烘烤炉及光阻预烘烤方法技术

本发明专利技术提供一种烘烤炉及光阻预烘烤方法。本发明专利技术的烘烤炉包括炉体、开关门、加热板及多条喷气管，当所述开关门开启时，所述多条喷气管用于向出入口喷出热气以防止烘烤腔外的气体进入，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而有效提高显示产品的品质。本发明专利技术的光阻预烘烤方法，使用上述烘烤炉进行光阻预烘烤，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而有效提高显示产品的品质。

【技术实现步骤摘要】
烘烤炉及光阻预烘烤方法
本专利技术涉及显示器制作
，尤其涉及一种烘烤炉及光阻预烘烤方法。
技术介绍
在显示
，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)与有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示器等平板显示器已经逐步取代CRT显示器，广泛的应用于液晶电视、手机、个人数字助理、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。显示面板是LCD、OLED的重要组成部分。不论是LCD的显示面板，还是OLED的显示面板，通常都具有一薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)基板。以LCD的显示面板为例，其主要是由TFT基板、彩膜(ColorFilter，CF)基板以及配置于两基板间的液晶层和密封框胶(Sealant)所构成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。目前在平板显示工艺制程中，清洗、去水干燥、涂布、预烘烤、曝光、显影和后烘烤是黄光制程的主要制程单元，其中，清洗单元的作用是除去玻璃基板上的颗粒(Particle)，去水干燥单元的作用是除去基板上的水分且增加表面的疏水性，涂布单元的作用是在基板上涂一层光阻，预烘烤单元(其常用温度为90～130℃)的作用是除去光阻中的溶剂并增加光阻与基板的黏附性，曝光与显影单元的作用是使光阻在基板上留下特定图案，后烘烤单元的作用使图案化的光阻在玻璃基板上进一步固化。目前Array制程中的预烘烤炉主要是热板式烤炉，与热风式烤炉相比，该热板式烤炉的优点是加热温度均匀性极高(温度均匀性≤±1℃)。在预烘烤前，玻璃基板通过机械(Robot)手臂传送到预烘烤炉的高温腔体内，经过设定时间的烘烤后，再用Robot手臂将玻璃基板从高温腔体中取出。该制程过程中，Robot手臂进出腔体，都需要腔体的门(Shutter)进行开与关动作，如此必然会导致腔外室温气流进入腔内，导致腔体靠近Shutter部位会有部分温度降低，即造成腔体热板局部温度短暂不均(波动范围±3℃)。因此传统的预烘烤炉在预烘烤制程中，不可避免的会带来如下缺陷：1)、腔外室温气流进入高温腔体内，扰动热板温度的均匀性，即造成热板局部温度短暂不均；2)、热板温度不均，会影响玻璃基板在被热板烘烤时，受热不均，导致其面内光阻溶剂挥发速率不同，最后造成基板上光阻膜厚不均；3)、热板温度不均，会影响玻璃基板表面的光阻固化程度有差异，最终会导致显影后光阻图案的线宽尺寸(CD)有差异。然而，光阻的膜厚不均和线宽不均，最终都会影响产品的品质。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种烘烤炉，有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而提高显示产品的品质。本专利技术的另一目的在于提供一种光阻预烘烤方法，使用上述烘烤炉进行光阻预烘烤，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而提高显示产品的品质。为实现上述目的，本专利技术提供一种烘烤炉，包括：炉体，其内部为烘烤腔，所述炉体的一侧面设有出入口；开关门，安装于炉体的出入口处；加热板，设置于所述烘烤腔底部，用以对基板进行加热；多条喷气管，设于所述烘烤腔中；当所述开关门开启时，所述多条喷气管用于向所述出入口喷出热气以防止烘烤腔外的气体进入；所述喷气管包括输气管道及设于输气管道上的喷气嘴，所述喷气管通过所述喷气嘴向外喷出热气并控制喷出热气的流向。所述多条喷气管包括设于所述烘烤腔靠近出入口一侧底部的第一喷气管以及设于所述烘烤腔顶部并对应位于第一喷气管上方的第二喷气管；所述第一喷气管和第二喷气管分别斜向上、斜向下朝所述出入口喷出热气，共同用于形成第一道热气墙。所述多条喷气管还包括设于所述烘烤腔远离出入口一侧底部的第三喷气管、设于所述烘烤腔顶部并对应位于第三喷气管上方的第四喷气管以及设于所述述烘烤腔顶部并位于第二喷气管和第四喷气管之间的第五喷气管；所述第三喷气管和第四喷气管分别斜向上、斜向下朝所述出入口喷出热气，共同用于形成第二道热气墙；所述第五喷气管斜向下朝所述出入口喷出热气，用于形成第三道热气墙。所述第一喷气管和第二喷气管相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第三喷气管和第四喷气管相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第二喷气管、第五喷气管及第四喷气管相对于水平面的喷气角度逐渐减小；用于形成所述第一道热气墙、第二道热气墙和第三道热气墙的喷气管相对于各自最接近的炉体内表面呈15°-60°角喷出热气，所述第三道热气墙覆盖用于形成第一道热气墙的喷气管，所述第二道热气墙覆盖用于形成第三道热气墙的喷气管。所述第一喷气管和第二喷气管相对于水平面呈45°角分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第三喷气管和第四喷气管相对于水平面呈15°角分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第五喷气管相对于水平面呈30°角斜向下喷出热气。所述多条喷气管还包括设于所述烘烤腔远离出入口一侧中部的第六喷气管；所述第六喷气管的喷嘴为广角扇形喷气嘴，用于整面推进气流向烘烤腔外运动。所述多条喷气管还包括设于所述烘烤腔远离出入口一侧底部的第七喷气管。所述第七喷气管水平朝出入口喷出热气，用于扫除所述加热板表面的气体。所述多条喷气管还包括分别由第二喷气管的两端沿炉体侧面垂直向下延伸至第一喷气管两端的第八喷气管和第九喷气管、由第四喷气管的两端沿炉体侧面垂直向下延伸至第三喷气管两端的第十喷气管和第十一喷气管、由第五喷气管的两端沿炉体侧面垂直向下延伸至炉体下表面的第十二喷气管和第十三喷气管。所述多条喷气管在所述烘烤腔内相互连通，所述多条喷气管统一被供给热气；所述多条喷气管安装于所述炉体的内表面上。本专利技术还提供一种光阻预烘烤方法，包括如下步骤：步骤S1、提供如上所述的烘烤炉及待预烘烤的带有光阻的基板，打开烘烤炉的开关门，所述多条喷气管开始喷出热气以防止烘烤腔外的气体进入；步骤S2、将所述基板放入烘烤腔内的加热板上，关闭烘烤炉的开关门，所述多条喷气管停止喷出热气，所述加热板对基板进行加热；步骤S3、加热结束后，打开烘烤炉的开关门，所述多条喷气管开始喷出热气，将所述基板从烘烤腔内取出并冷却。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种烘烤炉包括炉体、开关门、加热板及多条喷气管，当所述开关门开启时，所述多条喷气管用于向出入口喷出热气以防止烘烤腔外的气体进入，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而有效提高显示产品的品质。本专利技术提供的一种光阻预烘烤方法，使用上述烘烤炉进行光阻预烘烤，能够有效防止烘烤腔外的气流影响开关门处的加热板温度，避免该处温度不均造成预烘烤制程中光阻膜厚不均和线宽不均，进而有效提高显示产品的品质。附图说明下面结合附图，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种烘烤炉，其特征在于，包括：炉体(50)，其内部为烘烤腔(51)，所述炉体(50)的一侧面设有出入口(52)；开关门(20)，安装于炉体(50)的出入口(52)处；加热板(30)，设置于所述烘烤腔(51)底部，用以对基板(90)进行加热；多条喷气管(40)，设于所述烘烤腔(51)中；当所述开关门(20)开启时，所述多条喷气管(40)用于向所述出入口(52)喷出热气以防止烘烤腔(51)外的气体进入；所述喷气管(40)包括输气管道(41)及设于输气管道(41)上的喷气嘴(42)，所述喷气管(40)通过所述喷气嘴(42)向外喷出热气并控制喷出热气的流向。

