【技术实现步骤摘要】
用于测量DC或低频AC电参数的集成激光电压探针焊盘
本专利技术总体上涉及激光电压探测,并且更具体地说,涉及一种用于使用基于激光的光学探测技术测量恒定交流电信号或低频交流电信号的集成激光电压探针焊盘。
技术介绍
基于激光的光学探测技术通常用于对已经失效的集成电路(IC)或半导体装置进行失效分析。然而,这些技术还不能测量直流(DC)电参数,如DC电压和电流水平。而且,基于激光的光学探测技术不能检测以低于预定最小频率FMIN的频率操作的交流(AC)电参数,这与不能检测DC参数一起将这些技术主要限制在数字IC域,以测量承载或传输处于或高于FMIN的交流电参数。在模拟域中,恒定交流电参数或低频交流电参数更常见。到目前为止,需要微探测技术来精确测量这些恒定交流电参数或低频交流电参数。微探测技术需要样本制备,例如聚焦离子束(FIB),并且还需要与待测量的内部节点直接接触。通过探针与IC的直接接触呈现损坏半导体装置的显著风险。除了永久损坏的风险之外,通过探针进行的直接接触通常会影响测量的参数,从而可能导致不太精确或甚至错误的结果。
技术实现思路
根据一种实施方式,一种集成电路块包括:感测节点,当所述集成电路块被供电时,所述感测节点产生低频电参数,其中所述低频电参数是恒定的或以低于预定频率水平的频率变化;以及转换器电路,所述转换器电路耦合到所述感测节点并包括激光探针区域,其中所述转换器电路将所述低频电参数转换成交流电参数,所述交流电参数的频率处于或高于足以调制聚焦在所述激光探针区域内的点上的激光束的 ...
【技术保护点】
1.一种集成电路块,其特征在于,包括:/n感测节点,当所述集成电路块被供电时,所述感测节点产生低频电参数,其中所述低频电参数是恒定的或以低于预定频率水平的频率变化;以及/n转换器电路,所述转换器电路耦合到所述感测节点并包括激光探针区域,其中所述转换器电路将所述低频电参数转换成交流电参数,所述交流电参数的频率处于或高于足以调制聚焦在所述激光探针区域内的点上的激光束的所述预定频率水平。/n
【技术特征摘要】
20190219 US 16/279,3041.一种集成电路块,其特征在于,包括:
感测节点,当所述集成电路块被供电时,所述感测节点产生低频电参数,其中所述低频电参数是恒定的或以低于预定频率水平的频率变化;以及
转换器电路,所述转换器电路耦合到所述感测节点并包括激光探针区域,其中所述转换器电路将所述低频电参数转换成交流电参数,所述交流电参数的频率处于或高于足以调制聚焦在所述激光探针区域内的点上的激光束的所述预定频率水平。
2.根据权利要求1所述的集成电路块,其特征在于:
所述低频电参数包括电流;并且
其中所述转换器电路包括:
电流镜,所述电流镜将所述电流镜像为镜像电流;以及
环形振荡器,所述环形振荡器与所述电流镜串联耦合,其中所述环形振荡器以基于所述镜像电流的幅值的频率振荡。
3.根据权利要求1所述的集成电路块,其特征在于:
所述低频电参数包括电压;并且
其中所述转换器电路包括:
转换装置,所述转换装置将所述电压转换成电流;以及
环形振荡器,所述环形振荡器耦合到所述转换装置,其中所述环形振荡器以基于所述电压的幅值的频率振荡。
4.根据权利要求1所述的集成电路块,其特征在于:
所述低频电参数包括电压;并且
其中所述转换器电路包括:
电子装置,所述电子装置并有所述激光探针区域并耦合在检测节点与电源电压之间,其中所述电子装置产生所述交流电参数;
多个开关,所述多个开关包括感测开关和至少一个参考开关;
其中所述感测开关耦合在所述感测节点与所述检测节点之间;
其中所述至少一个参考开关中的每个参考开关耦合在所述检测节点与至少一个参考电压节点中的对应一个参考电压节点之间,其中所述至少一个参考电压节点各自具有已知电压水平;以及
开关控制电路,所述开关控制电路在多个周期中的每个周期内依次闭合所述多个开关。
5.根据权利要求1所述的集成电路块,其特征在于:
所述低频电参数包括电流;并且
其中所述转换器电路包括:
电流镜,所述电流镜将所述电流镜像为镜像电流;
电容器,所述电容器与所述电流镜串联耦合;以及
晶体管,所述晶体管具有与所述电容器并联耦合的电流路径,并且具有接收时钟信号的控制端。
6.根据权利要求1所述的集成电路块,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:皮特·古斯塔夫·尼尔洛普,赫尔本·布恩,哈里·伯纳德斯·安东尼乌斯·科弗,
申请(专利权)人:恩智浦有限公司,
类型:发明
国别省市:荷兰;NL
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