The utility model relates to a surface particle analyzer, which comprises a filter, an air pump, a laser sensor, an electronic control unit and an adjustable sealing sampling device, wherein the sampling device and the air pump constitute a closed air circulation, and the inlet pipe of the sampling device is connected with a filter, and the outlet pipe of the sampling device is connected with a laser sensor. The electronic control unit is connected with the laser sensor, the power supply and the air pump separately, which can realize the fixed sealed and isolated sampling of the surface particles of the test sample, effectively eliminate the artificial operation error and environmental interference, and has the advantages of simple structure and easy operation, and the test data can be preliminarily analyzed, stored, printed and guided. It is convenient for later processing.
【技术实现步骤摘要】
一种表面微粒分析仪
本技术属于测试
,具体涉及一种表面微粒分析仪。
技术介绍
随着高科技工业的快速发展,污染物检测和量化要求现已变得很重要。例如,食品药品包装材料,医用无菌袋加工,精密微电子制造等均需对样品表面进行微粒检测,控制污染物含量及产品标准。同时为了控制生产过程中重要阶段的污染程度并将其最小化,经常采用“净室”。净室中规定并控制了其中的空气过滤、空气分布、公用设施、建筑材料、设备和操作过程,用以控制空气中粒子的浓度,使其满足适当空气中粒子清洁度等级。现有技术中通常采用如下方法及设备进行样品的表面微粒检测:1、紫外线或倾斜的白光用于目测检查技术。采用紫外光利用了特定有机粒子发出荧光的现象。有选择的,将白光以某个角度照射到测试表面上,以产生可见的反射。虽然白光技术比紫外光技术稍微敏感一些,但是它们都受到相同的限制。这些目测检查技术只能粗测表面状况。它们不能提供量化数据。并且,目测检查技术最多也只能检测大于20微米的粒子。因此,需要一种可以检测小于一微米的粒子的技术。2、通过将胶带片施加到测试表面上而将粒子由测试表面上移走。然后,通过将该胶带放置在显微镜下目测粒子数量而对胶带上的粒子人工计数。该技术可以检测大约5微米或更大的粒子。该技术的主要缺点在于十分费时,并且其灵敏度随操作者的不同而改变。3、第三种测量技术披露于如下相关公开专利文献:一种表面粒子检测器(CN01818705.6)包括:可在表面上滑动的扫描器探头,用于对通过的粒子计数的粒子计数器,和包括连接在扫描器探头和粒子计数器之间的一对管的导管。粒子计数器包括泵,该泵用于产生将来自表面的粒子 ...
【技术保护点】
1.一种表面微粒分析仪,包括分析仪壳体,其特征在于:还包括过滤器、气泵、激光传感器、电控单元以及可调节密封的取样装置,其中取样装置的进气端管路上连通有过滤器,取样装置的出气端管路上连通有激光传感器,且过滤器及激光传感器均与气泵连通,由气泵、过滤器、取样装置及激光传感器组成闭合的气路循环;所述电控单元分别与激光传感器、电源及气泵连接。
【技术特征摘要】
1.一种表面微粒分析仪,包括分析仪壳体,其特征在于:还包括过滤器、气泵、激光传感器、电控单元以及可调节密封的取样装置,其中取样装置的进气端管路上连通有过滤器,取样装置的出气端管路上连通有激光传感器,且过滤器及激光传感器均与气泵连通,由气泵、过滤器、取样装置及激光传感器组成闭合的气路循环;所述电控单元分别与激光传感器、电源及气泵连接。2.根据权利要求1所述的一种表面微粒分析仪,其特征在于:所述取样装置包括样品台及取样块,其中样品台固定安装在分析仪壳体的顶部,该样品台上铰装取样块;所述取样块的末端制有定位凹槽,取样块底部制有通气凹槽,该通气凹槽内制有垂直穿透取样块的进气孔及出气孔;所述样品台的中部活动安装有与通气凹槽配合密封的弹簧板,样品台...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡子平,高俊涛,吕寅,王晓庆,
申请(专利权)人:天津天河分析仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:天津,12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。