一种激光扫描装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光扫描装置，该装置包括底座、可调节高度的升降单元、激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统，升降单元固定在底座上，激光单元固定在升降单元的上方，光路传导系统和振镜扫描系统分别与升降单元固定连接，激光单元包括至少两个激光器，振镜扫描系统包括与激光器数量相同的振镜，激光器通过光路传导系统与振镜进行一对一光路连接。一方面，该装置设置有多个激光器，多个激光器可同时工作，加快了激光标刻的速度，另一方面，该装置可通过调节升降单元的高度而调节高能激光束的焦点位置，使玻璃板上的薄膜快速汽化，快速完成刻蚀而不影响下方的物体。

【技术实现步骤摘要】
一种激光扫描装置及其方法
本专利技术属于激光标刻
，尤其涉及一种激光扫描装置及其方法。
技术介绍
ITO薄膜是指铟锡氧化物的半导体透明导电薄膜，通常将ITO薄膜镀在玻璃基板上，其厚度范围为100-500纳米。ITO薄膜以其在可见光区的高透过率和很强的导电能力等优质特性，被广泛应用到消费电子领域的触摸屏行业中。玻璃板上的ITO薄膜镀常需要刻线。传统的ITO刻线常用化学试剂刻蚀，但该方法的废品率高。现有的ITO刻蚀方法主要采用激光刻蚀，但现有的激光刻蚀技术存在以下问题：在蚀刻后会对ITO玻璃面板造成损伤，蚀刻的拐角处有毛刺，尺寸精度误差大，蚀刻的速度慢。
技术实现思路
本专利技术提供一种激光扫描装置及其方法，用以解决现有激光刻蚀技术刻蚀速度慢的技术问题。本专利技术第一方面提供一种激光扫描装置，所述装置包括：底座、可调节高度的升降单元、激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统；所述升降单元固定在底座上，所述激光单元固定在所述升降单元的上方，所述光路传导系统和振镜扫描系统分别与所述升降单元固定连接；所述激光单元包括至少两个激光器，所述振镜扫描系统包括与所述激光器的数量相同的振镜；所述激光器与所述振镜通过所述光路传导系统与所述振镜进行一对一的光路连接。本专利技术第二方面提供一种激光扫描方法，所述方法包括：所述激光单元产生激光，所述激光通过所述光路传导系统传输至所述振镜扫描系统的振镜中；调节所述升降单元的高度，以调节所述振镜中输出激光的聚焦位置。从上述技术方案可知，第一方面，该装置设置有多个激光器，多个激光器可同时工作，加快了激光标刻的速度；第二方面，该装置的升降单元可调节高度，激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统分别与升降单元固定连接，可通过调节升降单元的高度来调节振镜扫描系统中振镜的高度，从而调节高能激光束的焦点位置，使玻璃板上的薄膜快速汽化，快速完成刻蚀而不影响下方的物体。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种激光扫描装置的正向的轴测图；图2为升降单元的结构示意图；图3为激光扫描装置另一角度的轴测图；图4为光路传导系统和振镜扫描系统的结构示意图；图5为激光传输通道的结构示意图；图6为本专利技术另一实施例提供的激光扫描方法的流程示意图。具体实施方式为使得本专利技术的专利技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而非全部实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，为本专利技术实施例提供的一种激光扫描装置的结构示意图，该装置包括底座1、可调节高度的升降单元2、激光单元3、光路传导系统4和振镜扫描系统5，升降单元2固定在底座1上，激光单元3固定在升降单元2的上方，光路传导系统4和振镜扫描系统5分别与升降单元2固定连接，激光单元3包括至少两个激光器31，振镜扫描系统5包括与激光器31的数量相同的振镜51，激光器31与振镜51通过光路传导系统4与振镜51进行一对一的光路连接。其中，激光单元3包括至少两个激光器31，振镜扫描系统5包括与激光器31的数量相同的振镜51，激光器31与振镜51通过光路传导系统4与振镜51进行一对一的光路连接，即激光器31产生的激光可通过光路传导系统4传输至振镜51中，每一个激光器31产生的激光对应传输至一个振镜51中，振镜51中输出的激光聚焦到需进行标刻的薄膜中，刻蚀不同的形状，完成激光打标。其中，激光单元3、光路传导系统4和振镜扫描系统5分别与升降单元2固定连接，升降单元2可调节高度，在调节升降单元2的高度时，激光单元3、光路传导系统4和振镜扫描系统5距地面的高度也随着升降单元高度的变化而变化，从而改变振镜中输出的激光聚焦位置的高度，因此，可根据通过调节升降单元3的高度，而调节高能激光束的焦点位置，使玻璃板上的薄膜快速汽化，快速完成刻蚀而不影响下方的物体。需要说明的是，每一个激光器产生的激光对应传输至一个振镜的过程相互不受影响，每一个激光器可独立工作也可同时工作，即该装置可同时完成多个激光打标操作，也可单独进行一个激光打标操作。进一步地，如图2所示，图2为升降单元的结构示意图，升降单元2包括：滑块单元21和组件22，滑块单元21包括第一滑块单元211、第二滑块单元212和第三滑块单元213，其中，第一滑块单元211设置的方向为水平方向，第二滑块单元212设置的方向为倾斜方向，第三滑块单元213设置的方向为竖直方向。组件22包括下斜块221、上斜块222和导向块223，下斜块221包括水平的下底面和倾斜的上底面，上斜块222包括竖直的侧面和倾斜的下底面，导向块223包括竖直的侧面，导向块223固定在底座1上，下斜块221的下底面通过第一滑块单元211与底座连接，上斜块22的下底面通过第二滑块单元212与下斜块221的上底面连接，导向块223的侧面通过第三滑块单元213与上斜块222的侧面连接。进一步地，该装置还包括电机组件，电机组件连接下斜块221，用于驱动下斜块221在直线运动。导向块223固定在底座1上，电机组件驱动下斜块221直线运动，从而造成上斜块222运动。具体地，如图2所示，第一滑块单元211单元包括第一导轨2111和第一滑块2112，第一导轨2111设置在底座1的上方，第一滑块2112设置在第一导轨2111上，第一滑块2112还固定在下斜块221的下底面。第二滑块单元212包括第二导轨2121和第二滑块2122，第二导轨2121设置在下斜块221的上底面，第二滑块2122设置在第二导轨2121上，第二滑块2122还固定在上斜块222的下底面。第三滑块单元213包括第三导轨2131和第三滑块2132，第三导轨2131设置在上斜块222的侧面，第三滑块2132设置在第三导轨2131上，第三滑块2132还固定在导向块223的侧面。其中，电机组件驱动下斜块221水平方向上直线运动，造成上斜块222在竖直方向进行直线运动，改变上斜块距底座的高度。需要说明的，电机组件未在图2中示出。进一步地，如图3所示，图3为激光扫描装置另一角度的轴测图，激光单元3还包括光路底板32，激光器31通过光路底板32固定在升降单元2的上方。具体地，光路底板32固定在上斜块222的上底面，激光器31固定在光路底板32上，使激光器31与上斜块222固定连接，从而使激光器31随着上斜块222的运动而运动。需要说明的是，激光器的数量为多个，具体数量不作限制，例如，设置2个或4个激光器，等等。请参阅图3和图4，图4为光路传导系统和振镜扫描系统的结构示意图，光路传导系统4包括多条激光传输通道41和支撑装置42，激光传输通道41通过支撑装置42固定在光路底板32上，多条激光传输通道41中每一条激光传输通道41对应一个激光器31和一个振镜51，激光传输通道41的入口与激光器31的激光出口光路连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光扫描装置，其特征在于，所述装置包括：底座、可调节高度的升降单元、激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统；所述升降单元固定在底座上，所述激光单元固定在所述升降单元的上方，所述光路传导系统和振镜扫描系统分别与所述升降单元固定连接；所述激光单元包括至少两个激光器，所述振镜扫描系统包括与所述激光器的数量相同的振镜；所述激光器通过所述光路传导系统与所述振镜进行一对一的光路连接。

【技术特征摘要】
1.一种激光扫描装置，其特征在于，所述装置包括：底座、可调节高度的升降单元、激光单元、光路传导系统和振镜扫描系统；所述升降单元固定在底座上，所述激光单元固定在所述升降单元的上方，所述光路传导系统和振镜扫描系统分别与所述升降单元固定连接；所述激光单元包括至少两个激光器，所述振镜扫描系统包括与所述激光器的数量相同的振镜；所述激光器通过所述光路传导系统与所述振镜进行一对一的光路连接。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述升降单元包括滑块单元和固定组件；所述滑块单元包括第一滑块单元、第二滑块单元和第三滑块单元，所述第一滑块单元设置的方向为水平方向，所述第二滑块单元设置的方向为倾斜方向，所述第三滑块单元设置的方向为竖直方向；所述固定组件包括：下斜块、上斜块和导向块，所述下斜块包括水平的下底面和倾斜的上底面，所述上斜块包括竖直的侧面和倾斜的下底面，所述导向块包括竖直的侧面；所述下斜块的下底面通过所述第一滑块单元与所述底座连接，所述上斜块的下底面通过所述第二滑块单元与所述下斜块的上底面连接，所述导向块的侧面通过所述第三滑块单元与所述上斜块的侧面连接，所述导向块固定在所述底座上。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括电机组件，所述电机组件连接所述下斜块。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一滑块单元包括第一导轨和第一滑块，所述第一导轨水平设置在所述底座的上方，所述第一滑块设置在所述第一导轨上，所述第一滑块还固定在所述下斜块的下底面；所述第二滑块单元包括第二导轨和第二滑块，所述第二滑块设置在所述第二导轨上，所述第二导轨设置在所述下斜块的上底面，所述第二滑块固定在所述上斜块...

【专利技术属性】
技术研发人员：王昌焱，谢圣君，徐新峰，房用桥，李士杰，范吉鹏，孙左峰，万柯，汤治飞，汤华斌，范祥鑫，刘振强，谢飞，潘明铮，吕启涛，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44