马达、致动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置制造方法及图纸

提供一种能够更可靠地防止在内部产生的扬尘向外部流出的马达。马达具备：定子，其具备线圈和定子芯；转子，其配置于定子的径向内侧，该转子相对于定子相对旋转；定子外壳，其具备用于进行抽吸排气的第1排气孔，并且该定子外壳用于固定定子；第1密封部，在该第1密封部处，在定子外壳的内部空间与外部之间，定子外壳和转子外壳在周向的整周上隔着第1间隙相对；以及第1节流部，其位于有别于第1密封部的位置，该第1节流部具有将内部空间和第1排气孔相连的第2间隙。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】马达、致动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置
本专利技术涉及一种马达、致动器、半导体制造装置以及平板显示器制造装置。
技术介绍
半导体制造装置、平板显示器制造装置所使用的马达、使用了该马达的致动器要求较高的可靠性。另外，在半导体、平板显示器等的制造中，为了避免灰尘向制造物的混入，需要清洁环境下的制造工序。在这样的清洁环境下所使用的马达、致动器为了确保较高的可靠性，需要防止在马达、致动器的内部产生的扬尘向外部流出。例如，在专利文献1中记载有一种密封装置，该密封装置利用从两个凸缘部之间的空气室对空气进行抽吸，从凸缘部与动作轴之间的间隙抽吸空气，防止来自非清洁环境的尘土进入清洁环境内。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平09-29682号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题认为：专利文献1所记载的密封装置用于从清洁环境侧的凸缘部与动作轴之间的间隙、以及非清洁环境侧的凸缘部与动作轴之间的间隙这双方对空气进行抽吸，在空气室内产生压力分布。另外，在清洁环境侧与非清洁环境侧存在压力差的情况下，存在空气从非清洁环境侧向清洁环境侧漏出、污染清洁环境的可能性。本专利技术是鉴于上述内容而做成的，其目的在于提供一种能够抑制在内部产生的扬尘向外部流出的可能性的马达。用于解决问题的方案为了解决上述的问题、达成目的，马达具备：定子，其具备线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向内侧，该转子相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，其具备用于抽吸排气的第1排气孔，并且，该定子外壳用于固定所述定子；轴承，其将所述转子外壳支承为相对于所述定子外壳旋转自由；第1密封部，在该第1密封部处，在所述定子外壳的内部空间与外部之间，所述定子外壳与所述转子外壳在周向的整周上隔着第1间隙相对；以及第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述内部空间和所述第1排气孔相连的第2间隙。根据上述结构，通过将抽吸排气装置与排气孔连接而使抽吸排气装置工作，能够抑制在马达的内部产生的扬尘向外部流出的可能性。另外，作为期望的形态，优选的是，还具备第1槽部，该第1槽部介于所述第2间隙与所述第1排气孔之间，沿着所述第2间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。根据上述结构，从密封部均匀地吸入空气，并经由第1槽部从第1节流部向第1排气孔均匀地排气。作为期望的形态，优选的是，所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，在与所述第1圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或所述第1圆环状构件具有台阶。根据上述结构，抑制从第1节流部向第1排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第1密封部也有效地发挥功能。作为期望的形态，优选的是，所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，该马达具备介于所述定子外壳与所述第1圆环状构件之间的间隔构件。根据上述结构，抑制从第1节流部向第1排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第1密封部也有效地发挥功能。只要仅管理间隔构件的平面度，就能够减少其他构件的零部件精度的管理项目。其结果，作为马达整体，成品率提高。作为期望的形态，优选的是，所述内部空间被所述轴承分隔成第1内部空间和第2内部空间，所述定子外壳还包括第2排气孔，所述马达具备：所述第1密封部，在所述第1密封部处，在所述第1内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着所述第1间隙相对；所述第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述第1内部空间和所述第1排气孔相连的所述第2间隙；第2密封部，在该第2密封部处，在所述第2内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着第3间隙相对；第2节流部，其位于有别于所述第1密封部、所述第2密封部以及所述第1节流部的位置，该第2节流部具有将所述第2内部空间和所述第2排气孔相连的第4间隙。根据上述结构，通过将抽吸排气装置与第1排气孔连接而使抽吸排气装置工作，能够抑制在马达的内部的第1内部空间产生的扬尘向外部流出的可能性。另外，通过将抽吸排气装置与第2排气孔连接而使抽吸排气装置工作，能够抑制在马达的内部的第2内部空间产生的扬尘向外部流出的可能性。作为期望的形态，优选的是，还具备第2槽部，该第2槽部介于所述第4间隙与所述第2排气孔之间，沿着所述第4间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。根据上述结构，从第1密封部均匀地吸入第1内部空间的空气，并经由第1槽部从第1节流部向第1排气孔均匀地排气。另外，从第2密封部均匀地吸入第2内部空间的空气，并经由第2槽部从第2节流部向第2排气孔均匀地排气。作为期望的形态，优选的是，所述第4间隙位于所述定子外与第2圆环状构件相对的位置，在与所述第2圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或所述第2圆环状构件具有台阶。