新型取晶车制造技术

本发明专利技术公开一种新型取晶车，包括车架以及支撑架，支撑架上设置有放置晶棒的容置空间，支撑架的底部设置有支撑座，支撑架包括有相互平行设置的底板、定位板以及连接组件，车架上设置有用于驱动支撑架翻转的翻转组件，翻转组件包括有翻转基座，底板上设置有沿其长度方向设置的导轨且翻转基座上设置有与导轨配合的导槽，翻转基座定位于车架上，车架上设置有驱动底座沿其导轨方向位移的驱动组件，定位板上设置有沿定位板长度方向上的位移槽，支撑座设置有与位移槽配合的位移块，定位板设置有动力组件，本发明专利技术的目的是提供一种取晶车，对于晶棒的转运过程更加平稳安全。

【技术实现步骤摘要】
新型取晶车
本专利技术涉及单晶制造辅助设备，特别涉及一种新型取晶车。
技术介绍
单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化，再用子晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的单晶棒，在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。取晶车通常包括车架，在车架上会设置有接收晶棒的支撑架，所述支撑架呈长条状设置，在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座，所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向，在支撑架垂直于车架的时候，所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构，在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后，支撑架再退回至原位，在旋转至与车架平行的状态，通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。现有技术中晶棒均是采用液压机械手的方式从支撑座内取出，再液压机械手仅能夹持一端，晶棒其他部位夹持不到，所以很容易出现夹持不稳而摔碎的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种取晶车，对于晶棒的转运过程更加平稳安全。本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种新型取晶车，包括车架以及设置于车架上的支撑架，所述支撑架上设置有放置晶棒的容置空间，所述支撑架的底部设置有支撑座，所述支撑架包括有相互平行设置的底板、定位板以及位于底板与定位板之间的连接组件，所述车架上设置有用于驱动支撑架翻转的翻转组件，所述翻转组件包括有翻转基座，所述底板上设置有沿其长度方向设置的导轨且所述翻转基座上设置有与导轨配合的导槽，所述翻转基座定位于车架上，所述车架上设置有驱动底座沿其导轨方向位移的驱动组件，所述定位板上设置有沿定位板长度方向上的位移槽，所述支撑座设置有与位移槽配合的位移块，所述定位板设置有用于驱动支撑座沿位移槽设置方向位移的动力组件。进一步的，所述动力组件包括有位于定位板长度方向上两个端部的第一转轴、定位于第一转轴上与其联动的驱动链轮以及绕设于驱动链轮上的驱动链条，所述第一转轴通过设置第一轴承座轴向定位于定位板上，所述第一轴承座固定于定位板上，其中一根第一转轴上设置有驱动该第一转轴转动的第一驱动电机，所述驱动链条与位移块联动连接。进一步的，所述翻转组件还包括有固定于车架上第二轴承座，所述第二轴承座上轴向定位有第二转轴，所述翻转基座上设置有与第二转轴转动连接的连接座，所述翻转基座背向底板一侧还设置有驱动其转动的液压油缸，所述液压油缸一端铰接于翻转基座上另一端铰接于车架上。进一步的，所述翻转基座上设置有与液压油缸铰接连接的铰接座，所述铰接座位于两个连接座的中心位置处且所述铰接座位于连接座的上方。进一步的，所述驱动组件包括固定于底板上的齿条、定位于翻转基座朝向底板一侧端面上的齿轮以及用于带动齿轮旋转的第二驱动电机，所述翻转基座朝向底板一侧端面设置有第三轴承座，所述第三轴承座内轴向定位有第三转轴且所述齿轮与第三转轴联动，所述第二驱动电机驱动第三转轴转动。进一步的，所述第二驱动电机与第三转轴之间设置有二级齿轮减速器。进一步的，所述车架相对于翻转组件的另一侧端部设置有支撑组件，所述支撑组件包括有固定于车架上的外壳以及定位于外壳内支撑杆，所述外壳内设置有轴向位移孔，所述支撑杆定位于位移孔内，所述支撑杆上设置有抵接环，所述抵接环与位移孔的孔径相配合，所述支撑杆上套设有缓冲弹簧且所述缓冲弹簧位于限位环与外壳的底部之间。进一步的，所述车架包括沿长度方向依次布置的前架体和后架体，所述前架体在高度方向上低于后架体设置，所述前架体包括有两个独立的车轮安装架，两个车轮安装架之间间隔设置且两个车轮安装架之间设置有用于放置支撑架的放置腔，所述第二轴承座固定于后架体上，当所述翻转基座处于与前架体垂直的位置时，所述翻转基座位于前架体一侧且翻转基座高于前架体的上端面。进一步的，所述连接组件包括有固定于底板上的槽钢以及固定于槽钢上的两根定位杆，所述定位杆相对的两侧端面呈圆弧状凹陷设置，相邻的连接组件之间设置有导向辊，所述导向辊中部呈圆弧状的内凹设置。进一步的，所述后架体包括有在高度方向分层的上座和下座，所述下座与前架体的底面位于同一高度，所述第二轴承座固定于上座上，所述上座上沿其长度方向在第二轴承座之后设置有让位槽，所述让位槽与下座相连通，所述下座上设置有用于定位液压油缸的固定座，所述液压油缸与固定座铰接连接，所述液压油缸位于让位槽内。通过采用上述方案，在晶棒从拉晶炉中被加工完成之后，翻转组件先带动支撑架翻转至垂直于地面的方向，驱动组件驱动带动底板沿其导轨设置的方向滑动，在支撑架伸入拉晶炉中直至晶棒与支撑座抵触，再通过驱动组件将支撑架整体下移至正常位置，再通过翻转机构翻转至平行于地面方向，最后通过动力组件推动支撑座沿支撑架长度方向独立运动，使得晶棒从容置空间的慢慢被推出，完成转送，由于支撑座的独立运动，使得晶棒可以从容置空间中伸出，便于后续的转运，从而使得晶棒在整体转运过程中更加稳定和安全。针对支撑架的升降，通过第二驱动电机，驱动齿轮转动，齿轮与底板上的齿条相啮合，从而实现了底板的运动，另外在第二驱动电机的输出端还设置有二级齿轮减速器，达到高扭矩、低转速的输出效果，使得该整体运动过程更加平稳可靠。针对支撑架的翻转，利用液压油缸推动翻转基座，翻转基座绕第二转轴转动，由于支撑架整体作用于翻转基座上，所以采用液压油缸才能足以保持整体稳定性和平稳性。该取晶车对于晶棒的转运过程稳定安全，并且造价低廉，便于市场推广。附图说明图1是立体结构示意图；图2是另一视角结构示意图；图3是A部放大图；图4是正向的视角结构示意图；图5是支撑座的结构示意图；图6时支撑组件爆炸结构示意图。图中，1、车架；11、后架体；111、上座；112、下座；12、车轮安装架；13、让位槽；14、固定座；15、定位座；16、安装腔；17、安装部；2、支撑架；21、定位板；211、滑轨；212、位移槽；22、底板；221、导轨；222、导向辊；23、连接组件；231、定位杆；232、槽钢；24、支撑座；25、位移块；26、抵接面；27、贯穿孔；3、翻转组件；31、翻转基座；32、连接座；33、第二转轴；34、第二轴承座；35、铰接座；4、驱动组件；41、第三轴承座；42、第三转轴；43、齿轮；44、齿条；45、第二驱动电机；46、二级齿轮减速器；5、液压油缸；6、动力组件；61、第一驱动电机；62、驱动链条；63、驱动链轮；64、第一转轴；65、第一轴承座；7、滑座；71、固定架；72、滑槽；8、脚轮；81、转动轮；9、支撑组件；91、外壳；92、位移孔；93、缓冲弹簧；94、盖体；95、抵接环；96、支撑杆；10、第三驱动电机；101、电瓶。具体实施方式一种新型取晶车，包括车架1以及设置于车架1上的支撑架2，所述支撑架2包括有相互平行设置的底板22、定位板21以及位于底板22与定位板21之间的连接组件23，所述连接组件23包括有焊接于底板22上的槽钢232以及固定于槽钢232上的连接杆231，所述连接杆231一端固定于槽钢232上另一端固定于定位板21上，所述定位杆231与槽钢232之间通过螺栓螺母进行连接，两个定位杆231相对的端面均呈圆弧状内凹设置，两个所述定位杆231之间的距离与晶棒的外径相配合，所述底板22、定位板21以及连接组件23本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型取晶车，包括车架（1）以及设置于车架（1）上的支撑架（2），所述支撑架（2）上设置有放置晶棒的容置空间，所述支撑架（2）的底部设置有支撑座（24），其特征是，所述支撑架（2）包括有相互平行设置的底板（22）、定位板（21）以及位于底板（22）与定位板（21）之间的连接组件（23），所述车架（1）上设置有用于驱动支撑架（2）翻转的翻转组件（3），所述翻转组件（3）包括有翻转基座（31），所述底板（22）上设置有沿其长度方向设置的导轨（221）且所述翻转基座（31）上设置有与导轨（221）配合的导槽，所述翻转基座（31）定位于车架（1）上，所述车架（1）上设置有驱动底座沿其导轨（221）方向位移的驱动组件（4），所述定位板（21）上设置有沿定位板（21）长度方向上的位移槽（212），所述支撑座（24）设置有与位移槽（212）配合的位移块（25），所述定位板（21）设置有用于驱动支撑座（24）沿位移槽（212）设置方向位移的动力组件（6）。

【技术特征摘要】
1.一种新型取晶车，包括车架（1）以及设置于车架（1）上的支撑架（2），所述支撑架（2）上设置有放置晶棒的容置空间，所述支撑架（2）的底部设置有支撑座（24），其特征是，所述支撑架（2）包括有相互平行设置的底板（22）、定位板（21）以及位于底板（22）与定位板（21）之间的连接组件（23），所述车架（1）上设置有用于驱动支撑架（2）翻转的翻转组件（3），所述翻转组件（3）包括有翻转基座（31），所述底板（22）上设置有沿其长度方向设置的导轨（221）且所述翻转基座（31）上设置有与导轨（221）配合的导槽，所述翻转基座（31）定位于车架（1）上，所述车架（1）上设置有驱动底座沿其导轨（221）方向位移的驱动组件（4），所述定位板（21）上设置有沿定位板（21）长度方向上的位移槽（212），所述支撑座（24）设置有与位移槽（212）配合的位移块（25），所述定位板（21）设置有用于驱动支撑座（24）沿位移槽（212）设置方向位移的动力组件（6）。2.根据权利要求1所述的新型取晶车，其特征是，所述动力组件（6）包括有位于定位板（21）长度方向上两个端部的第一转轴（64）、定位于第一转轴（64）上与其联动的驱动链轮（63）以及绕设于驱动链轮（63）上的驱动链条（62），所述第一转轴（64）通过设置第一轴承座（65）轴向定位于定位板（21）上，所述第一轴承座（65）固定于定位板（21）上，其中一根第一转轴（64）上设置有驱动该第一转轴（64）转动的第一驱动电机（61），所述驱动链条（62）与位移块（25）联动连接。3.根据权利要求1所述的新型取晶车，其特征是，所述翻转组件（3）还包括有固定于车架（1）上第二轴承座（34），所述第二轴承座（34）上轴向定位有第二转轴（33），所述翻转基座（31）上设置有与第二转轴（33）转动连接的连接座（32），所述翻转基座（31）背向底板（22）一侧还设置有驱动其转动的液压油缸（5），所述液压油缸（5）一端铰接于翻转基座（31）上另一端铰接于车架（1）上。4.根据权利要求3所述的新型取晶车，其特征是，所述翻转基座（31）上设置有与液压油缸（5）铰接连接的铰接座（35），所述铰接座（35）位于两个连接座（32）的中心位置处且所述铰接座（35）位于连接座（32）的上方。5.根据权利要求1所述的新型取晶车，其特征是，所述驱动组件（4）包括固定于底板（22）上的齿条（44）、定位于翻转基座（31）朝向底板（22）一侧端面上的齿轮（43）以及用于带动齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟宗兴，孟橙宏，吕宇轩，赵宇琦，孟赞，
申请(专利权)人：北京宏兴恒业精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11