【技术实现步骤摘要】
一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置
本技术属于低温等离子体制备纳米材料装置
,具体涉及一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置。
技术介绍
低温等离子体是电子温度远高于离子温度和中性粒子温度,电子与中性粒子碰撞不交换能量的一类等离子体。通常,低温等离子体主要有辉光放电等离子体、介质阻挡放电等离子体、电容耦合等离子体、电感耦合等离子体等多种产生方式。相比于其他产生方式而言,电感耦合等离子体具有相对较高的等离子体密度(1011~1012cm-3)、较小的离子通量、可控的离子能量等独特的优势,因此,电感耦合等离子体被广泛用于纳米材料的制备、晶体生长领域。在电感耦合等离子体装置中通常使用螺线管型射频线圈,通过给螺线管型线圈输入射频功率使得在反应腔室内激发等离子体。螺线管型线圈作为产生等离子体的源,螺线管型线圈的参数直接影响着激发的等离子体特征。因此,通过调整螺线管型线圈的各项参数来改善激发的等离子体的分布,进而达到良好的纳米材料制备工艺是该领域所需直接面对的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单、设计合理、制造方便成本较低的射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置。本技术技术方案是一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置,包括射频电感耦合等离子体反应装置,所述射频电感耦合等离子体反应装置包括:石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件,所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口,所述真空气路接口上方连接真空规,所述真空气路接口与真空规通过三通管件连接。本技术进一步的改进在于,所述石英管底部为盲管,所述盲管规格为外径Φ65mm、高250m ...
【技术保护点】
1.一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置,包括射频电感耦合等离子体反应装置,其特征在于,所述射频电感耦合等离子体反应装置包括:石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件,所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口,所述真空气路接口上方连接真空规,所述真空气路接口与真空规通过三通管件连接。
【技术特征摘要】
1.一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置,包括射频电感耦合等离子体反应装置,其特征在于,所述射频电感耦合等离子体反应装置包括:石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件,所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口,所述真空气路接口上方连接真空规,所述真空气路接口与真空规通过三通管件连接。2.根据权利要求1所述的一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置,其特征在于,所述石英管底部为盲管,所述盲管规格为外径Φ65mm、高250mm、壁厚4mm,所述石英管与固定法兰组件连接。3.根据权利要求1所述的一种射...
【专利技术属性】
技术研发人员:詹铁锤,程光周,倪红德,薛进,
申请(专利权)人:合肥杰硕真空科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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