根据上述结构，抑制从第2节流部向第2排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第2密封部也有效地发挥功能。作为期望的形态，优选的是，所述第4间隙位于所述定子外壳与第2圆环状构件相对的位置，该马达具备介于所述定子外壳与所述第2圆环状构件之间的间隔构件。根据上述结构，抑制从第2节流部向第2排气孔抽吸的压力差的周向的不匀。另外，即使排气量较小，第2密封部也有效地发挥功能。另外，作为期望的形态，优选的是，所述定子外壳包括：第1定子外壳部，其具备用于使马达驱动用或者位置检测用的电缆沿着与所述转子的旋转轴线平行的方向的轴向贯穿的第1电缆贯穿孔；以及第2定子外壳部，其沿着所述轴向与所述第1定子外壳部重叠而被固定，具备用于使所述电缆沿着所述轴向贯穿的第2电缆贯穿孔，在所述第1定子外壳部和所述第2定子外壳部沿着所述轴向重叠而被固定起来时，以所述第1电缆贯穿孔和所述第2电缆贯穿孔沿着所述轴向重叠的开口面积与所述电缆的截面积大致一致的方式，使所述第1电缆贯穿孔的径向中心位置有别于所述第2电缆贯穿孔的径向中心位置。根据上述结构，电缆被保持。另外，确保第1电缆贯穿孔与第2电缆贯穿孔沿着轴向重叠的开口部的气密性。其结果，能够抑制由于第1电缆贯穿孔和第2电缆贯穿孔而在内部产生的扬尘向外部流出的可能性。另外，作为期望的形态，优选的是，所述定子外壳具备槽部构成构件和O形密封圈，该槽部构成构件具备：第1面，其与平行于所述转子的旋转轴线的方向的轴向正交，与所述转子外壳相对而面对第1间隙；第2面，其面对所述第2间隙，且位于与所述第1面相反的一侧；以及所述第1槽部，该O形密封圈介于所述槽部构成构件与构成所述定子外壳的其他构成构件之间。根据上述结构，能够利用1个槽部构成构件，在与轴向正交的不同的面形成第1间隙和第2间隙，因此，只要能够确保槽部构成构件的平面度，就能够减少其他构件的零部件精度的管理项目。其结果，作为马达整体，成品率提高。另外，作为期望的形态，优选的是，具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行检测的旋转检测器，包括所述定子和所述转子的驱动部、所述轴承、所述旋转检测器沿着轴向排列配置。根据上述结构，抑制马达的相对于旋转轴线的放射方向上的尺寸的增大，抑制外壳的设置面积(占用空间)的增大。另外，作为期望的形态，优选的是，具备对所述转子相对于所述定子的旋转进行检测的旋转检测器，包括所述定子和所述转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种马达，其具备：定子，其具备线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向内侧，该转子相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，其具备用于进行抽吸排气的第1排气孔，并且该定子外壳用于固定所述定子；轴承，其将所述转子外壳支承为相对于所述定子外壳旋转自由；第1密封部，在该第1密封部处，在所述定子外壳的内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着第1间隙相对；以及第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述内部空间和所述第1排气孔相连的第2间隙。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.08 JP 2016-1559331.一种马达，其具备：定子，其具备线圈和定子芯；转子，其配置于所述定子的径向内侧，该转子相对于所述定子相对旋转；转子外壳，其与所述转子一起旋转；定子外壳，其具备用于进行抽吸排气的第1排气孔，并且该定子外壳用于固定所述定子；轴承，其将所述转子外壳支承为相对于所述定子外壳旋转自由；第1密封部，在该第1密封部处，在所述定子外壳的内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着第1间隙相对；以及第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述内部空间和所述第1排气孔相连的第2间隙。2.根据权利要求1所述的马达，其中，该马达还具备第1槽部，该第1槽部介于所述第2间隙与所述第1排气孔之间，沿着所述第2间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。3.根据权利要求1或2所述的马达，其中，所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，在与所述第1圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或所述第1圆环状构件具有台阶。4.根据权利要求1或2所述的马达，其中，所述第2间隙位于所述定子外壳与第1圆环状构件相对的位置，该马达具备介于所述定子外壳与所述第1圆环状构件之间的间隔构件。5.根据权利要求1～4中任一项所述的马达，其中，所述内部空间被所述轴承分隔成第1内部空间和第2内部空间，所述定子外壳还包括第2排气孔，所述马达具备：所述第1密封部，在所述第1密封部处，在所述第1内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着所述第1间隙相对；所述第1节流部，其位于有别于所述第1密封部的位置，该第1节流部具有将所述第1内部空间和所述第1排气孔相连的所述第2间隙；第2密封部，在该第2密封部处，在所述第2内部空间与外部之间，所述定子外壳和所述转子外壳在周向的整周上隔着第3间隙相对；以及第2节流部，其位于有别于所述第1密封部、所述第2密封部以及所述第1节流部的位置，该第2节流部具有将所述第2内部空间和所述第2排气孔相连的第4间隙。6.根据权利要求5所述的马达，其中，该马达还具备第2槽部，该第2槽部介于所述第4间隙与所述第2排气孔之间，沿着所述第4间隙在周向的整周上设置于所述定子外壳。7.根据权利要求5或6所述的马达，其中，所述第4间隙位于所述定子外壳与第2圆环状构件相对的位置，在与所述第2圆环状构件相对的所述定子外壳的相对面或...

【专利技术属性】
技术研发人员：樋口英也，渡边逸男，中村刚，
申请(专利权)人：日本精工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP