The invention discloses a method for improving the positioning accuracy of defects on the optical sheet to the graphic layer. According to the results of electron beam scanning observation, the silicon wafer is added with the minimum repetitive complete unit information, and then according to the original complete unit origin of the smallest repetitive complete unit, a coordinate of each defect is given again, so as to improve the positioning of the subsequent silicon wafer with the graphic layer. \u3002 The invention can automatically add the smallest duplicate complete unit information, and improve the accuracy of defect location from the bare wafer to the graphic layer behind.
【技术实现步骤摘要】
提高光片上缺陷到图形层定位精确度的方法
本专利技术涉及半导体集成电路领域,特别是涉及一种提高光片上缺陷到图形层定位精确度的方法。
技术介绍
在大型集成电路晶圆生产过程中,需要适时检测不同工艺过程中产生的缺陷问题,常用的手段是通过亮场和暗场扫描,裸晶圆在亮场或者暗场扫描结束后,由于当层没有图形,将整片硅片作为一个最小的重复的完整单元。电子束扫描观察缺陷时,根据硅片用来标记的刻痕和晶边进行硅片对准,而正常图形层的硅片晶圆有最小的重复的完整单元信息。电子束扫描观察缺陷时,根据硅片中十字标志进行定位,两种定位系统存在一定的位移偏差,因此光片上的缺陷到后续有图形层硅片晶圆定点电子束扫描观察缺陷存在定位不准的问题,导致小尺寸的缺陷没法精确判断,对后续图形成影响。严重影响缺陷对晶圆良率的影响因子的评估。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种提高光片上缺陷到图形层定位精确度的方法,能自动添加最小的重复的完整单元信息,提高裸晶圆到后面有图形层缺陷定位的精确度。为解决上述技术问题,本专利技术的提高光片上缺陷到图形层定位精确度的方法,是采用如下技术方案实现的:根据电子束扫描观察缺陷结果,给硅片添加最小的重复的完整单元信息,再根据最小的重复的完整单元原始的完整单元原点的设置,重新给每个缺陷一个坐标,以此来提高到后续有图形层硅片晶圆的定位。采用本专利技术的方法,通过电子束扫描观察缺陷结果自动添加最小的重复的完整单元信息,来提高光片缺陷到有图形层硅片晶圆缺陷定位的精确度,直观的了解该缺陷到后面图形层的演变过程,提前预知其对良率的影响因子。同时如果没有裸晶圆的扫描数据,直接在 ...
【技术保护点】
1.一种提高光片上缺陷到图形层定位精确度的方法,其特征在于:根据电子束扫描观察缺陷结果给硅片添加最小的重复的完整单元信息,再根据最小的重复的完整单元原始的完整单元原点的设置,重新给每个缺陷一个坐标,以此来提高到后续有图形层硅片晶圆的定位。
【技术特征摘要】
1.一种提高光片上缺陷到图形层定位精确度的方法,其特征在于:根据电子束扫描观察缺陷结果给硅片添加最小的重复的完整单元信息,再根据最小的重复的完整单元原始的完整单元原点的设置,重新给每个缺陷一个坐标,以此来提高到后续有图形层硅片晶圆的定位。2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,具体步骤如下:步骤1、裸晶圆在亮场或者暗场扫描结束后,按整片硅片作为一个最小的重复的完整单元,给每个缺陷定义一个坐标位置,电子束扫描观察缺陷时,根据硅片用来标记的刻痕和晶边进行硅片对准,再进行电子束扫描得到缺陷的形貌;步骤2、电子束扫描观察缺陷结束时,根据电子束扫描观察到的最小缺陷尺...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈萍,郭浩,倪祺梁,
申请(专利权)人:上海华力集成电路制造有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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