The utility model discloses a device for reducing the movement pollution of a linear motor, which is mounted at the side and/or bottom of the linear motor. The device comprises a plate-shaped plate body and a plurality of ventilation tubes, wherein the ventilation tubes are distributed in the plate body and the nozzles at both ends of the ventilation tubes are distributed adjacent to the plate body. The length direction of the ventilation tubes is the same as the moving direction of the linear motor, and the length of the ventilation tubes is larger than the width of the moving parts on the linear motor. The device can balance the positive and negative pressure caused by the rapid movement of the components, thus avoiding the turbulent flow, so that the fine particles and oil dirt produced by the equipment installed with the device can not be scattered on the panel because of the drastic change of wind pressure.
【技术实现步骤摘要】
一种降低线性电机移动污染的装置
本技术涉及显示面板生产
,尤其涉及一种降低线性电机移动污染的装置。
技术介绍
在面板(TFT/AMOLED)制程往高分辨率发展过程中,因像素被设计的愈来愈小,面板被制程设备产生的污染影响也愈来愈严重。在设备中,部件移动是不可避免的,要让这些大型部件准确精密的移动就需要线性电机,但部件在快速移动造成的风压、伴随的油污以及细粉屑是影响制程良率的一个主要因素。目前,部件在快速移动时,通常采取的措施是:在线性电机下方安装防油/尘盖或是在侧向安装盖板。但部件在快速移动时两侧的风压不平衡,风压过大会向上或向下乱窜以平衡压力,从而造成扬尘,使油污飞溅。有鉴于上述的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种降低线性电机在移动时造成的污染装置,使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种降低线性电机在移动时造成的污染装置,能够在部件快速移动时,平衡部件两侧的气压,避免油污飞溅、扬尘。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种降低线性电机移动污染的装置,安装于所述线性电机的侧部和/或底部,所述装置包括平板状的板体和多个通气管,其中,各所述通气管分布在所述板体中,且各所述通气管两端的管口分布于所述板体邻近所述线性电机的一侧表面;各所述通气管的长度方向与所述线性电机的移动方向相同,且所述通气管的长度大于所述线性电机上的移动部件的宽度。进一步的,还包含过滤网,所述过滤网可拆卸地设置于所述板体上,且覆盖各所述管口。进一步的,各所述通气管分成多排平行分布在所述板体中,且相邻两排的所述通气管同一端对应的两个所述管口的圆心的连线距离为 ...
【技术保护点】
1.一种降低线性电机移动污染的装置,安装于所述线性电机的侧部和/或底部,其特征在于,所述装置包括平板状的板体和多个通气管,其中,各所述通气管分布在所述板体中,且各所述通气管两端的管口分布于所述板体邻近所述线性电机的一侧表面;各所述通气管的长度方向与所述线性电机的移动方向相同,且所述通气管的长度大于所述线性电机上的移动部件的宽度。
【技术特征摘要】
1.一种降低线性电机移动污染的装置,安装于所述线性电机的侧部和/或底部,其特征在于,所述装置包括平板状的板体和多个通气管,其中,各所述通气管分布在所述板体中,且各所述通气管两端的管口分布于所述板体邻近所述线性电机的一侧表面;各所述通气管的长度方向与所述线性电机的移动方向相同,且所述通气管的长度大于所述线性电机上的移动部件的宽度。2.根据权利要求1所述的降低线性电机移动污染的装置,其特征在于,还包含过滤网,所述过滤网可拆卸地设置于所述板体上,且覆盖各所述管口。3.根据权利要求1或2所述的降低线性电机移动污染的装置,其特征在于,各所述通气管分成多排平行分布在所述板体中,且相邻两排的所述通气管同一端对应的两个所述管口的圆心的连线距离为L,该两个所述通气管轴心线之间的距离为H,且L>H。4.根据权利要求3所述的降低线性电机移动污染的装置,其特征在于,相邻两排的所述通气管同一端...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭连俊,杨慎东,颜圣佑,
申请(专利权)人:苏州精濑光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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