流量控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术所涉及的流量控制装置具有：控制阀；设置于所述控制阀的下游侧的第一流路；第二流路；和设置于所述第一流路和所述第二流路之间的扩张室，所述第二流路设置在与所述第一流路的延长线不同的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流量控制装置
本专利技术涉及流量控制装置。
技术介绍
以往，如图11所示，已知有流量控制装置(也称为压力式流量控制装置)，其具备：形成有将气体入口2a和气体出口2b连通的流路2的主体区块3、介于流路2存在的节流部OR、在节流部OR上游部介于流路2存在的控制阀4、在控制阀4和节流部OR之间检测流路2内的压力的第一压力检测器5a和以基于第一压力检测器5a的检测值成为规定流量的方式对控制阀4进行控制的控制器6(专利文献1等)。这种控制利用了如下原理：当节流部OR的上游压力(P1)和下游压力(P2)之间保持为(P1/P2)≧大约2的所谓临界膨胀条件时，使在节流孔等的节流部OR流通的气体G的流量(Q)成为Q＝KP1(K为常数)的关系。基于该原理，以使利用第一压力检测5a检测出的上游压力(P1)成为规定压力的方式，以高精度对控制阀4进行反馈控制，由此能以高精度将通过节流部OR的流量(Q)控制在规定流量。在控制阀4中，使用了能以高精度进行控制的压电驱动式控制阀或电磁阀等。在非临界膨胀条件下，流量Qc＝K2P2m(P1-P2)n(K2是取决于流体的种类和流体温度的比例系数，指数m、n是从实际流量导出的数值)的关系成立。通过在节流部OR的下游侧单独设置的第二压力检测器(未图示)检测下游压力(P2)。在非临界膨胀条件下，利用非临界膨胀条件下成立的所述关系式，能从节流部OR上游侧的第一压力检测器5a的输出和节流部OR下游侧的所述第二压力检测器的输出通过运算求出流量，流量控制装置以求出的流量与设定流量相同的方式控制控制阀的开闭度(专利文献2等)。但是，受配置在这种流量控制装置的上游的压力调节阀(未图示)等的影响，流过流路2的气体G的压力周期性振动，会有第一压力检测器5a的检测压力产生波动(脉动)的现象。检测压力的波动让流量的控制不稳定。以往，为了抑制这样的波动，已知有软性对策和机械性对策。软性对策，例如以改变在流量控制装置的控制器的运算中使用的系数进而抑制波动的方式进行最适控制(例如，专利文献3等)。但是，软性对策不容易将改变的系数的最适值导出。作为机械性对策，例如，已知有：使金属网格板或流孔板等具有整流作用的整流板介于流路内对气体进行整流的技术，或通过在流路的途中形成扩大流路截面积的腔室而吸收压力变动的技术(例如专利文献4～6等)。现有技术文献专利文献1：日本专利特开2003-120832号公报专利文献2：日本专利特开2010-218571号公报专利文献3：日本专利特开2015-158755号公报专利文献4：日本专利特开2005-24080号公报专利文献5：日本专利特开2011-80822号公报专利文献6：日本专利特开平8-135881号公报
技术实现思路
虽然从以往就已知在流路途中构成腔室的技术，但都是在已设的配管的途中进行设置的构造，因此抑制配管输送中发生的流体的压力变动成为前提。并且，由于是设置在配管途中的构造，因此通常腔室的入口和出口在同一轴线上构成。由此，如果伴随压力变动的流体进入腔室内，虽然在流量小的情况下，由于进入腔室的流体扩散到全部腔室而可抑制压力变动，但是在大流量的流体进入腔室的情况下，在扩散到腔室之前会到达腔室出口，因此不能抑制全部的流体的压力变动。虽然考虑过扩大腔室面积以使得即使是大流量的流体的压力变动也能够得到抑制，但是近年来，由于半导体制造装置正在推进小型化，因此流量控制装置难以确保大容量。并且，虽然通过在流量控制装置的上游侧设置腔室，能抑制来自上游的流体所包含的压力变动，但是由于流量控制装置内存在的控制阀等也是产生压力变动的主要原因之一，所以仅在流量控制装置的外部设置腔室是不够的。并且，为了抑制控制阀4和节流部OR之间的压力振动，考虑安装整流板。但是，如果金属网等的整流板介于图11的流路2存在，压力损失会增加。这是由于构成整流板的网格等导致流路的截面积变小，由此会对流体施加阻力，存在产生压力损失的问题。并且，在维修时更换金属网等的整流板的情况下，必须将连接到气体出口2b的配管等部件(未图示)或由流孔板等形成的节流部OR等拆除、分解，耗费功夫。而且，在组装时，将薄板的整流板插入并安装到流路内之际，也存在整流板在流路内倾斜等而难以插入的情况。此处，本专利技术主要目的在于提供一面满足大流量且装置的小型化的要求一面使流路内的波动得到抑制的流量控制装置。进一步地，本专利技术的目的在于提供维修性和组装性得到提升的流量控制装置。为了达成上述目的，本专利技术所涉及的流量控制装置的第一方式具有：控制阀、设置在所述控制阀的下游侧的第一流路、第二流路以及设置所述第一流路和所述第二流路之间的扩张室，所述第二流路设置在与第一流路的延长线不同的位置。