6),分别与所述供给混料机构(2)、换液升降机构(3)、流量检测组件(4)和倾斜施力机构(5)连接,所述控制系统(6)根据所述流量检测组件(4)的实时测量结果调控所述供给混料机构(2)的泵取工作,且所述控制系统(6)根据所述流量检测组件(4)实时测量结果计算所述药液桶(1)的剩余液量,所述控制系统(6)基于计算的剩余液量依次调控所述倾斜施力机构(5)和所述换液升降机构(3)工作。2.根据权利要求1所述的一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统,其特征在于:所述供给混料机构(2)的泵取管道位于所述药液桶(1)的内侧,且所述供给混料机构(2)的泵取管道远离所述倾斜施力机构(5)的安装侧,所述换液升降机构(3)的上表面设有用于固定所述药液桶(1)的放置位置的锁定机构(7),所述倾斜施力机构(5)与所述锁定机构(7)的侧表面活动连接;所述换液升降机构(3)的上表面设有铰接部件(8),所述锁定机构(7)的侧边活动安装在所述铰接部件(8)上,且所述倾斜施力机构(5)推动所述换液升降机构(3)绕所述铰接部件(8)转动以使得所述药液桶(1)向所述供给混料机构(2)的方向转动。3.根据权利要求2所述的一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统,其特征在于:所述锁定机构(7)包括平面板(71)以及设置在所述平面板(71)三个侧边上的三面环板(72),所述三面环板(72)的两个平行侧板上分别设有第二推动气缸(73),所述倾斜施力机构(5)与所述三面环板(72)的另一个面板活动连接,所述药液桶(1)通过所述三面环板(72)形成的侧开口推入所述平面板(71)上;所述第二推动气缸(73)的末端设有弧形面板(74),所述弧形面板(74)的侧曲面与所述药液桶(1)侧壁紧密贴合,所述第二推动气缸(73)同时工作以将所述药液桶(1)固定夹持在两块所述弧形面板(74)内。4.根据权利要求2所述的一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统,其特征在于:所述铰接部件(8)包括设置在所述换液升降机构(3)上表面的杠杆(81),所述三面环板(72)靠近所述供给混料机构(2)的面板底部设有套设在所述杠杆(81)外表面的中空套筒(82),所述倾斜施力机构(5)推动所述三面环板(72)绕所述杠杆(81)活动旋转。5.根据权利要求3所述的一种半导体制备用化学药液自动供给混合系统,其特征在于:所述换液升降机构(...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱俭,
申请(专利权)人:理纯上海洁净技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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