检查基板时的测定区域补偿方法技术

本发明专利技术涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法。上述方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域(FOV)没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域(FOV)为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域(FOV)的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。根据上述方法，即使在利用第一测定区域内的特征客体的信息来生成的补偿矩阵没有有效性的情况下，也能够提高检查基板时的检查结果的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
检查基板时的测定区域补偿方法
本专利技术涉及一种检查基板时的测定区域补偿方法，更详细地，涉及一种当无法信赖通过当前的测定区域内的信息来生成的补偿矩阵的有效性时，利用与当前的测定区域相邻的测定区域内的信息来生成针对当前的测定区域的补偿矩阵的方法。并且，涉及一种将柔性印刷电路基板的测定区域进一步细分化为多个区域，来生成补偿矩阵，从而按被细分化的不同的区域来补偿基于基板的弯曲或扭曲的衬垫的坐标的方法。
技术介绍
一般情况下，在电子装置的内部设置有至少一个印刷电路基板(printedcircuitboard；PCB)，而在这种印刷电路基板上安装有电路图案、连接衬垫部以及与上述连接衬垫部电连接的驱动芯片等多种电路元件。一般情况下，为了确认如上所述的多种电路元件是否正常形成于上述印刷电路基板，使用形状测定装置。现有的形状测定装置设定预定的测定区域(FieldofView，FOV)，并检查预定的电路元件是否正常形成于上述测定区域内。只有在需要进行测定的位置准确地设定测定区域，才可以正常执行对需要测定的电路元件的测定，然而印刷电路基板之类的测定对象物由于底部基板可以发生弯曲(warp)、扭曲(distortion)等歪曲，因而需要对此进行补偿。为此，可以利用印刷电路基板(PCB)上的弯曲图案或孔图案等特征客体来生成补偿矩阵，并补偿测定区域内的衬垫的位置。但是，当无法信赖测定区域内的补偿矩阵的有效性时，需要提供能够解决此类问题的方法。另一方面，一般情况下，柔性印刷电路(FlexiblePrintedCircuit；FPCB)为在柔韧的绝缘膜上形成复杂电路的电路基板。柔性电路基板作为使用柔性材料的聚酯(Polyester；PET)或聚酰亚胺(Polyimide；PI)等耐热性塑料膜的基板，因弯曲、重叠，折叠、卷绕、曲扭等柔韧性而可以实现空间的有效利用和立体配线等。因此，使用于摄像机、车载音响、计算机和打印机的头部、显示器、便携式设备以及触摸输入单元等。最近，随着使用柔性电路基板的电子产品的大小缩小，信号发生单元和传递单元变得多样化和集成化，在狭小的面积印刷有多个电路。根据所使用的用途，柔性电路基板以按各单位排列的状态制备多个印刷有执行功能的电路的面板后，切断各单位面板，并生产为各个产品。如上所述，随着将多个面板制成一个基板，柔性电路基板需要印刷小面积的面板的复杂的电路，因此，由于集成度的提高而使不合格率增大。由此，当制作柔性电路基板时，执行检查在各个面板印刷的电路是否不良的检查作业。此时，由于作为柔性电路基板的柔韧材质的特性的弯曲(warp)、扭曲(distortion)等歪曲比较严重，因而需要提供能够将这种歪曲的影响最小化的补偿方法。
技术实现思路
解决的技术问题为了解决上述技术问题，本专利技术的目的在于，提供一种检查基板时的测定区域补偿方法，其在当无法信赖通过当前的测定区域(FOV)内的信息来生成的补偿矩阵的有效性时，能够利用与当前的测定区域相邻的测定区域内的信息来生成针对当前的测定区域的补偿矩阵。另一方面，本专利技术的目的在于，提供一种检查基板时的测定区域补偿方法，其在柔性印刷电路基板的弯曲或扭曲严重的情况下，能够将由此引起的影响最小化。本专利技术的目的并不局限于以上所提及的目的，本专利技术所属
