转印方法、转印装置以及模具制造方法及图纸

本发明专利技术涉及转印方法、转印装置以及模具。实施方式的转印装置(41)控制成在基板(3)设置于基板设置部(45)、模具(7)设置于模具设置部(47)、遮蔽单元(13)设置于遮蔽单元设置部(51)的状态下，由模具推压部(49)将模具(7)推压到基板(3)，由第1定位部(53)进行遮蔽单元(13)相对于模具(7)的定位，由照射部(55)向设置于基板(3)的表面的未固化的材料(11)照射预定的波长的电磁波。

Transfer printing method, transfer device and mould

The invention relates to a transfer printing method, a transfer device and a mold. The transfer device (41) of the embodiment is controlled to push the mold (7) to the substrate (3) in a state in which the substrate (3) is set at the substrate setting section (45), the mold (7) is set at the mold setting section (47), and the shading unit (13) is set at the shading unit setting section (51), and the mold (7) is pushed to the substrate (3) by the mold pushing section (49), and the shading unit (13) is made relative to the mold by the first positioning section (53). A positioning device (7) irradiates electromagnetic waves of predetermined wavelengths from the irradiation part (55) to an uncured material (11) arranged on the surface of the substrate (3).

【技术实现步骤摘要】
转印方法、转印装置以及模具
本申请涉及转印方法、转印装置以及模具，特别涉及使用遮蔽单元来进行转印的方案。
技术介绍
作为以往例的转印装置，已知如下转印装置：在该转印装置中，将紫外线固化树脂设置于基板的表面，将形成有预定的转印图案的长的片状的模具卷绕于辊而使辊移动，将模具推压到基板，通过紫外线的照射使紫外线固化树脂固化，从而将模具的转印图案转印到紫外线固化树脂(参照JP2014-040070A)。
技术实现思路
在以往例的转印装置中，在将紫外线固化树脂推压到模具而转印的情况下，未固化的树脂在模具的周边溢出。特别在使辊移动而转印的情况下，在转印结束时未固化的树脂被挤出到模具外而溢出。当在该状态下照射紫外线时，溢出的树脂固化。该溢出而固化的树脂在去除时花费工夫。本申请的目的在于提供一种转印方法、转印装置以及模具，能够对转印图案以外的部位的紫外线固化树脂进行遮蔽而使得不被照射紫外线，将转印图案以外的部位的紫外线固化树脂保持为未固化的状态，在转印图案的转印后在未固化的状态下容易地去除不需要的转印图案以外的部位的紫外线固化树脂。实施方式的转印方法具有：基板设置工序，将基板设置于基板设置部，在该基板的表面设置有通过照射预定的波长的电磁波而固化的材料；模具推压工序，将形成有预定的转印图案的模具推压到设置于基板设置部的基板；遮蔽单元定位工序，将遮蔽单元相对于模具进行定位，该遮蔽单元形成有透射预定的波长的电磁波的预定形状的电磁波透射部；以及照射工序，在将遮蔽单元相对于模具进行了定位的状态下经由遮蔽单元的电磁波透射部对设置于基板的材料照射预定的波长的电磁波。根据本申请，能够提供能够对转印图案以外的部位的紫外线固化树脂进行遮蔽而使得不被照射紫外线，将转印图案以外的部位的紫外线固化树脂保持为未固化的状态，在转印图案的转印后在未固化的状态下容易地去除不需要的转印图案以外的部位的紫外线固化树脂的转印方法、转印装置以及模具。转印图案以外的部位的未固化的状态的不需要的紫外线固化树脂例如能够通过擦去而容易地去除。附图说明图1A是示出利用实施方式的转印方法制造的产品的图，图1B是图1A中的IB向视图，图1C是示出图1A中的IC―IC剖面的图，图1D是图1C中的ID部的放大图。图2A是图1中的II部的放大图，示出了产品为良品的情况，图2B、2C、2D是图1中的II部的放大图，示出了产品为不良品的情况。图3A是示出利用实施方式的转印方法制造的产品的制造方法的图，图3B是示出图3A中的IIIB―IIIB剖面的图，图3C是图3B中的IIIC部的放大图。图4A是示出利用实施方式的转印方法制造的产品的制造方法的图，图4B是示出图4A中的IVB―IVB剖面的图，图4C是图4B中的IVC部的放大图。图5A是示出利用实施方式的转印方法制造的产品的制造方法的图，图5B是示出图5A中的VB―VB剖面的图，图5C是图5B中的VC部的放大图。图6是示出实施方式的转印的概略结构的图。图7是图6中的VII向视俯视图。图8是图6中的VIII―VIII剖视图。图9是图6中的IX―IX剖视图。图10是图6中的X―X剖视图。图11是示出实施方式的转印装置的动作的图。图12是示出实施方式的转印装置的动作的图。图13是示出实施方式的转印装置的动作的图。图14是示出实施方式的转印装置的动作的图。图15A、15B、15C是示出使实施方式的转印装置的推压辊移动而将模具推压到基板的动作的图。图16A是示出在设置于实施方式的转印装置的基板上设置的紫外线固化树脂的方式的图，图16B、16C、16D是示出其变形例的图。图17A是示出在图4A所示的转印方法中使用的遮蔽单元的图，图17B是示出变形例的遮蔽单元的图，图17C是图17B中的XVIIC－XVIIC剖视图，图17D是图17C中的XVIID部的放大图。图18A是示出使用了图17B－17D所示的遮蔽单元的转印方法的图，是与图4A对应的图，图18B是图18A中的XVIIIB－XVIIIB剖视图，图18C是图18B中的XVIIIC部的放大图。图19是示出将转印图案转印到1张基板的多个部位的情况的图。图20是示出将转印图案转印到1张基板的多个部位的情况的图。图21A、21B是示出实施方式的转印装置的调节辊(dancerroller)的变形例的图。图22是示出实施方式的转印装置的辊的变形例的图。图23A是示出将遮蔽单元设置于模具的情况下的转印方法的图，是与图3A、图4A对应的图，图23B是示出图23A中的XXIIIB－XXIIIB剖面的图，图23C是图23B中的XXIIIC部的放大图。具体实施方式使用图1、2，说明利用实施方式的转印方法制造的产品(或半成品)1。为了方便说明，将水平的预定的一个方向设为X轴方向(前后方向)，将作为水平的另外一个预定的方向且相对于X轴方向正交的方向设为Y轴方向(宽度方向)，将相对于X轴方向和X轴方向正交的方向设为Z轴方向(上下方向)。产品1例如被用作触摸面板传感器、液晶显示装置的滤波器，具备基板3以及预定形状(预定图案)的凸部5。基板3例如由玻璃、合成树脂构成。凸部5例如由通过照射预定的电磁波而固化的材料(例如固化的紫外线固化树脂)构成。凸部5通过转印形成于模具7的转印图案9(参照图3等)而形成为预定形状。凸部5设置于基板3的厚度方向(Z轴方向)的一个面。在图1A中，凸部5能够看成是由相互邻接的多个正六角形的边构成。接下来，说明凸部5相对于基板3的位置。关于产品1，将从基板3的端面起的距离如图2A所示为作为设计尺寸的“L1”、“L2”的产品作为良品。另一方面，如图2B所示，从基板3的端面起的距离为“L3”、“L4”(L3>L1；L4>L2)，或者如图2C所示，从基板3的端面起的距离为“L5”、“L6”(L5<L1；L6<L2)，或者如图2D所示，将凸部5斜着倾斜的产品作为不良品。接下来，说明产品1的制造方法(转印方法)。首先，将基板3设置于基板设置部45，在该基板3的表面设置有通过照射预定的波长的电磁波(例如紫外线)而固化的未固化的材料(例如未固化的紫外线固化树脂)11(基板设置工序)。基板3例如为矩形且薄的平板状，厚度方向为Z轴方向。未固化的紫外线固化树脂11以成为薄的膜状的方式设置于基板3的上表面的例如整个面。接着，如图3所示，为了将模具7的转印图案9转印到未固化的紫外线固化树脂11，将形成有预定的转印图案9的模具7推压到表面设置有未固化的紫外线固化树脂11的基板3(模具推压工序)。模具7由使紫外线透射的材料构成。如图3所示，在模具推压工序中被推压到基板3的模具7的部位为平板状。在模具推压工序中将模具推压到基板的状态下，基板3和模具7的厚度方向为Z轴方向，模具7位于基板3的上侧。另外，形成于模具7的下表面的转印图案9进入到设置于基板3的上表面的未固化的紫外线固化树脂11。转印图案9由在Z轴方向上稍微突出或者凹陷的预定的形状的凹凸形成。此外，最好具有在将模具7推压到基板3的模具推压工序之前进行相对于基板3和模具7的厚度方向正交的方向(X轴方向、Y轴方向)上的基板3相对于模具7的定位、绕相对于Z轴平行的轴(C轴)的、基板3相对于模具7的定位的工序(基板及模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转印方法，其特征在于，具有：基板设置工序，将基板设置于基板设置部，在该基板的表面设置有通过被照射预定的波长的电磁波而固化的材料；模具推压工序，将形成有预定的转印图案的模具推压到设置于所述基板设置部的所述基板；遮蔽单元定位工序，将遮蔽单元相对于所述模具进行定位，该遮蔽单元形成有透射所述预定的波长的电磁波的预定形状的电磁波透射部；以及照射工序，在将所述遮蔽单元相对于所述模具进行了定位的状态下，经由所述遮蔽单元的所述电磁波透射部对设置于所述基板的所述材料照射所述预定的波长的电磁波。

【技术特征摘要】
2017.02.28 JP 2017-036967;2017.02.28 JP 2017-037011.一种转印方法，其特征在于，具有：基板设置工序，将基板设置于基板设置部，在该基板的表面设置有通过被照射预定的波长的电磁波而固化的材料；模具推压工序，将形成有预定的转印图案的模具推压到设置于所述基板设置部的所述基板；遮蔽单元定位工序，将遮蔽单元相对于所述模具进行定位，该遮蔽单元形成有透射所述预定的波长的电磁波的预定形状的电磁波透射部；以及照射工序，在将所述遮蔽单元相对于所述模具进行了定位的状态下，经由所述遮蔽单元的所述电磁波透射部对设置于所述基板的所述材料照射所述预定的波长的电磁波。2.根据权利要求1所述的转印方法，其特征在于，在所述遮蔽单元定位工序中进行了所述遮蔽单元的定位的状态下，所述遮蔽单元的所述电磁波透射部位于所述模具的形成有所述转印图案的区域的内侧。3.根据权利要求1所述的转印方法，其特征在于，所述转印方法具有基板及模具定位工序，在该基板及模具定位工序中，在所述模具推压工序中将所述模具推压到所述基板之前，进行所述基板相对于所述模具的定位。4.根据权利要求1所述的转印方法，其特征在于，所述遮蔽单元的所述电磁波透射部的形状与所述模具的所述转印图案的形状一致，所述遮蔽单元定位工序是使所述遮蔽单元的所述电磁波透射部的位置与所述模具的所述转印图案的位置相互一致的工序。5.根据权利要求1所述的转印方法，其特征在于，通过一边改变所述基板相对于所述模具的位置一边将所述模具推压工序、所述遮蔽单元定位工序以及所述照射工序反复多次，从而将所述转印图案转印到设置于所述基板的所述材料。6.一种转印装置，其特征在于，具备：基板设置部，设置有基板，该基板的厚度方向为上下方向，在该基板的表面设置有能够通过将预定的波长的电磁波照射到上表面而固化的未固化的材料；模具设置部，形成有预定的转印图案的模具设置于所述模具设置部；模具推压部，将设置于所述模具设置部的所述模具以使厚度方向成为上下方向并且使所述预定的转印图案位于下表面的方式推压到设置于所述基板设置部的所述基板；遮蔽单元设置部，遮蔽单元设置于所述遮蔽单元设置部，该遮蔽单元形成有透射所述预定的波长的电磁波的预定的形状的电磁波透射部；第1定位部，进行设置于所述遮蔽单元设置部的所述遮蔽单元相对于设置于所述基板设置部的所述基板和设置于所述模具设置部的所述模具的定位；照射部，经由设置于所述遮蔽单元的所述遮蔽单元的电磁波透射部、以及由所述模...

【专利技术属性】
技术研发人员：小久保光典，杉浦裕喜，藤原茂，桥本有纪，
申请(专利权)人：东芝机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP