显示装置的制造方法、显示装置、显示模块及电子设备制造方法及图纸

提供一种功耗低的显示装置的制造方法。该方法包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层；在第一层中形成第一区域及比该第一区域薄的第二区域；通过在使包含氧的气体流动的同时对第一层进行第一加热处理，形成具有第一区域及比该第一区域薄的第二区域的第一树脂层；在第一树脂层上形成包括显示元件的被剥离层；以及使被剥离层与衬底分离，其中，形成被剥离层的步骤包括在第一树脂层上的重叠于第二区域的位置形成导电层的步骤，并且，在使被剥离层与衬底分离的步骤之后包括去除第一树脂层而使导电层露出的步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置的制造方法、显示装置、显示模块及电子设备
本专利技术的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本专利技术的一个方式不局限于上述
本说明书等所公开的专利技术的一个方式的
涉及一种物体、方法或制造方法。另外，本专利技术的一个方式涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或者组合物(compositionofmatter)。因此，具体而言，作为本说明书所公开的本专利技术的一个方式的
的例子可以举出半导体装置、显示装置、液晶显示装置、发光装置、照明装置、蓄电装置、存储装置、这些装置的驱动方法和这些装置的制造方法。
技术介绍
近年来，显示装置被期待应用于各种用途。作为显示装置，例如已开发了包括发光元件的发光装置、包括液晶元件的液晶显示装置等。例如，专利文献1公开了使用有机EL(Electroluminescence)元件的具有柔性的发光装置。专利文献2公开了一种半透过型液晶显示装置，包括反射可见光的区域和透过可见光的区域，在能够获得充分的外光的环境下可以用作反射型液晶显示装置，在不能够获得充分的外光的环境下可以用作透过型液晶显示装置。[先行技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利申请公开第2014-197522号公报[专利文献2]日本专利申请公开第2011-191750号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种功耗低的显示装置的制造方法。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种无论周围的亮度如何都具有高可见度的显示装置的制造方法。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种全天候型显示装置的制造方法。本专利技术的一个方式的目的之一是提供一种方便性高的显示装置的制造方法。本专利技术的一个方式的目的之一是显示装置的薄型化或轻量化的制造方法。另外，本专利技术的一个方式的目的是更简单地提供上述制造方法。注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。本专利技术的一个方式并不需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。解决技术问题的手段本专利技术的一个方式是一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在第一层中形成第一区域及比该第一区域薄的第二区域的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对上述第一层进行第一加热处理，形成具有第一区域及比该第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在上述第一树脂层上形成被剥离层的步骤；以及使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤，其中，形成上述被剥离层的步骤包括形成接触于上述第一树脂层且重叠于上述第二区域的导电层的步骤，并且，在使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤之后，包括去除上述第一树脂层而使上述导电层露出的步骤。另外，本专利技术的另一个方式是一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在使包含氧的气体流动的同时对上述第一层进行第一加热处理的步骤；在进行了上述第一加热处理的第一层中形成第一区域及比该第一区域薄的第二区域，来形成具有第一区域及比该第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在上述第一树脂层上形成被剥离层的步骤；以及使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤，其中，形成上述被剥离层的步骤包括形成接触于上述第一树脂层且重叠于上述第二区域的导电层的步骤，并且，在使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤之后，包括去除上述第一树脂层而使上述导电层露出的步骤。另外，本专利技术的另一个方式是一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在第一层中形成第一区域及比该第一区域薄的第二区域的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对上述第一层进行第一加热处理，形成具有第一区域及比该第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在上述衬底及上述第一树脂层上形成覆盖上述第一树脂层的端部的绝缘层的步骤；在上述绝缘层上形成被剥离层的步骤；以及通过将上述第一树脂层的至少一部分从上述衬底分离，形成分离的起点来使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤，其中，形成上述被剥离层的步骤包括形成接触于上述绝缘层且重叠于上述第二区域的导电层的步骤，并且，在使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤之后，包括去除上述第一树脂层而使上述导电层露出的步骤。另外，本专利技术的另一个方式是一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在使包含氧的气体流动的同时对上述第一层进行第一加热处理的步骤；在进行了上述第一加热处理的第一层中形成第一区域及比该第一区域薄的第二区域，来形成具有第一区域及比该第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤：在上述衬底及上述第一树脂层上形成覆盖上述第一树脂层的端部的绝缘层的步骤；在上述绝缘层上形成被剥离层的步骤；以及通过将上述第一树脂层的至少一部分从上述衬底分离，形成分离的起点来使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤，其中，形成上述被剥离层的步骤包括形成接触于上述第一树脂层且重叠于上述第二区域的导电层的步骤，并且，在使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤之后，包括去除上述第一树脂层而使上述导电层露出的步骤。另外，本专利技术的另一个方式是一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在上述第一层中形成第一区域及比该第一区域薄的第二区域的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对上述第一层进行第一加热处理，来形成具有第一区域及比该第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在上述衬底及上述第一树脂层上形成覆盖上述第一树脂层的端部的第二层的步骤；通过在氧比上述第一加热处理的气氛少的气氛下对上述第二层进行第二加热处理，形成覆盖上述第一树脂层的端部的第二树脂层的步骤；在上述第二树脂层上形成被剥离层的步骤；以及通过将上述第一树脂层的至少一部分从上述衬底分离，形成分离的起点来使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤，其中，形成上述被剥离层的步骤包括形成接触于上述绝缘层且重叠于上述第二区域的导电层的步骤，并且，在使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤之后，包括去除上述第一树脂层而使上述导电层露出的步骤。另外，本专利技术的另一个方式是一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在使包含氧的气体流动的同时对上述第一层进行第一加热处理的步骤；在进行了上述第一加热处理的第一层中形成第一区域及比该第一区域薄的第二区域，来形成具有第一区域及比该第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在上述衬底及上述第一树脂层上形成覆盖上述第一树脂层的端部的第二层的步骤；通过在氧比上述第一加热处理的气氛少的气氛下对上述第二层进行第二加热处理，形成覆盖上述第一树脂层的端部的第二树脂层的步骤；在上述第二树脂层上形成被剥离层的步骤；以及通过将上述第一树脂层的至少一部分从上述衬底分离，形成分离的起点来使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤，其中，形成上述被剥离层的步骤包括形成接触于上述第一树脂层且重叠于上述第二区域的导电层的步骤，并且，在使上述被剥离层与上述衬底分离的步骤之后，包括去除上述第一树脂层而使上述导电层露出的步骤。另外，本专利技术的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在第一层中形成第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对所述第一层进行第一加热处理，形成具有第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在所述第一树脂层上形成包括显示元件的被剥离层的步骤；以及使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤，其中，形成所述被剥离层的步骤包括在所述第一树脂层上的重叠于所述第二区域的位置形成导电层的步骤，并且，在使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤之后，包括去除所述第一树脂层而使所述导电层露出的步骤。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.09 JP 2016-1568311.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在第一层中形成第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对所述第一层进行第一加热处理，形成具有第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在所述第一树脂层上形成包括显示元件的被剥离层的步骤；以及使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤，其中，形成所述被剥离层的步骤包括在所述第一树脂层上的重叠于所述第二区域的位置形成导电层的步骤，并且，在使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤之后，包括去除所述第一树脂层而使所述导电层露出的步骤。2.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对所述第一层进行第一加热处理的步骤；在进行了所述第一加热处理的第一层中形成第一区域及比所述第一区域薄的第二区域，来形成具有第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在所述第一树脂层上形成包括显示元件的被剥离层的步骤；以及使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤，其中，形成所述被剥离层的步骤包括在所述第一树脂层上的重叠于所述第二区域的位置形成导电层的步骤，并且，在使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤之后，包括去除所述第一树脂层而使所述导电层露出的步骤。3.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在第一层中形成第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对所述第一层进行第一加热处理，形成具有第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在所述衬底及所述第一树脂层上形成覆盖所述第一树脂层的端部的绝缘层的步骤；在所述绝缘层上形成包括显示元件的被剥离层的步骤；以及通过将所述第一树脂层的至少一部分从所述衬底分离，形成分离的起点来使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤，其中，形成所述被剥离层的步骤包括在所述绝缘层上的重叠于所述第二区域的位置形成导电层的步骤，并且，在使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤之后，包括去除所述第一树脂层而使所述导电层露出的步骤。4.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对所述第一层进行第一加热处理的步骤；在进行了所述第一加热处理的第一层中形成第一区域及比所述第一区域薄的第二区域，来形成具有所述第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在所述衬底及所述第一树脂层上形成覆盖所述第一树脂层的端部的绝缘层的步骤；在所述绝缘层上形成包括显示元件的被剥离层的步骤；以及通过将所述第一树脂层的至少一部分从所述衬底分离，形成分离的起点来使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤，其中，形成所述被剥离层的步骤包括在所述第一树脂层上的重叠于所述第二区域的位置形成导电层的步骤，并且，在使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤之后，包括去除所述第一树脂层而使所述导电层露出的步骤。5.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；在第一层中形成第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对所述第一层进行第一加热处理，形成具有第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在所述衬底及所述第一树脂层上形成覆盖所述第一树脂层的端部的第二层的步骤；通过在氧比所述第一加热处理的气氛少的气氛下对所述第二层进行第二加热处理，形成覆盖所述第一树脂层的端部的第二树脂层的步骤；在所述第二树脂层上形成包括显示元件的被剥离层的步骤；以及通过将所述第一树脂层的至少一部分从所述衬底分离，形成分离的起点来使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤，其中，形成所述被剥离层的步骤包括在所述绝缘层上的重叠于所述第二区域的位置形成导电层的步骤，并且，在使所述被剥离层与所述衬底分离的步骤之后，包括去除所述第一树脂层而使所述导电层露出的步骤。6.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在衬底上使用包含树脂或树脂前体的材料形成第一层的步骤；通过在使包含氧的气体流动的同时对所述第一层进行第一加热处理的步骤；在进行了所述第一加热处理的第一层中形成第一区域及比所述第一区域薄的第二区域，来形成具有第一区域及比所述第一区域薄的第二区域的第一树脂层的步骤；在所述衬底及所述第一树脂层上形成覆盖所述第一树脂层的端部的第二层的步骤；通过在氧比所述第一加热处理的气氛少的气氛下对所述第二层进行第二加热处理，形成覆盖所述第一树脂层的端部的第二树脂层的步骤；在所述第二树脂层上形成包括显示元件的被剥离层的步骤；以及通过将所述第一树脂层的至少一部分从所述衬底分离，形成分离的起点来使...

【专利技术属性】
技术研发人员：大野正胜，保本清治，后藤尚人，安达广树，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：日本,JP