The invention belongs to the field of semiconductor technology, in particular to a wafer lithography method. The gluing device used in the method includes a sucker, a mounting seat, a rotating disc and a No. 1 motor. The rotating disc is located in the mounting seat, and the No. 1 motor is used to drive the rotating disc to rotate. The method also includes a liquid storage tank, a liquid level sensor, a regulating module and a control system. The liquid level sensor is used to detect the inclination of the suction cup by cooperating with the liquid storage tank; the regulating module is used to adjust the suction cup horizontally, and the regulating module is fixed on the top of the rotating disc through a fixed rod; the liquid level sensor determines whether the suction cup is in the horizontal position by detecting the liquid level in the liquid storage tank; when the suction cup is in the horizontal position, the adjusting module is fixed on the top of the rotating disc When the disc is tilted, the controller adjusts the sucker to the horizontal position by cooperating with the adjusting module and the level sensor. The invention is mainly used in the wafer lithography process, which can automatically adjust the level of the sucker, avoid the oscillation of the sucker, and improve the coating efficiency of the wafer.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片光刻方法
本专利技术属于半导体
,具体的说是一种晶圆片光刻方法。
技术介绍
光刻工艺总共包括晶片匀胶即涂覆胶层、前烘、曝光、显影、坚膜、腐蚀、去胶等步骤,其中,匀胶是为了使分布于晶片上的光刻胶分布均匀并能达到一定厚度,以便曝光时晶片表面的光刻胶都能得到适当的感光;其中在匀胶时通常都是采用电机带动吸附在真空吸盘上的晶片旋转,从而在离心力的作用下使胶均匀分布在晶圆片上,胶膜涂敷厚度可根据电机旋转轴的速度来进行控制。但是由于工作台在安装时可能不是处于水平状态,如此真空吸盘便不是水平状态,所以在电机旋转时,吸盘产生的离心力便不在水平面方向上,从而会使涂覆胶分布的不均匀,导致晶片上的胶层的厚度不一,从而大大影响后续的光刻工艺。现有技术中也出现了一些匀胶装置的技术方案,如申请号为201721240564.8的一项中国专利公开了一种晶圆片光刻方法,包括工作台、固定连接在工作台上的电机,以及水平设于电机主轴上的真空吸盘,还包括一个L形的支撑板;所述工作台的正面设有一根水平尺;所述工作台的左侧面通过铰接轴转动连接在支撑板的竖直板部内侧面上;所述支撑板的竖直板部的内侧面上还设有两根水平设置的导轨和一根位于两根导轨之间,且水平设置的螺纹杆,其中所述螺纹杆的一端通过轴承转动连接在支撑板的竖直板部内侧面上。该技术方案虽然能够对吸盘进行调水平,但是该技术方案只能够对吸盘进行单角度调水平,且调节是通过手动和肉眼结合的方式来实现,从而造成吸盘水平度不高;使得该专利技术受到了限制。
技术实现思路
为了弥补现有技术的不足,本专利技术提出了一种晶圆片光刻方法,本专利技术主要用于晶圆 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆片光刻方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:步骤一:对晶圆进行清洗、脱水烘焙;步骤二:将步骤一中的晶圆放入涂胶装置中,进行旋转涂胶;步骤三:对步骤二中的晶圆进行软烘,去除光刻胶中的溶剂;步骤四:对步骤三中晶圆边界的光刻胶进行去除;步骤五:对步骤四中的晶圆进行曝光处理;其中,该方法采用的涂胶装置包括吸盘(1),安装座(11)、转动盘(12)、一号电机,转动盘(12)位于安装座(11)中,一号电机用于带动转动盘(12)转动;还包括储液槽(13)、液位传感器(14)、调节模块(2)和控制器,所述储液槽(13)为圆环形,且储液槽(13)固定安装在吸盘(1)的侧表面;所述液位传感器(14)通过与储液槽(13)配合用于检测吸盘(1)的倾斜度;所述调节模块(2)用于对吸盘(1)进行水平调节,且调节模块(2)通过固定杆固定安装在转动盘(12)顶;其中,所述调节模块(2)包括气压杆(3)、供气盒(4)、遮挡板(5)和供气单元(6);所述供气盒(4)通过气压杆(3)与吸盘(1)铰接,供气盒(4)包括一号板(41)、侧板和二号板(42),所述一号板(41)通过侧板固定安装在二号板(42)的顶表面 ...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片光刻方法,其特征在于:该方法包括如下步骤:步骤一:对晶圆进行清洗、脱水烘焙;步骤二:将步骤一中的晶圆放入涂胶装置中,进行旋转涂胶;步骤三:对步骤二中的晶圆进行软烘,去除光刻胶中的溶剂;步骤四:对步骤三中晶圆边界的光刻胶进行去除;步骤五:对步骤四中的晶圆进行曝光处理;其中,该方法采用的涂胶装置包括吸盘(1),安装座(11)、转动盘(12)、一号电机,转动盘(12)位于安装座(11)中,一号电机用于带动转动盘(12)转动;还包括储液槽(13)、液位传感器(14)、调节模块(2)和控制器,所述储液槽(13)为圆环形,且储液槽(13)固定安装在吸盘(1)的侧表面;所述液位传感器(14)通过与储液槽(13)配合用于检测吸盘(1)的倾斜度;所述调节模块(2)用于对吸盘(1)进行水平调节,且调节模块(2)通过固定杆固定安装在转动盘(12)顶;其中,所述调节模块(2)包括气压杆(3)、供气盒(4)、遮挡板(5)和供气单元(6);所述供气盒(4)通过气压杆(3)与吸盘(1)铰接,供气盒(4)包括一号板(41)、侧板和二号板(42),所述一号板(41)通过侧板固定安装在二号板(42)的顶表面;所述一号板(41)中设有一号腔室(43),且一号板(41)的顶表面设有贯穿一号板(41)的一号孔(44);所述一号腔室(43)中设有遮挡板(5),遮挡板(5)与电机的转轴固定连接,遮挡板(5)用于对一号孔(44)进行堵塞;所述供气单元(6)位于供气盒(4)中,供气单元(6)通过与一号孔(44)配合用于控制气压杆(3)的长度。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片光刻方法,其特征在于:所述供气单元(6)包括旋转盘(61)、球形挡块(62)和球形供气块(63);所述旋转盘(61)与电机的转轴固定连接,旋转...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。