一种用于双面镀膜的载板制造技术

本实用新型专利技术涉及太阳能电池片的制造技术领域，具体而言，涉及一种用于双面镀膜的载板。本实用新型专利技术提供的一种用于双面镀膜的载板，在板式PECVD镀膜过程中，当电池片承载于挂钩上时，挂钩的倾斜支腿可有效地扩大电池片暴露在外的面积，可尽量减少气体流动时的干扰，有效地减小对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记；同时，将所述支腿端部设置倾斜部，上下均做倾斜处理，使得该载板不仅仅适用于单上面镀膜或单下面镀膜，还可以同时进行上下镀膜，而不需要进行翻面切换；通过挂钩承载的方式，可以尽量减少载板散热对硅片的影响，并且接触面积小，尽量减少对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记。

A Carrier Plate for Double-sided Coating

The utility model relates to the technical field of manufacturing solar cell sheets, in particular to a carrier plate used for double-sided coating. The utility model provides a carrier plate for double-sided coating. In the process of plate PECVD coating, when the battery sheet is loaded on the hook, the inclined leg of the hook can effectively expand the exposed area of the battery sheet, minimize the interference of gas flow, effectively reduce the shielding of the silicon sheet, and effectively reduce the imprint of insufficient coating at the contact position. The inclined part is arranged at the end of the leg, so that the carrier plate is not only suitable for single top coating or single bottom coating, but also can be coated up and down at the same time without the need for flip-over switching. By means of hook load-bearing, the influence of heat dissipation of the carrier plate on the silicon wafer can be minimized, and the contact area is small, the shielding of the silicon wafer can be minimized and effectively reduced. Inadequate imprinting in small contact position.

【技术实现步骤摘要】
一种用于双面镀膜的载板
本技术涉及太阳能电池片的制造
，具体而言，涉及一种用于双面镀膜的载板。
技术介绍
碳纤维载板作为太阳能电池片镀膜工序中，装载电池片进入镀膜设备的一个装载用具，其材料由碳纤维材料和石墨材料组成，载板长度尺寸700mm-2000mm，常用的规格有756，844，854，1000，1050，1524，1690，1740，1860，1920；宽度尺寸1000mm-1300mm，常用的规格有1000mm，1110mm。现有技术方案，如专利号CN201620629843.2，如图1所示，公开了一种适用于PERC电池片的双面镀膜石墨框；该专利所述的石墨边框的每个边框的顶面均设置有台阶和斜面，所述台阶和所述斜面由内至外设置，所述台阶的竖直面的顶端连接所述斜面的底端，多个所述斜面形成上大下小的倒锥形开口结构，所述台阶的竖直面的高度略大于硅片的厚度，所述台阶的宽度略大于硅片的预留边缘宽度。所述台阶的竖直面的顶端连接所述斜面的底端，硅片与台阶面接触面积大，对硅片的遮挡较大，使得镀膜不充分的印记较大。
技术实现思路
为解决现有技术中的上述问题，本技术的目的在于提供一种用于双面镀膜的载板。本技术的实施例是这样实现的：一种用于双面镀膜的载板，其包括至少一个单元，每个所述单元包括用于放置电池片的框架以及用于承载电池片的至少三个挂钩，所述挂钩设置于所述框架用于支撑电池片；所述挂钩包括两侧相对设置的倾斜支腿，所述支腿端部设置有倾斜部。在板式PECVD镀膜过程中，处于真空高温环境，通过微波促发工艺气体产生化学反应，沉积膜层附着在硅片表面；所以温度和工艺气体的流动对膜层的均匀性，有很大的影响，当电池片承载于挂钩上时，挂钩的倾斜支腿可有效地扩大电池片暴露在外的面积，可尽量减少气体流动时的干扰，有效地减小对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记；同时，将所述支腿端部设置倾斜部，上下均做倾斜处理，使得该载板不仅仅适用于单上面镀膜或单下面镀膜，还可以同时进行上下镀膜，而不需要进行翻面切换；通过挂钩承载的方式，可以尽量减少载板散热对硅片的影响，并且接触面积小，尽量减少对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记。在本技术的一个实施例中：上述用于双面镀膜的载板包括四个所述挂钩，所述挂钩设置于所述框架的四周。在本技术的一个实施例中：上述框架四周设置有分割筋，所述分割筋沿着中心向两端的方向厚度逐渐减小，形成对称设置的第一对倾斜面以及对称设置的第二对倾斜面，所述第一对倾斜面与所述第二对倾斜面相对设置；所述挂钩连接于所述分割筋。在本技术的一个实施例中：上述用于双面镀膜的载板还包括用于限定电池片的挡钩，所述框架一对侧框相对设置有两对所述挂钩，所述挂钩连接于所述分割筋；所述框架另一相对设置有两对所述挡钩，所述挡钩包括两侧相对设置的挡腿，所述挡钩连接于所述分割筋。在本技术的一个实施例中：上述挡钩与所述分割筋连接处设置有垫片。在本技术的一个实施例中：上述分割筋开设有用于安装所述挂钩的安装槽，所述安装槽开设于所述第一对倾斜面与所述第二对倾斜面连接处。在本技术的一个实施例中：上述挂钩还具备有两条连接腿，所述连接腿一端通过连接件连接，另一端间隔设置，所述连接件以及所述连接腿形成用于容纳所述分割筋的容纳空间，所述倾斜支腿设置于所述连接腿外侧。在本技术的一个实施例中：上述连接腿采用塑性材料制成。在本技术的一个实施例中：上述挂钩与所述分割筋连接处设置有第一垫片以及第二垫片，所述第一垫片与所述第一对倾斜面相配合，所述第二垫片与所述第二对倾斜面相配合。在本技术的一个实施例中：上述第一对倾斜面与所述第二对倾斜面的倾斜角度设置为2°至45°。本技术实施例的有益效果是：本技术提供的一种用于双面镀膜的载板，其包括至少一个单元，每个所述单元包括用于放置电池片的框架以及用于承载电池片的至少三个挂钩，所述挂钩设置于所述框架用于支撑电池片；所述挂钩包括两侧相对设置的倾斜支腿，所述支腿端部设置有倾斜部。在板式PECVD镀膜过程中，处于真空高温环境，通过微波促发工艺气体产生化学反应，沉积膜层附着在硅片表面；所以温度和工艺气体的流动对膜层的均匀性，有很大的影响，当电池片承载于挂钩上时，挂钩的倾斜支腿可有效地扩大电池片暴露在外的面积，可尽量减少气体流动时的干扰，有效地减小对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记；同时，将所述支腿端部设置倾斜部，上下均做倾斜处理，使得该载板不仅仅适用于单上面镀膜或单下面镀膜，还可以同时进行上下镀膜，而不需要进行翻面切换；通过挂钩承载的方式，可以尽量减少载板散热对硅片的影响，并且接触面积小，尽量减少对硅片的遮挡，有效地减小接触位置镀膜不充分的印记。附图说明为了更清楚的说明本技术实施例的技术方案，下面对实施例中需要使用的附图作简单介绍。应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施方式，不应被看作是对本技术范围的限制。对于本领域技术人员而言，在不付出创造性劳动的情况下，能够根据这些附图获得其他附图。图1为本技术提供的现有技术的双面镀膜石墨框的结构示意图；图2为本技术实施例1提供的用于双面镀膜的载板的整体结构示意图；图3为图2的III处放大图；图4为本技术实施例1提供的用于双面镀膜的载板的分解示意图；图5为本技术实施例1提供的用于双面镀膜的载板的安装有硅片的结构示意图；图6为图2中第一种双面镀膜的载板的B-B的剖视图；图7为图2中第二种双面镀膜的载板的B-B的剖视图；图8为图2中C-C的剖视图第一种安装槽的结构示意图；图9为图2中C-C的剖视图第二种安装槽的结构示意图。图标：10-用于双面镀膜的载板；100-单元；110-框架；112-挂钩；114-倾斜支腿；116-倾斜部；117-连接腿；118-连接件；119-容纳空间；120-分割筋；122-第一对倾斜面；124-第二对倾斜面；126-安装槽；130-第一垫片；140-第二垫片；150-挡钩；152-挡腿。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于双面镀膜的载板，其特征在于，所述用于双面镀膜的载板包括至少包括一个单元，每个所述单元包括用于放置电池片的框架以及用于承载电池片的至少三个挂钩，所述挂钩设置于所述框架用于支撑电池片；所述挂钩包括两侧相对设置的倾斜支腿，所述支腿端部设置有倾斜部。

【技术特征摘要】
1.一种用于双面镀膜的载板，其特征在于，所述用于双面镀膜的载板包括至少包括一个单元，每个所述单元包括用于放置电池片的框架以及用于承载电池片的至少三个挂钩，所述挂钩设置于所述框架用于支撑电池片；所述挂钩包括两侧相对设置的倾斜支腿，所述支腿端部设置有倾斜部。2.根据权利要求1所述的用于双面镀膜的载板，其特征在于，所述用于双面镀膜的载板包括四个所述挂钩，所述挂钩设置于所述框架的四周。3.根据权利要求1所述的用于双面镀膜的载板，其特征在于，所述框架四周设置有分割筋，所述分割筋沿着中心向两端的方向厚度逐渐减小，形成对称设置的第一对倾斜面以及对称设置的第二对倾斜面，所述第一对倾斜面与所述第二对倾斜面相对设置；所述挂钩连接于所述分割筋。4.根据权利要求3所述的用于双面镀膜的载板，其特征在于，所述用于双面镀膜的载板还包括用于限定电池片的挡钩，所述框架一对侧框相对设置有两对所述挂钩，所述挂钩连接于所述分割筋；所述框架另一相对设置有两对所述挡钩，所述挡钩包括两侧相对设置的挡腿，所述挡钩连...

【专利技术属性】
技术研发人员：周桂宏，
申请(专利权)人：南京仁厚科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32