压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在抑制大型化的同时抑制了对置的配线间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷出装置。压电器件(致动器单元14)具有：第一基板(压力室形成基板29、振动板31)，其具备压电体层(38)以及至少一部分层压在压电体层(38)上的第一配线(上电极层39)；以及第二基板(密封板33)，其具备被施加与第一配线(上电极层39)不同的电信号的第二配线(下表面侧配线47)，第一配线(上电极层39)与第二配线(下表面侧配线47)以隔开间隔的方式对置，所述压电器件(致动器单元14)的特征在于，第一配线(上电极层39)和第二配线(下表面侧配线47)中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层(55)覆盖。

Piezoelectric devices, MEMS devices, liquid ejector heads and liquid ejecting devices

The present invention provides a piezoelectric device, a MEMS device, a liquid ejector and a liquid ejecting device which simultaneously suppress the short circuit between the opposed configurations while suppressing the large-scale. The piezoelectric device (actuator unit 14) has a first substrate (pressure chamber forming substrate 29, vibration plate 31), a first wiring (upper electrode layer 39) with a piezoelectric body layer (38) and at least a portion of the first wiring (upper electrode layer 39) laminated on the piezoelectric body layer (38), and a second substrate (sealing plate 33), which has an electricity applied different from the first wiring (upper electrode layer 39). The second wiring (lower surface side wiring 47), the first wiring (upper electrode layer 39) and the second wiring (lower surface side wiring 47) of the signal are aligned at intervals. The piezoelectric device (actuator unit 14) is characterized by at least one of the wiring in the first wiring (upper electrode layer 39) and the second wiring (lower surface side wiring 47). At least a part is covered by an insulating protective layer (55).

【技术实现步骤摘要】
压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置
本专利技术涉及一种具备第一基板和第二基板且被形成在各个基板上的配线被对置配置的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。
技术介绍
具备压电器件的MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)器件被应用在各种装置中，其中，所述压电器件具有压电元件。例如，作为MEMS器件的一种的液体喷射头，通过使所述压电元件发生变形而使压力室内的液体随着该变形而产生压力变动，从而从喷嘴喷射出(喷出)液滴。此外，作为搭载有这样的液体喷射头的液体喷射装置，除了以喷墨式打印机或喷墨式绘图仪等为代表的图像记录装置之外，还被应用在各种制造装置中。例如，被应用在对液晶显示器等的滤色器进行制造的显示器制造装置、形成有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置中。并且，通过图像记录装置用的记录头而喷射液状的油墨，并通过显示器制造装置用的颜色材料喷射头而喷射R(Red，红色)、G(Green，绿色)、B(Blue，蓝色)的各个颜色材料的溶液。此外，通过电极形成装置用的电极材喷射头而喷射液状的电极材料，并通过生物芯片制造装置用的生物体有机物喷射头而喷射生物体有机物的溶液。此外，作为液体喷射头，具有如下的喷射头，即，具备形成有压电元件及从压电元件起而延伸的配线(例如，独立电极)的一个基板(例如，液室基板)和以相对于该基板而空开间隔的方式配置的另一个基板(例如，驱动元件)，并且使一个基板的配线与另一个基板的端子连接(例如，参照专利文献1)的喷射头。此外，近年来，开发出了在另一个基板的一个基板侧的面上形成各种配线的喷射头。在如上文所述那样的一个基板以及另一个基板这双方上均形成有配线的结构中，存在如下的情况，即，一个基板的配线与另一个基板的配线对置，并向两个配线施加不同的电信号。在这种情况下，当形成有专利文献1所公开的那种露出于相对置的基板侧的配线时，有可能会在一个基板的配线与另一个基板的配线之间放电从而导致两者发生短路(short)。虽然为了对相对置的配线间的短路进行抑制而考虑到扩大一个基板与另一个基板的间隔，但是在该情况下会使液体喷射头大型化。此外，虽然也考虑到以使一个基板的配线与另一个基板的配线不对置的方式而对配线进行布局，但是设计的自由度受到限制，从而在该情况下也有可能导致液体喷射头大型化。专利文献专利文献1：日本特开2012-171149号公报
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种情况而完成的专利技术，其目的在于提供一种在抑制大型化的同时抑制了相对置的配线之间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。本专利技术的压电器件是为了达成上述目的而提出的，本专利技术的压电器件具有：第一基板，其具备压电体层以及至少一部分层压在所述压电体层上的第一配线；以及第二基板，其具备被施加与所述第一配线不同的电信号的第二配线，并且，所述第一配线与所述第二配线对置，所述压电器件的特征在于，所述第一配线和所述第二配线中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层覆盖。根据该结构，通过保护层而抑制了第一配线与第二配线之间的短路。即，保护层成为相对于电子流的能量壁垒，从而抑制了第一配线与第二配线之间的放电。由此，能够缩窄第一配线与第二配线的间隔。此外，由于第一配线与第二配线对置配置，因此增加了设计的自由度。其结果是，能够对压电器件大型化的情况进行抑制。此外，由于能够抑制第一配线与第二配线之间的短路，因此使压电器件的可靠性提高。在上述结构中，优选为，所述保护层由氧化物、氮化物或者树脂中的任意一种而形成。根据该结构，能够比较容易地制作出保护层。此外，在上述结构中，优选为，所述第一基板和所述第二基板经由粘接剂而被接合在一起，所述保护层由与所述粘接剂相同种类的树脂而形成。根据该结构，易于使粘接剂与保护层紧贴。由此，能够提高第一基板与第二基板的粘接强度(接合强度)。进一步地，在上述各个结构中的任意一个中，优选为，在至少向所述第一配线或所述第二配线中的任意一方进行的电压施加中，所述第一配线与所述第二配线之间的最大电位差为10V以上。根据该结构，即使在第一配线与第二配线之间的最大电位差在10V以上的情况下，也能够抑制第一配线与第二配线之间的短路。即，即使在第一配线与第二配线之间产生了容易短路的电位差，也能够对两个配线间的短路进行抑制。此外，在上述各个结构中的任意一个中，优选为，在至少向所述第一配线或所述第二配线中的任意一方进行的电压施加中，被形成在所述第一配线与所述第二配线之间的最大电场强度为1MV/m以上。该结构根据，即使在第一配线与第二配线之间的电场强度为1MV/m以上的情况下，也能够对第一配线与第二配线之间的短路进行抑制。即，即使在第一配线与第二配线之间产生了容易短路的电场强度，也能对两个配线之间的短路进行抑制。进一步地，在上述各个结构中的任意一个中，优选为，所述第一配线的端或所述第二配线中的与所述第一配线的端对置的部分中的至少任意一方被所述保护层覆盖。根据该结构，由于容易产生放电的第一配线的端或与之对置的部分被保护层覆盖，因此进一步抑制了第一配线与第二配线之间的短路。此外，在上述各个结构中的任意一个中，优选为，所述第一基板具备被层压在所述第一配线上的第三配线，所述第三配线的端或所述第二配线中的与所述第三配线的端对置的部分中的至少任意一方被所述保护层覆盖。根据该结构，由于容易产生放电的第三配线的端或与之对置的部分被保护层覆盖，因此进一步抑制了第一配线与第二配线之间的短路。并且，本专利技术的MEMS器件的特征在于，具备上述各个结构中的任意一个的压电器件。根据本专利技术，使MEMS器件的可靠性提高。此外，本专利技术的液体喷射头的特征在于，具备上述各个结构中的任意一个的压电器件。根据本专利技术，使液体喷射头的可靠性提高。进一步地，本专利技术的液体喷射装置的特征在于，具备上述结构的液体喷射头。根据本专利技术，使液体喷射装置的可靠性提高。附图说明图1为对打印机的结构进行说明的立体图。图2为对记录头的结构进行说明的剖视图。图3为将记录头的主要部分放大了的剖视图。图4为将第二实施方式中的记录头的主要部分放大了的剖视图。具体实施方式以下，参照附图对用于实施本专利技术的方式进行说明。另外，虽然在以下所描述的实施方式中作为本专利技术的优选的具体例而进行了各种限定，但是只要在以下的说明中不存在特别地对本专利技术进行限定的主旨的记载，则本专利技术的范围就不局限于这些实施方式。此外，在下文中，列举作为MEMS器件的一种的液体喷射头，尤其是搭载于作为液体喷射装置的一种的喷墨式打印机(以下，记为打印机)1中的喷墨式记录头(以下，记为记录头)3为例而进行说明。图1为打印机1的立体图。打印机1为对记录纸等记录介质2(喷落对象的一种)的表面喷射油墨(液体的一种)从而实施图像等的记录的装置。该打印机1具备：记录头3、安装有该记录头3的滑架4、使滑架4在主扫描方向上进行移动的滑架移动机构5、将记录介质2向副扫描方向进行移送的输送机构6等。在此，上述的油墨被贮存在作为液体供给源的墨盒7中。该墨盒7以可拆装的方式被安装在记录头3上。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电器件，其特征在于，具有：第一基板，其具备压电体层以及至少一部分层压在所述压电体层上的第一配线；以及第二基板，其具备被施加与所述第一配线不同的电信号的第二配线，并且，所述第一配线与所述第二配线对置，在所述压电器件中，所述第一配线和所述第二配线中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层覆盖。

【技术特征摘要】
2017.03.27 JP 2017-0605931.一种压电器件，其特征在于，具有：第一基板，其具备压电体层以及至少一部分层压在所述压电体层上的第一配线；以及第二基板，其具备被施加与所述第一配线不同的电信号的第二配线，并且，所述第一配线与所述第二配线对置，在所述压电器件中，所述第一配线和所述第二配线中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层覆盖。2.如权利要求1所述的压电器件，其特征在于，所述保护层由氧化物、氮化物或者树脂中的任意一种而形成。3.如权利要求2所述的压电器件，其特征在于，所述第一基板和所述第二基板经由粘接剂而被接合在一起，所述保护层由与所述粘接剂相同种类的树脂而形成。4.如权利要求1至权利要求3中的任意一项所述的压电器件，其特征在于，在至少向所述第一配线或所述第二配线中的任意一方进行的电压施加中，所述第一配线与所述第二配线之间的最大电位差为10...

【专利技术属性】
技术研发人员：塚原克智，平井荣树，高部本规，山田大介，松本泰幸，田中秀一，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP