一种提高升华效率的真空升华舟装置制造方法及图纸

技术编号:21561048 阅读:34 留言:0更新日期:2019-07-10 13:06
本实用新型专利技术公开了一种提高升华效率的真空升华舟装置,包括外层石英管;外层石英管之内放置有升华舟;还包括上温区加热模块和下温区加热模块;所述上温区加热模块和下温区加热模块合并包裹在所述外层石英管之外;在上温区加热模块和下温区加热模块之外包裹有炉壳;在上温区加热模块与外层石英管之间和/或下温区加热模块与外层石英管之间安装有嵌入式可控电磁阵列;还包括多个磁性球体;所述磁性球体均匀排列在所述升华舟的内壁上;待升华材料放置在所述升华舟之内。本实用新型专利技术增加了材料的升华面积,还可以加强热传递效果,提高升华效率。

A Vacuum Sublimation Boat Device for Improving Sublimation Efficiency

【技术实现步骤摘要】
一种提高升华效率的真空升华舟装置
本技术涉及升华装置,具体涉及一种提高升华效率的真空升华舟装置。
技术介绍
常规的升华提纯装置,通常是材料放置在升华舟内,生华舟一端封闭,另一端设置高度为管径1/3的挡板,升华舟后放置集料管,利用热梯度使气化态的材料凝固,升华舟、集料管静止。材料通过二个方式接受热量,一是材料底弧面接触石英管吸收热量及底弧面受红外线照射吸收热量,二是材料上平面受红外线照射吸收热量。只有材料的上平面是气化面,气化速度受到材料的气化面的限制。材料气化分子从高密度向低密度方向扩散,通过热梯度路径时释放热量凝固,集料管底部的凝固量较大,底部温度较其它地方高些,凝固面逐渐变小。由于材料在升华舟中的气化面积有限,所以严重影响材料升华提纯的速度和效率。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术公开了一种提高升华效率的真空升华舟装置。本技术的技术方案如下:一种提高升华效率的真空升华舟装置,包括外层石英管;外层石英管之内放置有升华舟;还包括上温区加热模块和下温区加热模块;所述上温区加热模块和下温区加热模块合并包裹在所述外层石英管之外;在上温区加热模块和下温区加热模块之外包裹有炉壳;在上温区加热模块与外层石英管之间和/或下温区加热模块与外层石英管之间安装有嵌入式可控电磁阵列;还包括多个磁性球体;所述磁性球体均匀排列在所述升华舟的内壁上;待升华材料放置在所述升华舟之内。其进一步的技术方案为,在所述磁性球体外包裹氮化硅或者石英。本技术的有益技术效果是:本技术在升华舟中放入磁性球体,并通过外部的可控电磁阵列的操作,来控制磁性球体的转动和移动,则可以达到翻转材料、增加材料的升华面积的效果,还可以加强热传递效果,提高升华效率。附图说明图1是本技术的示意图。具体实施方式图1是本技术的示意图。如图1所示,本技术公开了一种提高升华效率的真空升华舟装置。包括外层石英管4,在系统处于工作状态时,外层石英管4是处于真空状态的,所以外层石英管4还连接有真空泵,不断的进行抽真空动作,使得外层石英管4保持一定的真空度。还包括上温区加热模块2和下温区加热模块3。外层石英管4是圆柱体状,上温区加热模块2和下温区加热模块3合并包裹在外层石英管4之外,组装为一个整体的加热模块,对外层石英管4进行整体的加热。在上温区加热模块2和下温区加热模块3之外包裹有炉壳1。外层石英管4之内放置有升华舟5。在上温区加热模块2与外层石英管4之间,或者在下温区加热模块3与外层石英管4之间,或者在以上两个位置同时,安装有嵌入式可控电磁阵列6。还包括多个磁性球体7。磁性球体7均匀排列在升华舟5的内壁上。待升华材料放置在升华舟5之内。进一步的,可以在磁性球体7之外包裹氮化硅或者石英。可控电磁阵列6属于现有技术,具体不再赘述,可以通过脉冲序列控制,可控电磁阵列6工作时,位于升华舟5内壁的多个磁性球体7可以相应的被磁力吸附控制,发生转动、移动等动作,所以,在升华舟5内部的待升华材料会被磁性球体7的转动、移动带动,也跟着被翻转、被搅拌,这样就大大的增加了材料的表面积,增加了升华效率。而且由于待升华材料在不停的被翻转、被搅拌,所以其受热也更加均匀,在增加了升华效率的同时,也可以在同样的升华效率下降低升华温度,减少升华材料由于热分解产生的杂质。以上所述的仅是本技术的优选实施方式,本技术不限于以上实施例。可以理解,本领域技术人员在不脱离本技术的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化,均应认为包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高升华效率的真空升华舟装置,其特征在于,包括外层石英管(4);外层石英管(4)之内放置有升华舟(5);还包括上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3);所述上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3)合并包裹在所述外层石英管(4)之外;在上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3)之外包裹有炉壳(1);在上温区加热模块(2)与外层石英管(4)之间和/或下温区加热模块(3)与外层石英管(4)之间安装有嵌入式可控电磁阵列(6);还包括多个磁性球体(7);所述磁性球体(7)均匀排列在所述升华舟(5)的内壁上;待升华材料放置在所述升华舟(5)之内。

【技术特征摘要】
1.一种提高升华效率的真空升华舟装置,其特征在于,包括外层石英管(4);外层石英管(4)之内放置有升华舟(5);还包括上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3);所述上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3)合并包裹在所述外层石英管(4)之外;在上温区加热模块(2)和下温区加热模块(3)之外包裹有炉壳(1);在上温区加热模块(...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈志宽陈智学
申请(专利权)人:宜兴凡远光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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