元件拾取装置及其制备方法、使用方法制造方法及图纸

本公开涉及一种元件拾取装置及其制备方法、使用方法。所述元件拾取装置包括：相对设置的第一基板和第二基板；间隔部，其位于所述第一基板与所述第二基板之间，其中所述间隔部彼此间隔以限定用于液体的流动通道；以及元件拾取部，其包括位于所述第二基板中且与所述流动通道连通的开口。

Component pickup device, its preparation method and use method

The present disclosure relates to a component pickup device, a preparation method and a use method thereof. The component pickup device includes: a first and a second substrate relatively arranged; a spacer, which is located between the first and the second substrates, where the spacers are spaced between each other to limit the flow channel for liquids; and a component pickup unit, which includes an opening located in the second substrate and connected with the flow channel.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】元件拾取装置及其制备方法、使用方法
本公开的实施例涉及显示
，尤其涉及一种元件拾取装置及其制备方法、使用方法。
技术介绍
微发光二极管(MicroLightEmittingDiode，Micro-LED)显示技术同时具备液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)和有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)的优点，而且其克服了OLED显示蓝光OLED寿命短的问题。Micro-LED可以应用于小到增强现实(AugmentedReality，AR)或虚拟现实(VirtualReality，VR)显示，大到广告牌、电影银幕显示，同时Micro-LED显示技术也适用于柔性可穿戴设备。
技术实现思路
本公开的实施例提供了一种元件拾取装置及其制备方法、使用方法。在本公开的一方面，提供了一种元件拾取装置。所述元件拾取装置包括：相对设置的第一基板和第二基板；间隔部，其位于所述第一基板与所述第二基板之间，其中所述间隔部彼此间隔以限定用于液体的流动通道；以及元件拾取部，其包括位于所述第二基板中且与所述流动通道连通的开口。在本公开的实施例中，至少所述开口的邻近所述第一基板的部分在所述第一基板上的正投影位于所述流动通道在所述第一基板上的正投影内。在本公开的实施例中，所述开口沿垂直于所述第二基板所在平面的截面形状为矩形。在本公开的实施例中，所述开口包括相互连通的第一部分和第二部分。所述第一部分位于所述第二基板的朝向所述第一基板的一侧，所述第二部分位于所述第二基板背离所述第一基板的一侧。在本公开的实施例中，所述第一部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第一截面不小于所述第二部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第二截面。在本公开的实施例中，所述第一部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第一截面不大于所述第二部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第二截面。在本公开的实施例中，所述第一部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第一截面的大小与所述第一截面到所述第一基板的距离呈反比。所述第二部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第二截面的大小与所述第二截面到所述第一基板的距离呈正比。在本公开的实施例中，所述开口还包括位于所述第一部分与所述第二部分之间的第三部分。所述第三部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第三截面不大于所述第一截面和所述第二截面。在本公开的实施例中，所述开口包括间隔设置的第一开口和第二开口。在本公开的实施例中，所述元件拾取装置还包括：第一电极，位于所述第一基板面向所述第二基板的一侧；第一疏水层，位于所述第一电极面向所述第二基板的一侧；以及第二疏水层，位于所述第二基板面向所述第一基板的一侧。所述第二疏水层在所述第一基板上的正投影与所述开口的邻近所述第一基板的部分在所述第一基板上的正投影不重叠。在本公开的实施例中，所述第一电极包括多个第一子电极。所述多个第一子电极沿所述流动通道的延伸方向彼此间隔地设置。在本公开的实施例中，所述元件拾取装置还包括第二电极，其位于所述第二基板与所述第二疏水层之间。所述第二电极在所述第一基板上的正投影位于所述第二疏水层在所述第一基板上的正投影内。在本公开的实施例中，所述元件拾取装置还包括：位于所述第一基板与所述第一电极之间的薄膜晶体管；位于所述薄膜晶体管与所述第一电极之间的第一介质层，其中所述薄膜晶体管在所述第一基板上的正投影与所述第一电极在所述第一基板上的正投影重叠；以及位于所述第一电极与所述第一疏水层之间的第二介质层。在本公开的实施例中，所述元件拾取装置还包括与所述流动通道连通的抽吸装置。在本公开的实施例中，所述间隔部包括疏水材料。在本公开的一方面，提供了一种制备如上所述的元件拾取装置的方法。所述方法包括：提供第一基板；提供第二基板；在所述第一基板或所述第二基板上形成间隔部，所述间隔部彼此间隔；在所述第二基板上形成元件拾取部，所述元件拾取部被形成为包括位于所述第二基板中的开口；以及接合所述第一基板和所述第二基板以使所述间隔部位于所述第一基板与所述第二基板之间以限定用于流体的流动通道，其中所述开口与所述流动通道连通。在本公开的实施例中，至少所述开口的邻近所述第一基板的部分在所述第一基板上的正投影位于所述流动通道在所述第一基板上的正投影内。在本公开的实施例中，提供所述第一基板包括：在所述第一基板上形成第一电极，以及在所述第一基板和所述第一电极上形成第一疏水层。提供所述第二基板包括：在所述第二基板上形成第二疏水层。接合所述第一基板和所述第二基板以使所述第一疏水层与所述第二疏水层彼此相对。在所述接合之后，所述第二疏水层在所述第一基板上的正投影与所述开口的邻近所述第一基板的部分在所述第一基板上的正投影不重叠。在本公开的实施例中，所述第一电极被形成为沿所述流动通道的延伸方向彼此间隔地设置。在本公开的实施例中，提供所述第二基板还包括在形成所述第二疏水层之前在所述第二基板上形成第二电极。所述第二电极在所述第二基板上的正投影位于所述第二疏水层在所述第二基板上的正投影内。根据本公开的一方面，提供了一种根据如上所述的元件拾取装置的使用方法。所述方法包括：将液滴导入所述流动通道；使所述液滴沿着所述流动通道移动至所述开口以通过所述液滴吸附待拾取的元件；以及使所述液滴沿所述流动通道移动离开所述开口以解吸附所述元件。在本公开的实施例中，使所述液滴沿着所述流动通道移动至所述开口包括对所述液滴施加第一压力。使所述液滴沿所述流动通道移动离开所述开口包括对所述液滴施加第二压力。在本公开的实施例中，所述元件拾取装置还包括位于所述第一基板面向所述第二基板的一侧的第一电极、位于所述第一电极面向所述第二基板的一侧的第一疏水层以及位于所述第二基板面向所述第一基板的一侧的第二疏水层。所述使用方法包括：对所述第一电极施加第一电压，使所述液滴沿着所述流动通道移动至所述开口以通过所述液滴吸附待拾取的元件；以及对所述第一电极施加第二电压，使所述液滴沿所述流动通道移动离开所述开口以解吸附所述元件。在本公开的实施例中，所述元件拾取装置还包括位于所述第二基板与所述第二疏水层之间的第二电极。对所述第一电极施加第一电压，使所述液滴沿着所述流动通道移动至所述开口以通过所述液滴吸附待拾取的元件还包括：在施加所述第一电压时对所述第二电极施加与所述第一电压不同的第三电压。使所述液滴沿所述流动通道移动离开所述开口以解吸附所述元件还包括：在施加所述第二电压时对所述第二电极施加与所述第二电压不同的第四电压。在本公开的实施例中，在拾取所述元件之前，对所述元件的表面进行亲水处理。在本公开的实施例中，对所述元件的表面进行亲水处理的方法包括对所述元件的表面进行氧气等离子体处理或在所述元件的表面涂覆表面活性剂。在本公开的实施例中，所述表面活性剂包括十二烷基硫酸钠、聚乙二醇、聚乙烯醇或聚甲基丙烯酸。在本公开的实施例中，所述元件包括微型发光二极管芯片。适应性的进一步的方面和范围从本文中提供的描述变得明显。应当理解，本申请的各个方面可以单独或者与一个或多个其他方面组合实施。还应当理解，本文中的描述和特定实施例旨在仅说明的目的并不旨在限制本申请的范围。