The utility model relates to an infrared optical material micro-defect detection device and a far-infrared microscope head for the device. The far-infrared microscope head comprises: a first lens, a second lens, a third lens and a fourth lens arranged sequentially along the optical axis from the object side to the image side; a first lens, the third lens and the body. The fourth lens is germanium glass, the second lens is chalcogenide glass, the object side of the first lens and the third lens is spherical and the image side is non-spherical, the non-spherical surface of the third lens has diffraction ring, and the object side and image side of the second lens and the fourth lens are spherical. According to the far-infrared microscope head of the utility model, the microscopic defects in the infrared optical materials (such as silicon, germanium or chalcogenide glass) which can not be observed by naked eyes can be observed, and different types of defects such as bubbles, impurities and/or cracks can be clearly observed.
【技术实现步骤摘要】
红外光学材料微观缺陷检测装置及远红外显微镜头
本技术涉及一种红外光学材料微观缺陷检测装置及用于该装置的远红外显微镜头。利用红外光源发出的红外线透过被测红外光学材料,透射的红外线通过红外显微镜头放大成像,红外探测器将接收到的红外线成像信号转换成电子信号后通过计算机转换成图形,从而实现对材料内部微观缺陷进行观察。
技术介绍
光学显微镜是利用一个或一组透镜,组成一套光学放大系统,将微观的物体或图像放大成人类肉眼可以分辨的图像,以供人们观察微观世界。光学显微镜一般采用可见光作为光源,工作方式大多为反射式,用于人眼观测物体的表面细微情况,也可以利用透射式工作方式来观察透明物体内部的细节情况。光学显微镜除了可以用人眼通过光学目镜直接观察外,也可以配备电子目镜,通过光电转换和信号处理,通过软件将光学显微镜看到的图片显示在电脑屏幕上,以供人眼观察,减少眼睛疲劳。但是对于透红外线光学材料,如单晶锗,单晶硅等,由于对可见光不透过,普通光学显微镜无法对此类材料的内部微缺陷进行观察,导致无法判断出材料的品质是否符合使用要求。
技术实现思路
本技术的目的在于解决上述问题,提供一种可以精确检测红外光学材料微观缺陷的红外光学材料微观缺陷检测装置以及用于该装置的远红外显微镜头。为实现上述专利技术目的,本技术提供一种包含远红外显微镜头的红外光学材料微观缺陷检测装置,包括:物料夹持调整单元,用于夹持红外光学材料并且调整红外光学材料的位置;红外成像单元,位于所述物料夹持调整单元的一侧,用于对红外光学材料聚焦成像;红外光单元,位于所述物料夹持调整单元的另一侧,用于提供红外线;支承单元,用于支承所述物 ...
【技术保护点】
1.一种红外光学材料微观缺陷检测装置,其特征在于,包括:物料夹持调整单元(1),用于夹持红外光学材料并且调整红外光学材料的位置;红外成像单元(2),位于所述物料夹持调整单元(1)的一侧,用于对红外光学材料聚焦成像;红外光单元(3),位于所述物料夹持调整单元(1)的另一侧,用于提供红外线;支承单元(4),用于支承所述物料夹持调整单元(1)、红外成像单元(2)和红外光单元(3);所述红外成像单元(2)包括远红外显微镜头(201)。
【技术特征摘要】
1.一种红外光学材料微观缺陷检测装置,其特征在于,包括:物料夹持调整单元(1),用于夹持红外光学材料并且调整红外光学材料的位置;红外成像单元(2),位于所述物料夹持调整单元(1)的一侧,用于对红外光学材料聚焦成像;红外光单元(3),位于所述物料夹持调整单元(1)的另一侧,用于提供红外线;支承单元(4),用于支承所述物料夹持调整单元(1)、红外成像单元(2)和红外光单元(3);所述红外成像单元(2)包括远红外显微镜头(201)。2.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置,其特征在于,还包括位于所述物料夹持调整单元(1)和所述红外光单元(3)之间的可调光阑(5),所述可调光阑(5)的光阑口径调节范围为5-80mm。3.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置,其特征在于,所述物料夹持调整单元(1)包括用于夹持红外光学材料的夹持台(101)、支承所述夹持台(101)的调整平台(102)以及安装在所述调整平台(102)上用于驱动所述调整平台(102)移动的调节旋钮(103)。4.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置,其特征在于,所述红外成像单元(2)还包括用于调节所述远红外显微镜头(201)的焦距的调焦手轮(202)、与所述远红外显微镜头(201)电连接的远红外探测器(203)。5.根据权利要求4所述的红外光学材料微观缺陷检测装置,其特征在于,所述远红外探测器(203)为640x480阵列式、像元间距17μm的长波红外非制冷型探测器。6.根据权利要求1所述的红外光学材料微观缺陷检测装置,其特征在于,所述红外光单元(3)包括用于提供红外线的红...
【专利技术属性】
技术研发人员:周刚,潘养辉,朱光春,陈惠广,
申请(专利权)人:宁波舜宇红外技术有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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