物理量传感器、电子机器及移动体制造技术

本发明专利技术涉及物理量传感器、电子机器及移动体。本发明专利技术的物理量传感器具有可动部，该可动部包括位于与旋转轴正交的第一方向一侧的第一质量部及位于另一侧的第二质量部、以及连结第一质量部和第二质量部的连结部。另外，连结部包括第一缝隙、位于第一缝隙的一侧的第二缝隙、和位于另一侧的第三缝隙。而且，当在俯视下，将通过第一缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第一中心轴，将通过第二缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第二中心轴，将通过第三缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第三中心轴时，第二中心轴以及第三中心轴分别相对于第一中心轴在旋转轴的方向上错开。

Physical Quantity Sensors, Electronic Machines and Mobile Objects

The invention relates to a physical quantity sensor, an electronic machine and a mobile body. The physical quantity sensor of the present invention has a movable part, which includes a first mass part on one side of the first direction orthogonal to the rotation axis, a second mass part on the other side, and a connection part connecting the first mass part and the second mass part. In addition, the connecting part includes a first gap, a second gap on one side of the first gap, and a third gap on the other side. Moreover, when the center of the first slot and the axis along the first direction are taken as the first central axis, the center of the second slot and the axis along the first direction are taken as the second central axis, and the center of the third slot and the axis along the first direction are taken as the third central axis, the second central axis and the third central axis are rotated relative to the first central axis respectively. The axis is staggered in direction.