的普通技术人员能够从以下的记载中明确地理解未提及的其他多种目的。技术方案用于解决上述问题的本专利技术的一实施方式的检查基板时的测定区域补偿方法包括：判断基板上的第一测定区域的有效性的步骤；在上述第一测定区域没有有效性的情况下，在以上述第一测定区域为中心来预先设定的半径以内的相邻的多个测定区域中确定多个有效测定区域的步骤；在上述多个有效测定区域内以上述第一测定区域为中心提取上述预先设定的半径以内的多个特征客体的步骤；以及利用上述所提取的多个特征客体的信息来生成针对上述第一测定区域的补偿矩阵的步骤。判断上述第一测定区域的有效性的步骤可以包括：在上述第一测定区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述第一测定区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及判断上述比率是否大于预先设定的基准值的步骤。确定上述多个有效测定区域的步骤可以包括：针对各个上述相邻的多个测定区域，在上述各测定区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述各测定区域内求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及判断上述比率是否大于预先设定的基准值的步骤。可以由(上述第一多边形和上述第二多边形的重叠的面积)/上述第一面积×100而确定上述比率。上述最外围的多个衬垫的坐标可以为上述最外围的多个衬垫的中心坐标，上述最外围的多个特征客体的坐标可以为上述最外围的多个特征客体的中心坐标。可以通过确认上述多个有效测定区域分别包括的特征客体的数量是否大于预先设定的值来确定上述多个有效测定区域。上述第一测定区域的中心可以为连接上述第一测定区域内的最外围的衬垫的坐标来生成的多边形的中心。上述特征客体可以为上述第一测定区域内的孔图案、圆形图案或弯曲图案的边角部分中的至少一种。在生成上述补偿矩阵的步骤之前，上述方法还可以包括预测上述补偿矩阵的有效性的步骤。预测上述补偿矩阵的有效性的步骤可以包括：在上述第一测定区域内求得最外围的多个衬垫的坐标的步骤；在上述多个有效测定区域(FOV)内，在以上述第一测定区域为中心，在上述预先设定的半径以内的多个特征客体中求得最外围的多个特征客体的坐标的步骤；针对连接上述最外围的多个衬垫的坐标的第一多边形的第一面积，计算出连接上述第一多边形和上述最外围的多个特征客体的坐标的第二多边形的重叠的第二面积的比率的步骤；以及判断上述比率是否大于预先设定的基准值的步骤。用于解决上述问题的本专利技术另一实施方式的检查基板时的测定区域补偿方法包括：在基板的测定区域(FOV)上提取特征客体的步骤；在上述所提取的特征客体中利用选择相邻的至少三个以上的特征客体的坐标来形成的多边形，从而设定多个有效区域的步骤；利用与上述多个有效区域分别相对应的多边形的特征客体的坐标，按各个上述有效区域生成补偿矩阵的步骤；以及选择按各上述衬垫相匹配的补偿矩阵来补偿上述衬垫的坐标的步骤。上述有效区域能够以与上述有效区域相对应的多边形的重心坐标为中心被设定为有效距离以内。在各上述有效区域的补偿矩阵中，设置有上述衬垫且从上述衬垫至上述多边形的重心为止的距离最小的补偿矩阵能够被选择为针对上述衬垫的补偿矩阵。上述有效距离能够以上述重心坐标为中心形成上述多边形的特征客体的坐标之间的距离的平均距离而确定。上述多边形可以为三角形。上述特征客体可以为上述第一测定区域内的孔图案、圆形图案或弯曲图案的边角部分中的至少一种。上述补偿矩阵可以为仿射变换(affinetransformation)矩阵或投影变换(projectivetransformation)矩阵、尺度和旋转(scaling&rotationtran本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查基板时的测定区域补偿方法，其中，包括：在基板的测定区域(FOV)上提取特征客体的步骤；在上述所提取的特征客体中利用选择相邻的至少三个以上的特征客体的坐标来形成的多边形，从而设定多个有效区域的步骤；利用与上述多个有效区域分别相对应的多边形的特征客体的坐标，按各个上述有效区域生成补偿矩阵的步骤；以及选择按各上述衬垫相匹配的补偿矩阵来补偿上述衬垫的坐标的步骤。

【技术特征摘要】
2013.11.06 KR 10-2013-01342671.一种检查基板时的测定区域补偿方法，其中，包括：在基板的测定区域(FOV)上提取特征客体的步骤；在上述所提取的特征客体中利用选择相邻的至少三个以上的特征客体的坐标来形成的多边形，从而设定多个有效区域的步骤；利用与上述多个有效区域分别相对应的多边形的特征客体的坐标，按各个上述有效区域生成补偿矩阵的步骤；以及选择按各上述衬垫相匹配的补偿矩阵来补偿上述衬垫的坐标的步骤。2.根据权利要求1所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，上述有效区域以与上述有效区域相对应的多边形的重心坐标为中心被设定为有效距离以内。3.根据权利要求2所述的检查基板时的测定区域补偿方法，其中，在各上述有效区域的补偿矩阵中，设置有上述衬垫且从上述衬垫至上述多边形的重心为止的距离最小的补偿矩阵被选择为针...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑升源，崔钟镇，金资根，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：韩国,KR