【技术实现步骤摘要】
一种多线切割机工件定位工装及定位方法
本专利技术涉及一种工件定位工装及定位方法,尤其是一种适于多线切割机工件免粘接的定位工装及定位方法。
技术介绍
多线切割是通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。在多线切割机切割材料之前,需根据待切割料块的外形尺寸,每块料块能被切割出来料片的厚度及数量,预先进行排版,然后人工利用测量工具和简易的辅助工装在料板上进行料块的摆放和定位,再借助粘接剂将料块固定在多线切割机的料板上,待粘接剂完全固化后将粘有料块的料板放入多线切割机中进行切割作业。上述多线切割机料块工件的定位方法,在切割作业完成后卸料时,为避免切割料片被损坏,一般采用对料板加热或水煮的方式使胶层软化,然后再将料片轻轻取下,由于取下来的料片在粘接面处会有粘接剂残留,因此还需用刀片小心地将残留物清理下来,特别是在一些特殊材料料块粘接过程中,为避免切割作业时因料块脱落导致的设备断线停机问题,还需借助碱面、薄板等材料粘附在料块四周,由此加大了后期料片清理工作的难度;在料块粘接时需要人工涂抹胶水,因专用胶水具有挥发性,会对人体健康造成一定的危害,而根据待切割料块材料性质不同还需选择不同种类的粘接剂,因其固化和软化时间存在差异,难以保证生产节拍的一致性;另外,在实际操作过程中,料块的定位不仅需配备模拟布局图、测量工具和简易辅助工装,还需通过在料板上方粘接的大理石板上切割浅浅的线痕作为参考基准,由于操作人员长时间视力高度集中,导致过度疲劳,存在安 ...
【技术保护点】
1.一种多线切割机工件定位工装,其特征是,它设有移动座(1)、翻转机构、定位压料机构(4)和真空吸附机构(5);所述移动座(1)为框架结构,在移动座(1)上配装翻转机构;所述翻转机构包括翻转气缸(2)和翻转工作台(3),所述翻转气缸(2)底部铰接装配在移动座(1)框架底部横梁上,翻转气缸伸缩臂末端与翻转工作台(3)铰接装配,所述翻转工作台(3)为置于移动座(1)上面的方形板,通过安装在其底面的铰接座与移动座(1)装配,在翻转气缸(2)驱动下翻转工作台(3)可绕铰接座在0~45º范围内向上翻转;所述真空吸附机构(5)设有真空底座(5-1)和一组布置在连通真空底座气路上的控制阀(5-2),所述真空底座(5-1)为固定在翻转工作台(3)上的矩形座,其长度方向中心轴线与翻转工作台对角线重合,在所述真空底座(5-1)上面布置定位压料机构(4);所述定位压料机构(4)设有定位组件和压料组件,所述定位组件与翻转机构配合实现待切割料块(6)的定位摆放,在待切割料块定位摆放完成后,由真空吸附机构(5)将料块(6)吸附定位,翻转机构复位后再通过压料组件将待切割料块(6)压紧固定。/n
【技术特征摘要】
1.一种多线切割机工件定位工装,其特征是,它设有移动座(1)、翻转机构、定位压料机构(4)和真空吸附机构(5);所述移动座(1)为框架结构,在移动座(1)上配装翻转机构;所述翻转机构包括翻转气缸(2)和翻转工作台(3),所述翻转气缸(2)底部铰接装配在移动座(1)框架底部横梁上,翻转气缸伸缩臂末端与翻转工作台(3)铰接装配,所述翻转工作台(3)为置于移动座(1)上面的方形板,通过安装在其底面的铰接座与移动座(1)装配,在翻转气缸(2)驱动下翻转工作台(3)可绕铰接座在0~45º范围内向上翻转;所述真空吸附机构(5)设有真空底座(5-1)和一组布置在连通真空底座气路上的控制阀(5-2),所述真空底座(5-1)为固定在翻转工作台(3)上的矩形座,其长度方向中心轴线与翻转工作台对角线重合,在所述真空底座(5-1)上面布置定位压料机构(4);所述定位压料机构(4)设有定位组件和压料组件,所述定位组件与翻转机构配合实现待切割料块(6)的定位摆放,在待切割料块定位摆放完成后,由真空吸附机构(5)将料块(6)吸附定位,翻转机构复位后再通过压料组件将待切割料块(6)压紧固定。
2.根据权利要求1所述的多线切割机工件定位工装,其特征是,所述定位组件包括定位底板(4-1)、定位底板侧挡柱(4-5)、定位底板前挡柱(4-11)和料块定位销(4-2);所述定位底板(4-1)放置于真空底座(5-1)上,在定位底板(4-1)上设有一组横向挡料凸台(4-1-3),并在定位底板(4-1)上安装若干组料块定位销(4-2);所述定位底板侧挡柱(4-5)布置在定位底板(4-1)一侧,通过侧挡柱安装座(4-6)固定在翻转工作台(3)上;所述定位底板前挡柱(4-11)固定在真空底座(5-1)上。
3.根据权利要求2所述的多线切割机工件定位工装,其特征是,所述定位底板(4-1)上设有与真空底座(5-1)连通的吸附孔(4-1-1),所述吸附孔(4-1-1)在横向相邻的两组料块定位销(4-2)之间至少设置两组;在所述定位底板(4-1)上还设有横向布置的切割线线弓适配槽(4-1-2)。
4.根据权利要求1或2或3所述的多线切割机工件定位工装,其特征是,所述压料组件包括一组压梁(4-3)、压梁夹具(4-8)和左右布置的两个夹具底座(4-4);所述压梁(4-3)为横向布置的矩形拱门形状,其顶横梁内壁为压紧工作面,压梁(4-3)两端分别通过压梁夹具(4-8)压紧在左右两个夹具底座(4-4)中;所述夹具底座(4-4)纵向布置,在夹具底座(4-4)上设有与压梁(4-3)两端配合的矩形长槽(4-4-4),在...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨福占,刘磊,齐乃生,刘永柱,
申请(专利权)人:唐山晶玉科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:河北;13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。