薄膜型电感器制造技术

本公开提供了一种薄膜型电感器，所述薄膜型电感器包括主体以及均设置在主体的外表面上的第一外电极和第二外电极。主体包括支撑构件、第一线圈、第二线圈、围绕支撑构件的磁性材料。第一线圈设置在支撑构件的上表面上，第二线圈设置在支撑构件的下表面上。支撑构件包括通孔和在支撑构件中的过孔电极。过孔电极的上表面和下表面中的至少一个的一部分与磁性材料相对。

Thin film inductor

The present disclosure provides a thin film inductor comprising a main body and a first and a second external electrodes disposed on the external surface of the main body. The main body includes a support member, a first coil, a second coil and magnetic materials surrounding the support member. The first coil is arranged on the upper surface of the supporting member, and the second coil is arranged on the lower surface of the supporting member. The supporting member includes a through hole and a through hole electrode in the supporting member. At least one part of the upper and lower surfaces of the through-hole electrode is relative to the magnetic material.

【技术实现步骤摘要】
薄膜型电感器本申请要求于2017年7月5日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0085288号韩国专利申请的优先权的权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用被全部包含于此。
本公开涉及一种薄膜型电感器，具体地，涉及一种高容量功率电感器。
技术介绍
由于在诸如智能电话和平板PC的移动装置中实现的高性能，所以可以提高AP速度，同时将要显示的图像的分辨率提高。由于在使用双核或四核中央处理单元(CPU)时功率使用的增加，所以主要用于DC-DC转换器和噪声滤波器的薄膜型电感器需要实现低DC电阻以及高电感。此外，随着制造技术的发展，各种电子装置的小型化和薄型化正在加速。因此，在这样的电子装置中使用的薄膜型电感器也需要小型化和薄型化。为制造小的、高容量的薄膜功率电感器，线圈需要高的高宽比，主体需要高度充填的磁性片。然而，即使实现了高的高宽比的线圈和高度充填的主体，为了实现在非常小的尺寸下的特性，需要进一步改善损耗特性。具体而言，在将上线圈连接到下线圈的过孔垫的情况下，虽然对整个DC电阻(Rdc)的影响不大，但是会通过在过孔垫附近的电极产生特性劣化。此外，即使薄膜型功率电感器被小型化，在减小过孔的尺寸方面也存在限制，因此随着薄膜型功率电感器被小型化，由过孔垫导致的片充填损失的比例倾向于更高。
技术实现思路
本公开的一方面提供了一种防止薄膜型功率电感器的容量损耗，同时保持并改善薄膜型功率电感器的电特性而不使工艺变得复杂的结构。根据本公开的一方面，一种薄膜型电感器包括主体以及均设置在主体的外表面上的第一外电极和第二外电极。主体包括支撑构件、第一线圈和第二线圈以及围绕支撑构件的磁性材料。第一线圈具有第一端和第二端，并且被设置在支撑构件的上表面上。第二线圈具有第一端和第二端，并且被设置在支撑构件的下表面上。支撑构件包括通孔和形成在支撑构件中的过孔电极。过孔电极的上表面和下表面中的至少一个的一部分与磁性材料相对。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，本公开的以上和其它方面、特征及优点将被更清楚地理解，在附图中：图1是根据实施例的薄膜型电感器的示意性透视图；以及图2是关于图1的区域A的W-T面的示意性截面图。具体实施方式在下文中，将参照附图如下描述本公开的实施例。在附图中，为了清楚起见，可以夸大或缩小组件的形状、尺寸等。然而，本公开可以以很多不同的形式来举例说明，并不应该被解释为限于在此阐述的特定实施例。相反，提供这些实施例，使得本公开将是彻底的和完整的，且将本公开的范围充分地传达给本领域技术人员。在整个说明书中，将理解的是，当诸如层、区域或晶圆(基板)的元件被称为“在”另一元件“上”、“连接到”或“结合到”另一元件时，该元件可以直接“在”另一元件“上”、直接“连接到”或直接“结合到”另一元件，或者可以存在介于它们之间的其它元件。相比之下，当元件被称为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”或“直接结合到”另一元件时，可以不存在介于它们之间的其它元件或层。相同的附图标记始终表示相同的元件。如这里所使用的，术语“和/或”包括相关所列项中的一个或更多个的任意组合和全部组合。将明显的是，虽然在这里可以使用术语第一、第二、第三等来描述各种构件、组件、区域、层和/或部分，但是任何这样的构件、组件、区域、层和/或部分不应被这些术语所限制。这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一个构件、组件、区域、层或部分区分开来。因此，在不脱离实施例的教导的情况下，下面讨论的第一构件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分可以被称为第二构件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。为了方便描述，这里可使用诸如“在……之上”、“上”、“在……之下”以及“下”等的空间相对术语来描述如附图中所示的一个元件相对于另一或另外多个元件的关系。将理解的是，空间相对术语意图包括除了在图中描绘的方位之外的装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，那么被描述为相对于其它元件或特征在“之上”或“上”的元件将随后被定向为相对于其它元件或特征在“之下”或“下”。因此，术语“在……之上”可以根据附图的具体方向包括“在……之上”和“在……之下”两种方位。所述装置可以另外定向(旋转90度或在其它方位)，并且可以对这里使用的空间相对描述语做出相应的解释。这里使用的术语仅描述具体实施例，本公开不限于此。如这里使用的，除非上下文另外清楚指出，否则单数形式也意图包括复数形式。还将理解的是，术语“包括”和/或“包含”在本说明书中使用时，表明存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、构件、元件和/或它们的组，但是不排除存在或添加一个或更多个其它特征、整体、步骤、操作、构件、元件和/或它们的组。在下文中，将参照示出本公开的实施例的示意图来描述本公开的实施例。在附图中，例如，由于制造技术和/或公差，可以估计所示出的形状的修改。因此，本公开的实施例不应被解释为局限于例如在这里示出的区域的具体形状，以包括制造导致的形状的改变。下面的实施例也可被单独构造、组合构造或部分组合构造。以下描述的本公开的内容可以具有各种构造，且这里仅提出所需的构造，但不限于此。在下文中，将描述根据实施例的薄膜型电感器，但实施例不限于此。薄膜型电感器图1是根据实施例的薄膜型电感器的示意性透视图，图2是关于图1的区域A的W-T面的示意性截面图。参照图1和图2，根据实施例的薄膜型电感器100包括主体1、设置在主体1的外表面上的第一外电极21和第二外电极22。进一步，主体1包括形成主体1的外壳的磁性材料11、被磁性材料11密封的支撑构件12和线圈13。线圈13包括由支撑构件12的上表面支撑的第一线圈131和由支撑构件12的下表面支撑的第二线圈132。第一外电极21和第二外电极22在主体1的长度(L)方向上彼此相对，并且分别电连接到第一线圈131和第二线圈132。第一外电极21和第二外电极22由具有优异导电性的材料形成。在图1中，第一外电极21和第二外电极22被示出为具有“C形状”，但实施例不限于此。可选地，第一外电极21和第二外电极22可以具有“L形状”，或者可以由底电极形成。第一外电极21和第二外电极22不需要具有相同的形状。例如，在实施例中，第一外电极21为C形状，第二外电极22为L形状。主体1形成薄膜型电感器的外壳，并且可以包括在宽度(W)方向上彼此相对的第一侧表面和第二侧表面、在长度(L)方向上彼此相对的第一端表面和第二端表面以及在厚度(T)方向上彼此相对的上表面和下表面。主体1的各个表面形成基本上六面体的形状，但实施例不限于此。在主体1中包括的磁性材料11可以包括具有磁性性能的材料，并且可以通过填充例如铁氧体或金属基软磁材料来形成。铁氧体可以包括诸如Mn-Zn基铁氧体、Ni-Zn基铁氧体、Ni-Zn-Cu基铁氧体、Mn-Mg基铁氧体、Ba基铁氧体、Li基铁氧体等已知的铁氧体材料。金属基软磁材料可以包括从由铁(Fe)、硅(Si)、铬(Cr)、铝(Al)、镍(Ni)和它们的合金组成的组中选择的一种或更多种。例如，金属基软磁材料可以包括Fe-Si-B-Cr基非晶金属颗粒，但实施例不限于此。金属基软磁材料的颗粒尺寸可以是0.1μm或更大至20μm或更小，金属基软磁材料可包括在同时分散在诸如环氧树脂、聚酰亚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜型电感器，所述薄膜型电感器包括主体以及均设置在所述主体的外表面上的第一外电极和第二外电极，所述主体包括：支撑构件，具有通孔，第一线圈，设置在所述支撑构件的上表面上，第二线圈，设置在所述支撑构件的下表面上，所述第一线圈和所述第二线圈中的每个包括第一端和第二端，以及磁性材料，围绕所述支撑构件；其中，所述支撑构件包括在所述支撑构件中的过孔电极，以及所述过孔电极的上表面和下表面中的至少一个的一部分与所述磁性材料相对。

【技术特征摘要】
2017.07.05 KR 10-2017-00852881.一种薄膜型电感器，所述薄膜型电感器包括主体以及均设置在所述主体的外表面上的第一外电极和第二外电极，所述主体包括：支撑构件，具有通孔，第一线圈，设置在所述支撑构件的上表面上，第二线圈，设置在所述支撑构件的下表面上，所述第一线圈和所述第二线圈中的每个包括第一端和第二端，以及磁性材料，围绕所述支撑构件；其中，所述支撑构件包括在所述支撑构件中的过孔电极，以及所述过孔电极的上表面和下表面中的至少一个的一部分与所述磁性材料相对。2.如权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述过孔电极的所述上表面设置有所述第一线圈的所述第一端和所述磁性材料的第一填充部，所述过孔电极的所述下表面设置有所述第二线圈的所述第一端和所述磁性材料的第二填充部。3.如权利要求2所述的薄膜型电感器，其中，绝缘材料设置在所述第一填充部与所述第一线圈的所述第一端之间以及所述第二填充部与所述第二线圈的所述第一端之间。4.如权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述第一线圈的所述第二端连接到所述第一外电极，所述第二线圈的所述第二端连接到所述第二外电极。5.如权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述第一线圈的所述第一端包括第一过孔垫，所述第一过孔垫的截面具有截圆形的形状。6.如权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述第二线圈的所述第一端包括第二过孔垫，所述第二过孔垫的截面具有截圆形的形状。7.如权利要求1所述的薄膜型电感器，所述薄膜型电感器还包括绝缘材料，所述绝缘材料分别设置在所述过孔电极的所述上表面和所述下表面的部分和与所述上表面和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：金范锡，文炳喆，奉康昱，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR