【技术实现步骤摘要】
制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法相关申请的交叉引用本申请要求于2019年10月30日提交的美国专利申请No.16/669,251的优先权,并进一步要求于2018年11月9日提交的美国临时申请No.62/758,471的权益,这两篇申请的内容被在此通过参引全部结合到本文中,如同在本文中予以完整阐述一样。
本专利技术涉及用于硬盘驱动器的悬架的领域。更具体地,本专利技术涉及一种制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法,这些压电微致动器例如用于在双级致动(DSA)的磁盘驱动器悬架中使用。
技术介绍
硬磁盘驱动器和诸如光盘驱动器之类的其它类型的旋转媒体驱动器是众所周知的。图1是本专利技术所适用的示例性现有技术硬盘驱动器和悬架的斜视图。现有技术磁盘驱动单元100包括旋转磁盘101,该旋转磁盘101上包含有由磁性的一和零构成的图案,该图案构成了存储在磁盘驱动器上的数据。磁盘由驱动马达(未示出)驱动。磁盘驱动单元100还包括磁盘驱动器悬架105,其在负载梁107的远端附近安装有磁头滑动件(未示出)。悬架105联接至致动器臂103,该致动器臂103又联接至音圈马达112,该音圈马达使悬架105弧形地移动,以便将磁头滑动件定位在数据磁盘101上的正确数据道的上方。磁头滑动件被承载在万向架上,该万向架使该滑动件能够俯仰和滚动,使得它沿着磁盘上的适当数据道而行,从而允许存在诸如磁盘的振动、诸如碰撞之类的惯性事件和磁盘表面中的不规则之类的这种变化。单级致动的磁盘驱动器悬架和双级致动(DSA)悬架都是已知的。在单级致动悬 ...
【技术保护点】
1.一种制造微致动器的方法,所述方法包括:/n至少形成包括一个或多个电极的由压电材料制成的第一晶圆;/n通过由压电材料制成的所述第一晶圆形成一个或多个压电材料条带;/n将一个或多个粘合剂印制到所述压电材料条带的至少一个表面上;以及/n通过所述一个或多个压电材料条带形成包括任一粘合剂中的至少一个的一个或多个部分的一个或多个单一化的裸片。/n
【技术特征摘要】
20181109 US 62/758,471;20191030 US 16/669,2511.一种制造微致动器的方法,所述方法包括:
至少形成包括一个或多个电极的由压电材料制成的第一晶圆;
通过由压电材料制成的所述第一晶圆形成一个或多个压电材料条带;
将一个或多个粘合剂印制到所述压电材料条带的至少一个表面上;以及
通过所述一个或多个压电材料条带形成包括任一粘合剂中的至少一个的一个或多个部分的一个或多个单一化的裸片。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,通过所述第一晶圆形成所述一个或多个压电材料条带包括切割所述第一晶圆。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,将一个或多个粘合剂印制到所述压电材料条带的至少一个表面上包括:
在所述条带上布置模板;
向所述模板施加一个或多个液体粘合剂;以及
将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的一个或多个部分。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,向所述模板施加所述一个或多个液体粘合剂包括向所述模板施加不导电粘合剂。
5.根据权利要求3所述的方法,其中,向所述模板施加所述一个或多个液体粘合剂包括向所述模板施加导电粘合剂。
6.根据权利要求3所述的方法,其中,所述一个或多个液体粘合剂包括导电粘合剂和不导电粘合剂中的任一种。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,通过所述一个或多个压电材料条带形成包括所述任一粘合剂中的至少一个的一个或多个部分的所述一个或多个单一化的裸片包括切割所述一个或多个压电材料条带。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,切割所述一个或多个压电材料条带包括切割所述一个或多个压电材料条带以包括所述任一粘合剂的至少两个部分。
9.根据权利要求3所述的方法,其中,所述模板被配置成暴露所述条带的一个或多个部分,使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的所述至少一个布置到所述条带中的每一个的至少第一端上。
10.根据权利要求4所述的方法,其中,所述模板被配置成暴露出所述条带的一个或多个部分,使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的所述至少一个布置在所述条带中的每一个的顶表面上。
11.根据权利要求9所述的方法,其中,所述模板被配置成暴露出所述条带的一个或多个部分,使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的...
【专利技术属性】
技术研发人员:P·哈恩,余坤祺,张泷,D·格莱斯,
申请(专利权)人:马格内康普公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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