并且，本专利技术所涉及的流量控制装置的第二方式具有：控制阀、设置在所述控制阀的下游侧的第一流路、第二流路、设置所述第一流路和所述第二流路之间的扩张室以及配设在所述扩张室内的整流板。并且，本专利技术所涉及的流量控制装置的第三方式，在所述第一方式或所述第二方式中，在所述第二流路设置有节流部。并且，本专利技术所涉及的流量控制装置的第四方式，在所述第三方式中，在所述控制阀和所述节流部之间设置有第一压力检测器。并且，本专利技术所涉及的流量控制装置的第五方式，在所述第四方式中，所述第一压力检测器在所述第二流路上设置于节流部的更上游。并且，本专利技术所涉及的流量控制装置的第六方式，在所述第五方式中，还具有用于在所述节流部下游侧检测所述第二流路内的压力的第二压力检测器。本专利技术所涉及的流量控制装置的第七方式，在所述第一方式或第二方式中，还设置有主体区块(主体块体)，其形成有所述第一流路和所述第二流路，所述扩张室由形成于所述主体区块的主体凹部和盖体构成，所述盖体以对形成于所述主体区块的所述主体凹部进行闭锁的方式安装于所述主体区块。本专利技术所涉及的流量控制装置的第八方式，在所述第七方式中，所述盖体形成有用于增加所述扩张室的容积的盖体凹部。本专利技术所涉及的流量控制装置的第九方式，在所述第八方式中，所述主体区块和所述盖体经由金属密封垫圈而接合。本专利技术所涉及的流量控制装置的第十方式，在所述第九方式中，在所述主体凹部的周围形成有用于容纳所述盖体的柱坑部。本专利技术涉所及的流量控制装置的第十一方式，在所述第十方式中，所述盖体在所述盖体凹部的周围形成有柱坑孔，所述柱坑孔为将所述盖体固定于所述主体区块的螺钉用。本专利技术所涉及的流量控制装置的第十二方式，在所述第一方式中，所述扩张室内配设有整流板。本专利技术所涉及的流量控制装置的第十三方式，在所述第二方式或所述第十二方式中，所述扩张室内设置有整流板保持体，所述整流板保持体位于所述第一流路在所述扩张室开口的上游侧开口和所述第二流路在所述扩张室开口的下游侧开口之间，且从所述上游侧开口隔着规定间隙保持所述整流板。本专利技术所涉及的流量控制装置的第十四方式，在所述第十三方式中，所述整流板保持体在管状体的周壁具有开口部，所述开口部以面对所述扩张室的下游侧开口的方式加以配设。本专利技术所涉及的流量控制装置的第十五方式，在所述第十三方式中，所述扩张室由形成于所述主体区块的主体凹部和盖体形成，所述盖体以对形成于所述主体区块的所述主体凹部进行闭锁的方式安装于所述主体区块，所述整流板保持体固定于所述盖体。本专利技术所涉及的流量控制装置的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流量控制装置，其特征在于，具有：控制阀；第一流路，所述第一流路设置于所述控制阀的下游侧；第二流路；以及扩张室，所述扩张室设置于所述第一流路和所述第二流路之间，所述第二流路设置在与所述第一流路的延长线不同的位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.29 JP 2016-0384781.一种流量控制装置，其特征在于，具有：控制阀；第一流路，所述第一流路设置于所述控制阀的下游侧；第二流路；以及扩张室，所述扩张室设置于所述第一流路和所述第二流路之间，所述第二流路设置在与所述第一流路的延长线不同的位置。2.一种流量控制装置，其特征在于，所述流量控制装置具有：控制阀；第一流路，所述第一流路设置于所述控制阀的下游侧；第二流路；扩张室，所述扩张室设置在所述第一流路和所述第二流路之间；以及整流板，所述整流板配设于所述扩张室内。3.根据权利要求1或2所述的流量控制装置，其特征在于，在所述第二流路设置有节流部。4.根据权利要求3所述的流量控制装置，其特征在于，在所述控制阀和所述节流部之间设置有第一压力检测器。5.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，所述第一压力检测器设置于所述第二流路，且于节流部的更上游。6.根据权利要求5所述的流量控制装置，其特征在于，还具有第二压力检测器，所述第二压力检测器用于在所述节流部下游侧检测所述第二流路内的压力。7.根据权利要求1或2所述的流量控制装置，其特征在于，还具有主体区块，所述主体区块形成有所述第一流路和所述第二流路，所述扩张室由主体凹部和盖体形成，所述主体凹部形成于所述主体区块，所述盖部以对所述主体凹部进行闭锁的方式安装于所述主体区块。8.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，所述盖体形...

【专利技术属性】
技术研发人员：平井畅，森崎和之，平田薰，西野功二，池田信一，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP