【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测量装置及测量方法
本专利技术涉及一种测量包含磁体的金属板的外形的测量装置及测量方法。
技术介绍
包含在显示设备(有机EL、无机EL显示器、或QLED显示器等)的制造工序的蒸镀步骤中，通常，使用掩膜片来控制蒸镀图案。掩膜片中，存在多个对应于显示设备的像素的数μm尺寸的开口，有必要确定开口相对于设计值的位置偏移程度。将该位置偏移的测量称为PPA测量(PixelPositionAccuracy；像素位置精度)。通常，通过以下步骤进行PPA测量。首先，将掩膜片放置在放置台上。接下来，通过设置在四个角上的抓持器分别抓住并拉伸掩膜片的四个角。并且，用照相机拍摄掩膜片并测量PPA。在掩膜片内的有源区域(像素区域)的内部和外部的膜厚不同。通过化学蚀刻形成的有源区的内部的膜厚薄。因此，在有源区域中可能会产生皱褶和/或波纹(以下简称为“皱褶”)。如果存在该皱褶，则难以准确地测量PPA。因此，将掩膜片拉伸并去除皱褶，然后测量PPA。专利文献1中公开了通过抓持器来拉伸掩膜片的构成。现有技术文献
【技术保护点】
1.一种测量包含磁体的金属板的外形的测量装置，其特征在于，具备：/n放置台，将所述金属板放置在其表面上；/n光源，其朝向所述放置台照射光；/n图像获取部，其获取所述金属板的图像；/n多个磁力产生部，其在所述放置台的背面侧产生磁力；/n控制部，其控制所述磁力的产生位置。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种测量包含磁体的金属板的外形的测量装置，其特征在于，具备：
放置台，将所述金属板放置在其表面上；
光源，其朝向所述放置台照射光；
图像获取部，其获取所述金属板的图像；
多个磁力产生部，其在所述放置台的背面侧产生磁力；
控制部，其控制所述磁力的产生位置。
2.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，
所述多个磁力产生部包括一个或多个第一磁力产生部和不同于所述第一磁力产生部的一个或多个第二磁力产生部，
所述一个或多个第一磁力产生部被固定在所述放置台，并且，将所述金属板的端部固定在所述放置台，
所述控制部通过使所述一个或多个第二磁力产生部在放置台的背面侧上从对应于所述金属板的中央部的第一位置朝向对应于所述金属板的端部的第二位置移动，由此控制所述磁力的产生位置。
3.如权利要求2所述的测量装置，其特征在于，
所述一个或多个第一磁力产生部及所述一个或多个第二磁力产生部分别是磁铁。
4.如权利要求1所述的测量装置，其特征在于，
所述多个磁力产生部是分别被固定在所述放置台的背面侧的多个电磁石，
所述控制部经由向所述多个电磁石供电，控制所述磁力的产生位置。
5.如权利要求1至4中任一项所述的测量装置，其特征在于，
所述金属板是用于在显示器的多个像素上蒸镀粒子的掩膜片。
6.如权利要求1至5中任意一项所述的测量装置，其特征在于，
所述放置台具备用于驱动该放置台的驱动部。
7.如权利要求1至6中任一项所述的测量装置，其特征在于，
所述放置台的所述表面是平坦面。
8.一种测量包含磁体的金属板的外形的测量方法，其特征在于，依次包括：
(a)在放置台的表面上放置所述金属板的步骤；
(b)在所述表面...
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