【技术实现步骤摘要】
一种分离式便携小型扫描电子显微镜
：本专利技术涉及一种分离式便携小型扫描电子显微镜，属于扫描电镜研究
适用于需要灵活使用扫描电镜量测部分或对扫描电镜二次开发的情况。
技术介绍
：目前，现有的扫描电子显微镜主要由电子光学系统、真空系统、信号采集处理系统、图像显示记录系统组成，体积较大且质量较重，不利于携带和二次开发，通常只能在实验室内使用。针对这一问题，本专利技术设计了一种分离式便携小型扫描电子显微镜，可通过高速无线通信技术，实现将光学量测及信号采集系统、控制及成像系统分离，实现扫描电子显微镜的模块化，提高其量测部分的便携性，通过共享与整合控制及成像系统，减小所需的空间，实现扫描电子显微镜的小型化，有助于扫描电子显微镜的野外量测和二次开发。
技术实现思路
：本专利技术涉及的一种分离式便携小型扫描电子显微镜，由光学量测及信号采集系统、控制及成像系统、高速无线通信系统组成。其中：一、光学量测及信号采集系统光学量测及信号采集系统由阴极电子枪、加速电压、电磁透镜、偏转线圈、样品台、真空泵、探测器、防护室组成。其中，偏转线圈、探测器外接高速无线通信装置一，高速无线通信装置一通过相容性无线电波实现有线信号和无线信号之间的相互转换，接收信号控制偏转线圈产生周期性偏转磁场，探测器收集信号电子并将数据通过高速无线通信装置一输出。光学量测及信号采集系统通过独立供电装置驱动运作，提高其便携性，有助于野外量测及二次开发。二、控制及成像系统控制及成像系统包括扫描发生器、高性能数据快速处置系统。扫描发生器、高性能数据快速处置系统外接高速无线通信装置二，高速无线通信装置二通过相容性无...
【技术保护点】
1.一种分离式便携小型扫描电子显微镜由光学量测及信号采集系统、控制及成像系统、高速无线通信系统组成；所述的光学量测及信号采集系统由阴极电子枪、加速电压、电磁透镜、偏转线圈、样品台、真空泵、探测器、防护室组成；阴极电子枪、加速电压、电磁透镜、偏转线圈、样品台、真空泵依次上下同轴心安装于防护室内，探测器位于防护室下腔体的一侧；所述的高速无线通信系统由高速无线通信装置一、高速无线通信装置二组成；所述的控制及成像系统由扫描发生器、高性能数据快速处置系统组成；偏转线圈、探测器外接高速无线通信装置一，扫描发生器、高性能数据快速处置系统外接高速无线通信装置二；通过高速无线通信系统，扫描发生器远程控制偏转线圈产生周期性偏转磁场并使电子束作光栅式扫描，高性能数据快速处置系统远程接收探测器收集的信号电子数据结果并进行信号记录、处理和成像显示；通过高速无线通信系统实现光学量测及信号采集系统、控制及成像系统的分离，提高光学量测及信号采集系统的便携性，共享与整合控制及成像系统实现扫描电子显微镜小型化。
【技术特征摘要】
1.一种分离式便携小型扫描电子显微镜由光学量测及信号采集系统、控制及成像系统、高速无线通信系统组成；所述的光学量测及信号采集系统由阴极电子枪、加速电压、电磁透镜、偏转线圈、样品台、真空泵、探测器、防护室组成；阴极电子枪、加速电压、电磁透镜、偏转线圈、样品台、真空泵依次上下同轴心安装于防护室内，探测器位于防护室下腔体的一侧；所述的高速无线通信系统由高速无线通信装置一、高速无线通信装置二组成；所述的控制及成像系统由扫描发生器、高性能数据快速处置...
【专利技术属性】
技术研发人员：周翠英，梁彦豪，刘镇，陆仪启，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：广东,44
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