柔性发光器件的制造方法以及制造装置制造方法及图纸

根据本公开的柔性发光器件的制造方法，在对层叠构造体(100)的树脂膜(30)的中间区域(30i)和柔性基板区域(30d)进行了分割后，利用剥离光照射树脂膜(30)与玻璃基座(10)之间的界面。在使层叠构造体(100)接触了台部(212)的状态下，将层叠构造体(100)分离为第一部分(110)和第二部分(120)。第一部分(110)包括附着于台部(212)的中间区域(30i)和发光器件(1000)，发光器件(1000)具有功能层区域(20)和柔性基板区域(30d)。第二部分(120)包括玻璃基座(10)。在发光器件(1000)维持附着于台部(212)的状态下，将附着于台部的中间区域(30i)从台部剥除。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】柔性发光器件的制造方法以及制造装置
本公开涉及柔性发光器件的制造方法以及制造装置。
技术介绍
柔性显示器的典型例具备有由聚酰亚胺等合成树脂制成的薄膜(以下称为“树脂膜”)、被树脂膜支承的TFT(ThinFilmTransistor)以及OLED(OrganicLightEmittingDiode)等元件。树脂膜作为柔性基板起作用。由于构成OLED的有机半导体层容易因水蒸气而劣化，因此柔性显示器被阻气膜(封装膜)封装。上述的柔性显示器的制造是使用在上表面上形成有树脂膜的玻璃基座进行。玻璃基座在制造工序中作为将树脂膜的形状维持为平面状的支承体(载体)起作用。通过在树脂膜上形成TFT元件以及OLED等发光元件以及阻气膜等，从而在被玻璃基座支承的状态下实现柔性显示器的构造。其后，将柔性显示器从玻璃基座剥离，并获得柔软性。可以将排列有TFT元件以及OLED等发光元件的部分作为整体称为“功能层区域”。根据现有技术，在从玻璃基座剥离了包括多个柔性显示器的片状的构造物后，相对于该片状的构造物进行光学部件等的安装。其后，从片状的构造物分割多个柔性器件。该分割例如通过激光束的照射来进行。专利文献1公开为了将各个柔性显示器从玻璃基座(支承基板)剥离而利用激光照射各个柔性显示器与玻璃基座之间的界面的方法。根据专利文献1公开的方法，在剥离光照射后，分割成各个柔性显示器，并将各个柔性显示器从玻璃基座剥离。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-48619号公报专利
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题根据现有的制造方法，在包括多个显示器的片状的构造物上安装了例如封装薄膜、偏振板以及/或者散热片等高价的部件后，进行基于激光束的照射的分割，因此通过激光束的照射而分割的不需要部分即最终没有构成显示器的部分完全是浪费的。另外，也存在以下课题，即，在从玻璃基座剥离后，不易处理不具有刚性的多个柔性显示器。这样的问题不限于具有OLED作为发光元件的柔性显示器，并且也可能在具有由无机半导体材料制成的微型LED(μLED)作为发光元件的柔性发光器件的制造过程中发生。本公开提供能够解决上述课题的柔性发光器件的制造方法以及制造装置。解决问题的方案本公开的柔性发光器件的制造方法在例示的实施方式中，包括以下工序：准备层叠构造体的工序，其中，上述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，且具备玻璃基座、功能层区域、合成树脂膜以及保护片，上述玻璃基座对上述第一表面进行规定，上述功能层区域包括TFT层以及发光元件层，上述合成树脂膜为位于上述玻璃基座与上述功能层区域之间并固定于上述玻璃基座的合成树脂膜，且包括支承上述功能层区域的柔性基板区域和包围上述柔性基板区域的中间区域，上述保护片覆盖上述功能层区域，并对上述第二表面进行规定；对上述合成树脂膜的上述中间区域和上述柔性基板区域进行分割的工序；利用剥离光照射上述合成树脂膜与上述玻璃基座之间的界面的工序；以及在使上述层叠构造体的上述第二表面接触于台部的状态下，通过扩大从上述台部至上述玻璃基座的距离，从而将上述层叠构造体分离为第一部分和第二部分的工序。上述层叠构造体的上述第一部分包含附着于上述台部的上述合成树脂膜的上述中间区域以及发光器件，上述发光器件具有上述功能层区域和上述合成树脂膜的上述柔性基板区域。上述层叠构造体的上述第二部分包含上述玻璃基座。本制造方法还包含在上述发光器件维持附着于上述台部的状态下，将附着于上述台部的上述合成树脂膜的上述中间区域从上述台部剥除的工序。在某个实施方式中，上述剥离光是非相干光。在某个实施方式中，上述发光元件层包含排列而成的多个微型LED，上述剥离光是激光。在某个实施方式中，还包括如下工序：在进行了将上述合成树脂膜的上述中间区域从上述台部剥除后，对与上述台部接触的上述发光器件执行处理。对发光器件1000的“处理”可包括：对发光器件1000粘贴电介质以及/或者导电体的薄膜、进行清洁或者蚀刻以及安装光学部件以及/或者电子部件。在某个实施方式中，将上述层叠构造体分离为上述第一部分和上述第二部分的工序在上述台部吸附着上述层叠构造体的上述第二表面的状态下执行。在某个实施方式中，利用上述剥离光照射上述合成树脂膜与上述玻璃基座之间的上述界面的工序在上述台部吸附着上述层叠构造体的上述第二表面的状态下执行。在某个实施方式中，上述台部的表面具有与上述发光器件相对的第一区域以及与上述合成树脂膜的上述中间区域相对的第二区域，上述第一区域中的吸附力高于上述第二区域中的吸附力。在某个实施方式中，在使上述层叠构造体的上述第二表面接触于台部之前，还包括将具有多个开口部的吸附片配置在上述台部上的工序，上述台部具备搭载了上述吸附片的多孔板，上述吸附片具有与上述多个发光器件接触的第一区域以及与上述合成树脂膜的上述中间区域相对的第二区域，上述第一区域的开口率高于上述第二区域的开口率。本公开的柔性发光器件的制造装置在例示的实施方式中，包括：台部，其支承层叠构造体，其中，上述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，并具备玻璃基座、功能层区域、合成树脂膜以及保护片，上述玻璃基座对上述第一表面进行规定，上述功能层区域包括TFT层以及发光元件层，上述合成树脂膜为位于上述玻璃基座与上述功能层区域之间并固定于上述玻璃基座的合成树脂膜，且包括支承上述功能层区域的柔性基板区域和包围上述柔性基板区域的中间区域，上述保护片覆盖上述功能层区域，并对上述第二表面进行规定，并且上述层叠构造体分割有上述合成树脂膜的上述中间区域和上述柔性基板区域；剥离光照射装置，其利用剥离光照射被支承于上述台部的上述层叠构造体中的上述合成树脂膜与上述玻璃基座之间的界面；以及驱动装置，其在上述台部与上述层叠构造体的上述第二表面接触的状态下，通过扩大从上述台部至上述玻璃基座的距离，从而将上述层叠构造体分离为第一部分和第二部分。上述层叠构造体的上述第一部分包含附着于上述台部的上述合成树脂膜的上述中间区域以及发光器件，上述发光器件具有上述功能层区域并且具有上述合成树脂膜的上述柔性基板区域。上述层叠构造体的上述第二部分包含上述玻璃基座。在某个实施方式中，上述剥离光照射装置具备有发射上述剥离光的非相干光源。在某个实施方式中，上述发光元件层包含排列而成的多个微型LED，上述剥离光照射装置具备有发射上述剥离光的激光光源。在某个实施方式中，上述台部在被支承于上述台部的上述层叠构造体的上述第一部分中所包含的与上述合成树脂膜的上述中间区域的一部分相对的位置处具有能够对上述中间区域进行握持的凹部。在某个实施方式中，上述台部具有与上述多个发光器件相对的第一区域以及与上述合成树脂膜的上述中间区域相对的第二区域，上述第一区域中的吸附力高于上述第二区域中的吸附力。在某个实施方式中，上述台部具有：多孔板；以及吸附片，其具有配置在上述多孔板上的多个开口部，上述吸附片具有与上述多个发光器件接触的第一区域以及与上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性发光器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：/n准备层叠构造体的工序，其中，所述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，且具备玻璃基座、功能层区域、合成树脂膜以及保护片，所述玻璃基座对所述第一表面进行规定，所述功能层区域包括TFT层以及发光元件层，所述合成树脂膜为位于所述玻璃基座与所述功能层区域之间并固定于所述玻璃基座的合成树脂膜，且包括支承所述功能层区域的柔性基板区域和包围所述柔性基板区域的中间区域，所述保护片覆盖所述功能层区域，并对所述第二表面进行规定；/n对所述合成树脂膜的所述中间区域和所述柔性基板区域进行分割的工序；/n利用剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的界面的工序；以及/n在使所述层叠构造体的所述第二表面接触于台部的状态下，通过扩大从所述台部至所述玻璃基座的距离，从而将所述层叠构造体分离为第一部分和第二部分的工序，/n所述层叠构造体的所述第一部分包括附着于所述台部的所述合成树脂膜的所述中间区域以及发光器件，所述发光器件具有所述功能层区域和所述合成树脂膜的所述柔性基板区域，所述层叠构造体的所述第二部分包含所述玻璃基座，/n还包含在所述发光器件维持附着于所述台部的状态下，将附着于所述台部的所述合成树脂膜的所述中间区域从所述台部剥除的工序。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种柔性发光器件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：
准备层叠构造体的工序，其中，所述层叠构造体是具有第一表面和第二表面的层叠构造体，且具备玻璃基座、功能层区域、合成树脂膜以及保护片，所述玻璃基座对所述第一表面进行规定，所述功能层区域包括TFT层以及发光元件层，所述合成树脂膜为位于所述玻璃基座与所述功能层区域之间并固定于所述玻璃基座的合成树脂膜，且包括支承所述功能层区域的柔性基板区域和包围所述柔性基板区域的中间区域，所述保护片覆盖所述功能层区域，并对所述第二表面进行规定；
对所述合成树脂膜的所述中间区域和所述柔性基板区域进行分割的工序；
利用剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的界面的工序；以及
在使所述层叠构造体的所述第二表面接触于台部的状态下，通过扩大从所述台部至所述玻璃基座的距离，从而将所述层叠构造体分离为第一部分和第二部分的工序，
所述层叠构造体的所述第一部分包括附着于所述台部的所述合成树脂膜的所述中间区域以及发光器件，所述发光器件具有所述功能层区域和所述合成树脂膜的所述柔性基板区域，所述层叠构造体的所述第二部分包含所述玻璃基座，
还包含在所述发光器件维持附着于所述台部的状态下，将附着于所述台部的所述合成树脂膜的所述中间区域从所述台部剥除的工序。


2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述剥离光为非相干光。


3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述发光元件层包含排列而成的多个微型LED，所述剥离光是激光。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的制造方法，其特征在于，还包括如下工序：在进行了将所述合成树脂膜的所述中间区域从所述台部剥除后，对与所述台部接触的所述发光器件执行处理。


5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述处理包括对所述发光器件执行以下的任一个处理：粘贴电介质以及/或者导电体的薄膜、进行清洁或者蚀刻、安装光学部件以及/或者电子部件。


6.根据权利要求1至5中的任一项所述的制造方法，其特征在于，将所述层叠构造体分离为所述第一部分和所述第二部分的工序在所述台部吸附着所述层叠构造体的所述第二表面的状态下执行。


7.根据权利要求6所述的制造方法，其特征在于，利用所述剥离光照射所述合成树脂膜与所述玻璃基座之间的所述界面的工序在所述台部吸附着所述层叠构造体的所述第二表面的状态下执行。


8.根据权利要求1至7中的任一项所述的制造方法，其特征在于，
所述台部的表面具有与所述发光器件相对的第一区域以及与所述合成树脂膜的所述中间区域相对的第二区域，所述第一区域中的吸附力高于所述第二区域中的吸附力。


9.根据权利要求1至8中的任一项所述的制造方法，其特征在于，
在使所述层叠构造体的所述第二表面接触于台部之前，还包括将具有多个开口部的吸附片配置在所述台部上的工序，

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克彦，田中康一，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP