【技术实现步骤摘要】
树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法
本专利技术涉及一种树脂成形装置以及树脂成形品的制造方法。
技术介绍
例如,日本专利特开2017-94521号公报(专利文献1)中,记载有一种对将多个半导体芯片搭载于基板两面的工件进行压缩成形的压缩方法以及压缩装置。在专利文献1记载的压缩方法以及压缩装置中,在一次的树脂成型(model)工序中对两面进行树脂成型。
技术实现思路
在专利文献1记载的压缩方法以及压缩装置中,在仅对基板的单面进行树脂成形的情况下,有因其成形压力而成形对象物的变形量变大的可能性。本专利技术的一个实施方式的树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置,且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部,树脂成形装置包括:气体供给部,对凹部内供给气体;气压测量部,进行与凹部内的气压相关的测量;以及控制部,基于气压测量部的测量结果来控制气体供给部的气体供给量,以降低成形对象物的第一面侧与第二面侧的压力差。本专利技术的另一实施方式的树脂成形装置是能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于第一模的成形对象物的与第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形的树脂成形装置,且第一模具有与成形对象物的第一面相向的凹部,树脂成形装置包括:气体供给部,对凹部内供给气体;驱动机构,用于将第一模与第二模合模(mold-clamping);压力测量部,进行与成形对象物的第二面侧的压力相关的测量;以及控制部,基于压力测量部的测量结果来控制驱动机构,以降低成形对象物的第 ...
【技术保护点】
1.一种树脂成形装置,能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形,且所述树脂成形装置的特征在于,所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部,所述树脂成形装置包括:气体供给部,对所述凹部内供给气体;气压测量部,进行与所述凹部内的气压相关的测量;以及控制部,基于所述气压测量部的测量结果来控制所述气体供给部的气体供给量,以降低所述成形对象物的所述第一面侧与所述第二面侧的压力差。
【技术特征摘要】
2018.03.13 JP 2018-0456611.一种树脂成形装置,能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形,且所述树脂成形装置的特征在于,所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部,所述树脂成形装置包括:气体供给部,对所述凹部内供给气体;气压测量部,进行与所述凹部内的气压相关的测量;以及控制部,基于所述气压测量部的测量结果来控制所述气体供给部的气体供给量,以降低所述成形对象物的所述第一面侧与所述第二面侧的压力差。2.根据权利要求1所述的树脂成形装置,其特征在于,还包括:进行与所述成形对象物的所述第二面侧的压力相关的测量的压力测量部,所述控制部基于所述气压测量部的测量结果及所述压力测量部的测量结果来控制所述气体供给部的气体供给量。3.一种树脂成形装置,能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形,且所述树脂成形装置的特征在于,所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部,所述树脂成形装置包括:气体供给部,对所述凹部内供给气体;驱动机构,用于将所述第一模与所述第二模合模;压力测量部,进行与所述成形对象物的所述第二面侧的压力相关的测量;以及控制部,基于所述压力测量部的测量结果来控制所述驱动机构,以降低所述成形对象物的所述第一面侧与所述第二面侧的压力差。4.根据权利要求3所述的树脂成形装置,其特征在于,还包括:进行与所述凹部内的气压相关的测量的气压测量部,所述控制部基于所述压力测量部的测量结果及所述气压测量部的测量结果来控制所述驱动机构的合模力。5.一种树脂成形装置,能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形,且所述树脂成形装置的特征在于,所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部,所述树脂成形装置包括:驱动机构,用于将所述第一模与所述第二模合模;压力测量部,进行与所述成形对象物的所述第二面侧的压力相关的测量;气体供给部,对所述凹部内供给气体;气压测量部,进行与所述凹部内的气压相关的测量;以及控制部,基于所述压力测量部的测量结果及所述气压测量部的测量结果,来控制所述驱动机构的合模力及所述气体供给部的气体供给量。6.一种树脂成形装置,能够使用包含彼此相向的第一模与第二模的成形模,对保持于所述第一模的成形对象物的与所述第一模侧的第一面为相反侧的第二面侧进行树脂成形,且所述树脂成形装置的特征在于,所述第一模具有与所述成形对象物的所述第一面相向的凹部,所述树脂成形装置包括:气体供给部,对所述凹部内供给气体;减压机构,能够对包含所述成形模的密闭空间进行减压;以及连通路径,能够将所述第一模的所述凹部与所...
【专利技术属性】
技术研发人员:后藤智行,花崎昌则,谷口翔一,岩田康弘,花坂周邦,
申请(专利权)人:东和株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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