【技术特征摘要】
1.一种烘烤炉，其特征在于，包括：炉体(50)，其内部为烘烤腔(51)，所述炉体(50)的一侧面设有出入口(52)；开关门(20)，安装于炉体(50)的出入口(52)处；加热板(30)，设置于所述烘烤腔(51)底部，用以对基板(90)进行加热；多条喷气管(40)，设于所述烘烤腔(51)中；当所述开关门(20)开启时，所述多条喷气管(40)用于向所述出入口(52)喷出热气以防止烘烤腔(51)外的气体进入；所述喷气管(40)包括输气管道(41)及设于输气管道(41)上的喷气嘴(42)，所述喷气管(40)通过所述喷气嘴(42)向外喷出热气并控制喷出热气的流向。2.如权利要求1所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)包括设于所述烘烤腔(51)靠近出入口(52)一侧底部的第一喷气管(1)以及设于所述烘烤腔(51)顶部并对应位于第一喷气管(1)上方的第二喷气管(2)；所述第一喷气管(1)和第二喷气管(2)分别斜向上、斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，共同用于形成第一道热气墙。3.如权利要求2所述的烘烤炉，其特征在于，所述多条喷气管(40)还包括设于所述烘烤腔(51)远离出入口(52)一侧底部的第三喷气管(3)、设于所述烘烤腔(51)顶部并对应位于第三喷气管(3)上方的第四喷气管(4)以及设于所述述烘烤腔(51)顶部并位于所述第二喷气管(2)和第四喷气管(4)之间的第五喷气管(5)；所述第三喷气管(3)和第四喷气管(4)分别斜向上、斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，共同用于形成第二道热气墙；所述第五喷气管(5)斜向下朝所述出入口(52)喷出热气，用于形成第三道热气墙。4.如权利要求3所述的烘烤炉，其特征在于，所述第一喷气管(1)和第二喷气管(2)相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第三喷气管(3)和第四喷气管(4)相对于水平面呈相同的角度分别斜向上、斜向下喷出热气；所述第二喷气管(2)、第五喷气管(5)及第四喷气管(4)相对于水平面的喷气角度逐渐减小；用于形成所述第一道热气墙、第二道热气墙和第三道热气墙的喷气管(40)相对于各自最接近的炉体(50)内表面呈15°-60°角喷出热气，所述第三道热气墙覆盖用于形成第一道热气墙的喷气管(40)，所述第二道热气墙覆盖用于形成第...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂乐志，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44