【技术实现步骤摘要】
物理量传感器、电子机器及移动体
本专利技术涉及物理量传感器、电子机器及移动体。
技术介绍
例如，专利文件1所记载的物理量传感器(加速度传感器)具有可动部、支承部和梁，梁以可动部相对于支承部能够围绕规定的旋转轴进行跷跷板旋转的方式连接支承部和可动部。另外，物理量传感器具有：第一固定检测电极，相对于可动部的旋转轴与一侧的部分相对；以及与另一侧的部分相对的第二固定检测电极。在这种构成中，施加Z轴方向(可动部的法线方向)的加速度时，可动部跷跷板旋转，伴随于此，可动部和第一固定检测电极之间的静电容量以及可动部和第二固定检测电极之间的静电容量分别变化。因此，专利文件1记载的物理量传感器能够基于这些静电容量的变化而检测出Z轴方向的加速度。专利文件1：日本特开平9-189716号公报但是，在这一构成中，梁扭转变形的同时可动部跷跷板旋转，因此对梁和支承部的连接部分，或梁和可动部的连接部分施加比较大的应力。另外，当受到冲击时，也因可动部的移位，对梁和支承部的连接部分，或梁和可动部的连接部分施加比较大的应力。因此，存在该部分容易破损、不能发挥良好的机械强度的问题。本专利技术的目的在于提供具有良好的机械强度的物理量传感器、物理量传感器设备、复合传感器设备、惯性测量装置、移动体定位装置、便携型电子机器、电子机器及移动体。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而提出的，能够作为以下的专利技术实现。一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；以及被所述基板支承的元件部，所述元件部包括：安装于所述基板的固定部；可动部；以及连接所述固定部和所述可动部的支承梁，所述可动部能够以所述支承梁为旋转轴移位，所述可动部包括：第一质量部，经由旋转轴，位于与所述旋转轴正交的第一方向的一侧；第二质量部，位于所述第一方向的另一侧；以及连结部，与所述支承梁连接，连结所述第一质量部和所述第二质量部，所述连结部包括：第一缝隙；第二缝隙，位于所述第一缝隙的所述第一质量部一侧；以及第三缝隙，位于所述第一缝隙的所述第二质量部一侧，当在俯视下，将通过所述第一缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第一中心轴，在俯视下，将通过所述第二缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第二中心轴，在俯视下，将通过所述第三缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第三中心轴时，所述第二中心轴以及所述第三中心轴分别相对于所述第一中心轴在所述旋转轴的方向上错开支承。由此，能够缓和支承梁和连结部的连接部分上的应力集中。因此，得到具有良好的机械强度的物理量传感器。优选地，在物理量传感器中，所述第一缝隙是沿着所述第一方向的长条形状。由此，更有效地缓和支承梁和连结部上的连接部分的应力集中。优选地，在物理量传感器中，所述第一缝隙的所述第一方向的两端部分别形成圆角。由此，能够缓和第一缝隙上的应力集中。优选地，在物理量传感器中，所述第二缝隙以及所述第三缝隙分别是沿着所述第一方向的长条形状。由此，能够更有效地缓和支承梁和连结部上的连接部分的应力集中。优选地，在物理量传感器中，所述第二缝隙的所述第一方向的两端部分别形成圆角，所述第三缝隙的所述第一方向的两端部分别形成圆角。由此，能够缓和第二缝隙以及第三缝隙上的应力集中。优选地，在物理量传感器中，沿着所述第一方向分别配置多个所述第二缝隙以及多个所述第三缝隙。由此，能够更有效地缓和支承梁和连结部上的连接部分的应力集中。优选地，在物理量传感器中，所述第二缝隙以及所述第三缝隙分别具有与将所述第一缝隙在所述第一方向上延长后的区域重合的区域。由此，能够更有效地缓和梁和连结部的连接部分上的应力集中。优选地，在物理量传感器中，所述第二缝隙以及所述第三缝隙分别具有与将所述第一缝隙在沿着所述旋转轴的方向上延长后的区域重合的区域。由此，能够更有效地缓和支承梁和连结部的连接部分上的应力集中。优选地，在物理量传感器中，在沿着所述旋转轴的方向上配置多个所述第一缝隙。由此，能够更有效地缓和支承梁和连结部的连接部分上的应力集中。优选地，在物理量传感器中，在沿着所述旋转轴的方向上分别配置多个所述第二缝隙以及多个所述第三缝隙。由此，能够更有效地缓和支承梁和连结部的连接部分上的应力集中。优选地，物理量传感器能够检测加速度。由此，成为便利性高的物理量传感器。物理量传感器设备能够包括物理量传感器、和电路元件。由此，能够享受本专利技术的物理量传感器的效果，得到可靠性较高的物理量传感器设备。一种复合传感器设备，其特征在于，包括作为物理量传感器的第一物理量传感器；以及与所述第一物理量传感器检测不同的物理量的第二物理量传感器。由此，能够享受物理量传感器的效果，得到可靠性较高的复合传感器设备。一种惯性测量装置，其特征在于，包括物理量传感器，以及控制所述物理量传感器的驱动的控制电路。由此，能够享受物理量传感器的效果，得到可靠性较高的惯性测量装置。一种移动体定位装置，其特征在于，包括：惯性测量装置；接收部，从定位用卫星接收位置信息重叠了的卫星信号；获取部，根据接收的所述卫星信号，获取所述接收部的位置信息；运算部，根据从所述惯性测量装置输出的惯性数据，运算移动体的姿势；以及计算部，根据算出的所述姿势校正所述位置信息，从而计算所述移动体的位置。由此，能够享受惯性测量装置的效果，得到可靠性较高的移动体定位装置。一种便携型电子机器，其特征在于，包括：物理量传感器；壳体，容纳所述物理量传感器；处理部，容纳于所述壳体，处理从所述物理量传感器输出的输出数据；显示部，容纳于所述壳体；透光性盖，封堵所述壳体的开口部。由此，能够享受物理量传感器的效果，得到可靠性较高的便携型电子机器。优选地，在便携型电子机器中，包括卫星定位系统，测量用户的移动距离或移动轨迹。由此，成为便利性更高的便携型电子机器。一种电子机器，其特征在于，包括：物理量传感器；以及控制部，根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。由此，能够享受物理量传感器的效果，得到可靠性较高的电子机器。一种移动体，其特征在于，包括：物理量传感器；以及控制部，根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。由此，能够享受物理量传感器的效果，得到可靠性较高的移动体。优选地，在移动体中，包括发动机系统、制动系统以及无钥匙进入系统的至少任一系统，所述控制部根据所述检测信号控制所述系统。由此，能够精度良好地控制系统。附图说明图1是第一实施方式的物理量传感器的俯视图。图2是图1中的A-A线剖视图。图3是元件部的局部放大俯视图。图4是元件部的局部放大俯视图。图5是示出驱动电压的图表。图6是示出第二实施方式的物理量传感器具有的元件部的局部放大俯视图。图7是示出图6所示的元件部的变形例的局部放大俯视图。图8是示出第三实施方式的物理量传感器具有的元件部的局部放大俯视图。图9是示出第四实施方式的物理量传感器具有的元件部的局部放大俯视图。图10是示出图9所示的元件部的变形例的局部放大俯视图。图11是示出第五实施方式的物理量传感器设备的剖视图。图12是示出第六实施方式的复合传感器设备的俯视图。图13是图12示出的复合传感器设备的剖视图。图14是示出第七实施方式的惯性测量装置的分解立体图。图15是图14所示的惯性测量装置具有的基板的立体图。图16是示出第八实施方式的移动体定位装置的整个系统的框图。图17是示出图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；以及被所述基板支承的元件部，所述元件部包括：安装于所述基板的固定部；可动部；以及连接所述固定部和所述可动部的支承梁，所述可动部能够以所述支承梁为旋转轴移位，所述可动部包括：第一质量部，经由旋转轴，位于与所述旋转轴正交的第一方向的一侧；第二质量部，位于所述第一方向的另一侧；以及连结部，与所述支承梁连接，连结所述第一质量部和所述第二质量部，所述连结部包括：第一缝隙；第二缝隙，位于所述第一缝隙的所述第一质量部一侧；以及第三缝隙，位于所述第一缝隙的所述第二质量部一侧，当在俯视下，将通过所述第一缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第一中心轴，在俯视下，将通过所述第二缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第二中心轴，在俯视下，将通过所述第三缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第三中心轴时，所述第二中心轴以及所述第三中心轴分别相对于所述第一中心轴在所述旋转轴的方向上错开。

【技术特征摘要】
2017.11.28 JP 2017-2284031.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；以及被所述基板支承的元件部，所述元件部包括：安装于所述基板的固定部；可动部；以及连接所述固定部和所述可动部的支承梁，所述可动部能够以所述支承梁为旋转轴移位，所述可动部包括：第一质量部，经由旋转轴，位于与所述旋转轴正交的第一方向的一侧；第二质量部，位于所述第一方向的另一侧；以及连结部，与所述支承梁连接，连结所述第一质量部和所述第二质量部，所述连结部包括：第一缝隙；第二缝隙，位于所述第一缝隙的所述第一质量部一侧；以及第三缝隙，位于所述第一缝隙的所述第二质量部一侧，当在俯视下，将通过所述第一缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第一中心轴，在俯视下，将通过所述第二缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第二中心轴，在俯视下，将通过所述第三缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第三中心轴时，所述第二中心轴以及所述第三中心轴分别相对于所述第一中心轴在所述旋转轴的方向上错开。2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，所述第一缝隙是沿着所述第一方向的长条形状。3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，所述第一缝隙的所述第一方向的两端部分别形成圆角。4.根据权利要求1至3中任一项所述的物理量传感器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：木原竜儿，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP