圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶技术

本发明专利技术的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。本发明专利技术涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序；和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶
本专利技术涉及可用于利用溅射法进行的成膜的圆筒型靶的制造方法及圆筒型靶。
技术介绍
以往，在利用溅射法进行的成膜中，使用了平板型靶。然而，近年来，从靶的使用效率优异方面考虑，使用了专利文献1～3中记载的那样的圆筒型靶。例如，在液晶显示器(LCD)用的布线材料等中使用的铝靶通常是长度为1000～3000mm的圆筒型。圆筒型靶可用于一边使靶旋转一边进行溅射的成膜方法，通常，将多根圆筒型靶设置成一组，将其沿铅直方向设置于溅射装置中。这样的圆筒型靶具有变形时，存在以下情况：在溅射时成为异常放电的原因，或者，形成的膜的厚度变得不均匀。圆筒型靶通常大多为较长的靶，沿长度方向的变形尤其被视为问题。多根圆筒型靶中即使有1根在长度方向上存在变形，也可能发生下述情况：由于与插入至圆筒型靶内部的磁体的接触而导致动作不良；或者，由于安装于圆筒型靶外部的屏蔽罩(shield)等周边构件与圆筒型靶的局部的接近或接触而导致异常放电。此外，对于圆筒型靶而言，如上所述，是使其旋转而使用，因此，若在长度方向上具有变形，则圆筒型靶与形成膜的基板的距离变得不均匀，因此，形成的膜的厚度也变得不均匀，或者，在圆筒型靶与溅射装置的连接部产生负荷，有时成为装置的破损、故障的原因。另外，在将长度大于1m的大型的圆筒型靶用于溅射装置时，通常，并非仅使用1根，而是以3～20根的靶组的形式使用。然而，该靶组中即使有1根圆筒型靶在长度方向上具有变形，也会导致前述的动作不良或异常放电、成膜不均匀性。尚未能准备由所有圆筒型靶均不存在长度方向上的变形的圆筒型靶配备而成的靶组。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-57112号公报专利文献2：日本特开2013-204052号公报专利文献3：日本特开2014-105383号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的课题在于提供制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶的方法。用于解决课题的手段本申请的专利技术人为了解决上述课题而进行了深入研究，结果，发现了包括以下构成的解决手段，从而完成了本专利技术。(1)圆筒型靶的制造方法，其包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序；在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件(adapter)的工序；以及，为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。(2)如上述(1)所述的制造方法，其中，具有接合件的靶材料的直线度在预先规定的范围外时，还包括下述工序：对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行矫正，以使得具有接合件的靶材料的直线度成为预先规定的范围内。(3)如上述(2)所述的制造方法，其中，直线度的矫正通过将具有接合件的靶材料供于切削加工或锻造加工来进行。(4)如上述(1)～(3)中任一项所述的制造方法，其中，设置接合件的工序通过将接合件接合于已被加工成圆筒形状的靶材料的至少一个端部来进行。(5)如上述(1)～(3)中任一项所述的制造方法，其中，设置接合件的工序通过将已被加工成圆筒形状的靶材料的至少一个端部成型为接合件部来进行。(6)如上述(1)～(3)中任一项所述的制造方法，其中，设置接合件的工序通过向已被加工成圆筒形状的靶材料的中空部中插入衬管(backingtube)来进行。(7)如上述(1)～(6)中任一项所述的制造方法，其中，外观的长度方向上的直线度的测定如下进行：沿铅直方向设置具有接合件的靶材料，一边使具有接合件的靶材料旋转，一边使用千分表进行测定。(8)如上述(7)所述的制造方法，其中，前述千分表是以位于具有接合件的靶材料的上端部附近的方式而配置的。(9)如上述(1)～(8)中任一项所述的制造方法，其中，前述靶材料为选自由铝、银、铜、钛及钼组成的组中的至少1种金属。(10)圆筒型靶组，其是将多根圆筒型靶设置成一组而形成的，所述圆筒型靶的外观的长度方向上的直线度为2mm以下。(11)如上述(10)所述的圆筒型靶组，其长度为700mm以上。(12)如上述(10)或(11)所述的圆筒型靶组，其中，前述靶材料为选自由铝、银、铜、钛及钼组成的组中的至少1种金属。(13)直线度测定方法，其是构成圆筒型靶的已被加工成圆筒形状的靶材料的直线度测定方法，所述直线度测定方法包括下述工序：将具有与已被加工成圆筒形状的靶材料的内径大致相同的直径的构件从已被加工成圆筒形状的靶材料的一端朝向另一端插入。(14)测定装置，其对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定，所述测定装置具备：用于沿铅直方向对具有接合件的靶材料进行设置并使其旋转的固定部、和能以与具有接合件的靶材料的圆周面接触的方式对千分表的位置进行调节的测定部。(15)如上述(14)所述的测定装置，其中，前述千分表是以位于具有接合件的靶材料的上端部附近的方式而配置的。(16)圆筒型靶，其是焊接有凸缘和盖的靶材料，所述圆筒型靶的外观的长度方向上的直线度为2mm以下。(17)如上述(16)所述的圆筒型靶，其长度为700mm以上。(18)如上述(16)或(17)所述的圆筒型靶，其中，前述靶材料为选自由铝、银、铜、钛及钼组成的组中的至少1种金属。专利技术的效果通过本专利技术，能制造在长度方向上几乎没有变形的圆筒型靶。此外，对于通过本专利技术的制造方法得到的圆筒型靶而言，由于几乎没有变形，因而即使将其设置于溅射装置，也不会向凸缘施加局部的载荷，因此，能减轻对溅射装置造成的负荷，提高耐久性。附图说明[图1]为表示本专利技术的一个实施方式涉及的圆筒型靶的制造方法的流程图。[图2]为表示具有接合件的靶材料的各种形态的示意图，图2(A)表示在一方固定有接合件(凸缘)、在另一方固定有盖的形态，图2(B)表示在两端固定有接合件的形态，图2(C)表示将已被加工成圆筒形状的靶材料的两个端部成型为接合件部的形态，图2(D)表示向已被加工成圆筒形状的靶材料的中空部中插入衬管而进行固定的形态。[图3]图3(A)～图3(D)是用于说明对安装有凸缘的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行矫正的方法的一个实施方式的说明图。[图4]是对实施例中进行的针对外观来测定长度方向上的直线度的方法进行说明的说明图。具体实施方式本专利技术涉及的圆筒型靶的制造方法包括下述的第1工序～第3工序。以下，基于图1所示的流程图，详细地说明各工序。第1工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序。第2工序：在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序。第3工序：为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。(第1工序)可用于本专利技术的制造方法的靶材料没有特别限制，只要是在利用溅射法进行的成膜中通常使用的那样的靶材料即可。作为这样的靶材料，可举出例如铝、银、铜、钛、钼、锡掺杂氧化铟(ITO)、铝掺杂氧化锌(AZO)、镓掺杂氧化锌(GZO)、钛掺杂氧化锌、In-Ga-Zn系复合氧化物(IGZO)等。另外，靶材料可以是包含铝、银、铜、钛及钼中的至少1种以上的合金。这些中，优选铝或铜。本专利技术的制造方法中，靶材料被加工成圆筒形状。加工成圆筒形状的方法没有特别限制。在金属系的靶材料的情本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.圆筒型靶的制造方法，其包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序，在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序，和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.02.05 JP 2016-0212121.圆筒型靶的制造方法，其包括下述工序：将靶材料加工成圆筒形状的工序，在已被加工成圆筒形状的靶材料上设置用于安装至溅射装置的接合件的工序，和为了对具有接合件的靶材料的直线度是否在预先规定的范围内进行确认，而对具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行测定的工序。2.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述具有接合件的靶材料的直线度在预先规定的范围外时，还包括下述工序：对所述具有接合件的靶材料的外观的长度方向上的直线度进行矫正，以使得所述具有接合件的靶材料的直线度成为预先规定的范围内。3.如权利要求2所述的制造方法，其中，所述直线度的矫正通过将所述具有接合件的靶材料供于切削加工或锻造加工来进行。4.如权利要求1～3中任一项所述的制造方法，其中，设置所述接合件的工序通过将接合件接合于所述已被加工成圆筒形状的靶材料的至少一个端部来进行。5.如权利要求1～3中任一项所述的制造方法，其中，设置所述接合件的工序通过将所述已被加工成圆筒形状的靶材料的至少一个端部成型为接合件部来进行。6.如权利要求1～3中任一项所述的制造方法，其中，设置所述接合件的工序通过向所述已被加工成圆筒形状的靶材料的中空部中插入衬管来进行。7.如权利要求1～6中任一项所述的制造方法，其中，所述外观的长度方向上的直线度的测定如下进行：沿铅直方向设置所述具有接合件的靶材料，一边使所述具有接合件的靶材料旋转，一边使用千分表进行测定。8.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：白石瑞树，菅原琢人，西冈宏司，藤田昌宏，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP