The invention relates to an accelerometer servo circuit with controllable current scale factor and its manufacturing process. The signal input end of the differential capacitance converter is connected with the signal output end of the differential capacitance sensor in the accelerometer head, the signal output end is connected with the signal input end of the current integrator, the signal output end of the current integrator is connected with the signal input end of the transconductance/compensation amplifier, and the transconductance is connected with the signal input end of The signal output end of the compensating amplifier is connected with the signal input end of the torquer in the accelerometer head, the signal output end of the torquer in the accelerometer head is connected with the signal input end of the V/I converter and with the one end of the sampling resistance, the signal output end of the V/I converter outputs the target signal, and the other end of the sampling resistance is grounded. The invention can realize the self-control of the scale factor of the output current of the accelerometer. The circuit is manufactured by thick-film hybrid integrated circuit technology, and the metal shell is sealed and welded in parallel to realize the air-tightness packaging, so that the circuit has higher reliability and better heat dissipation performance.
【技术实现步骤摘要】
一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺
本专利技术属于混合集成电路
,涉及一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺。
技术介绍
惯性技术是惯性敏感器、惯性导航、惯性制导、惯性测量及惯性稳定等技术的统称,是具有自主、连续、隐蔽特性,无环境限制的载体运动信息感知技术,是现代精确导航、制导与控制系统的核心信息源。在构建陆海空天电(磁)五维一体信息化体系中,在实现军事装备机械化与信息化复合式发展的进程中,惯性技术具有不可替代的关键支撑作用。惯性技术是涉及到物理、数学、力学、光学、材料学、精密机械学及微电子、计算机、控制、测试、先进制造工艺等技术的一门综合性技术,是衡量一个国家尖端技术水平的重要标志之一。惯性导航技术是惯性技术的核心和发展标志,惯性导航系统(InertiaNavigationSystem,INS)利用陀螺仪和加速度计(统称为惯性仪表)同时测量载体运动的角速度和线加速度,并通过计算机实时解算出载体的三维姿态、速度、位置等导航信息。作为惯性系统的核心仪表,加速度计指标的优劣直接影响制导与控制(GuidanceNavigationandControl,GNC)系统整体性能。另外,加速度计也可用于摄像机振动监测,自动对焦、汽车制动启动检测、地震检测、报警系统、地质勘探、大坝等的振动测试与分析、高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察等等民用领域,具有极大的社会效益。加速度传感器按不同方式分种类很多,其中加速度计按测量精度可分为高精度(优于10-4m/s2)、中精度(10-2m/s2-10-3m/s2)和低精度(低于0.1m/s2)。 ...
【技术保护点】
1.一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路,其特征在于,包括差动电容转换器、电流积分器、跨导/补偿放大器、V/I转换器和采样电阻;差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接,信号输出端与电流积分器的信号输入端连接,电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接,跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接,加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接,V/I转换器的信号输出端输出目标信号,同时,加速度计表头中力矩器的信号输出端还与采样电阻的一端连接,采样电阻的另一端接地。
【技术特征摘要】
1.一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路,其特征在于,包括差动电容转换器、电流积分器、跨导/补偿放大器、V/I转换器和采样电阻;差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接,信号输出端与电流积分器的信号输入端连接,电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接,跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接,加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接,V/I转换器的信号输出端输出目标信号,同时,加速度计表头中力矩器的信号输出端还与采样电阻的一端连接,采样电阻的另一端接地。2.根据权利要求1所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路,其特征在于,采样电阻采用外置采样电阻Rext。3.根据权利要求1所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路,其特征在于,差动电容转换器采用LZF15。4.根据权利要求1所述的电流标度因数可控的加速度计伺服电路,其特征在于,跨导/补偿放大器采用LC5226,其是二次配电电源芯片7809和7909与传统跨导/补偿放大器芯片L...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐鑫,阮晓明,张明,
申请(专利权)人:西安微电子技术研究所,
类型:发明
国别省市:陕西,61
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