【技术实现步骤摘要】
烘烤炉及光阻预烘烤方法
本专利技术涉及显示器制作
，尤其涉及一种烘烤炉及光阻预烘烤方法。
技术介绍
在显示
，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)与有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示器等平板显示器已经逐步取代CRT显示器，广泛的应用于液晶电视、手机、个人数字助理、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。显示面板是LCD、OLED的重要组成部分。不论是LCD的显示面板，还是OLED的显示面板，通常都具有一薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)基板。以LCD的显示面板为例，其主要是由TFT基板、彩膜(ColorFilter，CF)基板以及配置于两基板间的液晶层和密封框胶(Sealant)所构成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TF...
【技术保护点】
1.一种烘烤炉，其特征在于，包括：炉体(50)，其内部为烘烤腔(51)，所述炉体(50)的一侧面设有出入口(52)；开关门(20)，安装于炉体(50)的出入口(52)处；加热板(30)，设置于所述烘烤腔(51)底部，用以对基板(90)进行加热；多条喷气管(40)，设于所述烘烤腔(51)中；当所述开关门(20)开启时，所述多条喷气管(40)用于向所述出入口(52)喷出热气以防止烘烤腔(51)外的气体进入；所述喷气管(40)包括输气管道(41)及设于输气管道(41)上的喷气嘴(42)，所述喷气管(40)通过所述喷气嘴(42)向外喷出热气并控制喷出热气的流向。
【技术特征摘要】
1.一种烘烤炉，其特征在于，包括：炉体(50)，其内部为烘烤腔(51)，所述炉体(50)的一侧面设有出入口(52)；开关门(20)，安装于炉体(50)的出入口(52)处；加热板(30)，设置于所述烘烤腔(51)底部，用以对基板(90)进行加热；多条喷气管(40)，设于所述烘烤腔(51)中；当所述开关门(20)开启时，所述多条喷气管(40)用于向所述出入口(52)喷出热气以防止烘烤腔(51)外的气体进入；所述喷气管(40)包括输气管道(41)及设于输气管道(41)上的喷气嘴(42)，所述喷气管(40)通过所述喷气嘴(42)向外喷出热气并控制喷出热气的流向。2.如权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)包括设于所述烘烤腔(51)靠近出入口(52)一侧底部的第一喷气管(1)以及设于所述烘烤腔(51)顶部并对应位于第一喷气管(1)上方的第二喷气管(2)；所述第一喷气管(1)和第二喷气管(2)分别斜向上、斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，共同用于形成第一道热气墙。3.如权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)还包括设于所述烘烤腔(51)远离出入口(52)一侧底部的第三喷气管(3)、设于所述烘烤腔(51)顶部并对应位于第三喷气管(3)上方的第四喷气管(4)以及设于所述述烘烤腔(51)顶部并位于所述第二喷气管(2)和第四喷气管(4)之间的第五喷气管(5)；所述第三喷气管(3)和第四喷气管(4)分别斜向上、斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，共同用于形成第二道热气墙；所述第五喷气管(5)斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，用于形成第三道热气墙。4.如权利要求3所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一喷气管(1)和第二喷气管(2)相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第三喷气管(3)和第四喷气管(4)相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第二喷气管(2)、第五喷气管(5)及第四喷气管(4)相对于水平面的喷气角度逐渐减小；用于形成所述第一道热气墙、第二道热气墙和第三道热气墙的喷气管(40)相对于各自最接近的炉体(50)内表面呈15°-60°角喷出热气，所述第三道热气墙覆盖用于形成第一道热气墙的喷气管(40)，所述第二道热气墙覆盖用于形成第...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂乐志，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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