附图说明本文中描述的附图用于仅对所选择的实施例的说明的目的，并不是所有可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种元件拾取装置，包括：相对设置的第一基板和第二基板；间隔部，其位于所述第一基板与所述第二基板之间，其中所述间隔部彼此间隔以限定用于液体的流动通道；以及元件拾取部，其包括位于所述第二基板中且与所述流动通道连通的开口。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种元件拾取装置，包括：相对设置的第一基板和第二基板；间隔部，其位于所述第一基板与所述第二基板之间，其中所述间隔部彼此间隔以限定用于液体的流动通道；以及元件拾取部，其包括位于所述第二基板中且与所述流动通道连通的开口。2.根据权利要求1所述的元件拾取装置，其中，至少所述开口的邻近所述第一基板的部分在所述第一基板上的正投影位于所述流动通道在所述第一基板上的正投影内。3.根据权利要求2所述的元件拾取装置，其中，所述开口沿垂直于所述第二基板所在平面的截面形状为矩形。4.根据权利要求2所述的元件拾取装置，其中，所述开口包括相互连通的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第二基板的朝向所述第一基板的一侧，所述第二部分位于所述第二基板背离所述第一基板的一侧。5.根据权利要求4所述的元件拾取装置，其中，所述第一部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第一截面不小于所述第二部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第二截面。6.根据权利要求4所述的元件拾取装置，其中，所述第一部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第一截面不大于所述第二部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第二截面。7.根据权利要求4所述的元件拾取装置，其中，所述第一部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第一截面的大小与所述第一截面到所述第一基板的距离呈反比，所述第二部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第二截面的大小与所述第二截面到所述第一基板的距离呈正比。8.根据权利要求5所述的元件拾取装置，其中，所述开口还包括位于所述第一部分与所述第二部分之间的第三部分，所述第三部分在平行于所述第一基板所在的平面上的第三截面不大于所述第一截面和所述第二截面。9.根据权利要求2所述的元件拾取装置，其中，所述开口包括间隔设置的第一开口和第二开口。10.根据权利要求1所述的元件拾取装置，还包括：第一电极，位于所述第一基板面向所述第二基板的一侧；第一疏水层，位于所述第一电极面向所述第二基板的一侧；以及第二疏水层，位于所述第二基板面向所述第一基板的一侧，其中，所述第二疏水层在所述第一基板上的正投影与所述开口的邻近所述第一基板的部分在所述第一基板上的正投影不重叠。11.根据权利要求10所述的元件拾取装置，其中，所述第一电极包括多个第一子电极，所述多个第一子电极沿所述流动通道的延伸方向彼此间隔地设置。12.根据权利要求11所述的元件拾取装置，还包括第二电极，其位于所述第二基板与所述第二疏水层之间，其中，所述第二电极在所述第一基板上的正投影位于所述第二疏水层在所述第一基板上的正投影内。13.根据权利要求10所述的元件拾取装置，还包括：位于所述第一基板与所述第一电极之间的薄膜晶体管；位于所述薄膜晶体管与所述第一电极之间的第一介质层，其中所述薄膜晶体管在所述第一基板上的正投影与所述第一电极在所述第一基板上的正投影重叠；以及位于所述第一电极与所述第一疏水层之间的第二介质层。14.根据权利要求1所述的元件拾取装置，还包括与所述流动通道连通的抽吸装置。15.根据权利要求1所述的元件拾取装置，其中，所述间隔部包括疏水材料。16.一种制备权利要求1至15中任一项所述的元件拾取装置的方法，包括：提供第一基板；提供第二基板；在所述第一基板或所述第二基板上形成间隔部，所述间隔部彼此间隔；在所述第二基板上形成...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘英伟，曹占锋，狄沐昕，王珂，梁志伟，顾仁权，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11