一种抛光装置及抛光设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种抛光装置及抛光设备，属于抛光设备领域。抛光装置包括机架、抛光盘、第一驱动装置、支撑架、活动架、第二驱动装置和夹具，抛光盘可转动的设置于机架。第一驱动装置用于驱动抛光盘相对机架绕第一竖轴线转动。支撑架设于机架上。活动架与支撑架活动连接。第二驱动装置用于驱动活动架相对支撑架竖向移动。夹具可转动的设置于活动架，夹具能够相对活动架绕第二竖轴线转动，夹具位于抛光盘的上方。在抛光过程中，由于夹具与活动架转动连接，抛光盘在转动的同时将带动整个夹具转动，从而带动晶体转动，进而提高了对晶体的抛光效果。

【技术实现步骤摘要】
一种抛光装置及抛光设备
本专利技术涉及抛光设备领域，具体而言，涉及一种抛光装置及抛光设备。
技术介绍
高效率激光晶体LBO，YCOB等非先生光学晶体，时用于超短、超强激光器的关键非线性材料，该类晶体具有宽的透过范围，适中的非线性系数，高损伤阈值和良好的化学和机械特性，广泛应用于激光倍频以及光参量振荡器和光参量放大器等强激光领域。在对晶体的加工过程中，需要利用抛光装置对晶体进行抛光，现有的抛光装置一般仅依靠旋转的抛光盘对晶体进行抛光，抛光效果差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种抛光装置，以改善现有抛光装置抛光效果差的问题。本专利技术的目的在于提供一种抛光设备，以改善现有抛光装置抛光效果差的问题。本专利技术是这样实现的：基于上述第一目的，本专利技术提供一种抛光装置，包括：机架；抛光盘，所述抛光盘可转动的设置于所述机架；第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动；支撑架，所述支撑架设于所述机架上；活动架，所述活动架与所述支撑架活动连接；第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述活动架相对所述支撑架竖向移动；夹具，所述夹具可转动的设置于所述活动架，所述夹具能够相对所述活动架绕第二竖轴线转动，所述夹具位于所述抛光盘的上方。本专利技术优选实施例中，所述抛光装置还包括第三驱动装置；所述支撑架与所述机架活动连接，所述第三驱动装置用于驱动所述支撑架相对所述机架移动，以使第二竖轴线沿所述抛光盘的径向移动。本专利技术优选实施例中，所述夹具包括放置盘，所述放置盘上设有用于放置晶体的放置孔。本专利技术优选实施例中，所述夹具还包括夹具座和挤压件，所述夹具座可转动的设置于所述活动架；所述放置盘可移动的设置于所述夹具座上，所述放置盘能够相对所述夹具座竖向移动；挤压件，所述挤压件设于所述夹具座，当所述放置盘向靠近所述夹具座的方向竖向移动时，所述挤压件能够挤压所述晶体。本专利技术优选实施例中，所述挤压件包括固定体、活动体和弹性件；所述固定体与所述夹具座连接，所述活动体可移动的设置于所述固定体，所述活动体能够相对所述固定体竖向移动；所述弹性件设于所述活动体与所述固定体之间，所述弹性件具有推动所述活动体相对所述固定体竖向向下移动的趋势。本专利技术优选实施例中，所述活动体包括用于挤压所述晶体的挤压体，所述挤压体位于所述放置孔内；所述放置孔的孔壁上设有限位部，所述限位部位于所述挤压体竖向向上移动的轨迹上。本专利技术优选实施例中，所述放置孔为上小下大的锥形结构。本专利技术优选实施例中，所述活动体还包括杆体，所述固定体上设有导向孔，所述杆体的一端与所述挤压体连接，所述杆体的另一端延伸至所述导向孔内；所述杆体上设有第一凸出部，所述导向孔的孔壁上设有第二凸出部，所述第二凸出部位于所述第一凸出部竖向向下移动的轨迹上。本专利技术优选实施例中，所述夹具还包括至少两个导向件，所述导向件为伸缩结构，所述导向件的一端与所述夹具座连接，所述导向件的另一端与所述放置盘连接。基于上述第二目的，本专利技术提供一种抛光设备，包括抛光液供给装置和上述的抛光装置，所述抛光液供给装置用于为所述抛光盘提供抛光液。本专利技术的有益效果是：本专利技术提供一种抛光装置，工作时，晶体设于夹具中，在第二驱动装置作用下，活动架可相对支撑架竖向向下移动，从而使放晶体与抛光盘接触，抛光盘在第一驱动装置的作用下转动，从而对晶体进行抛光处理。在抛光过程中，由于夹具与活动架转动连接，抛光盘在转动的同时将带动整个夹具转动，从而带动晶体转动，进而提高了对晶体的抛光效果。本专利技术提供一种抛光设备，包括上述抛光装置，具有上述抛光装置的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本专利技术实施例1提供的抛光装置的结构示意图；图2为图1所示的支撑架的结构示意图；图3为图1活动架的结构示意图；图4为图1所示的夹具的结构示意图；图5为图4所示的挤压件的结构示意图；图6为本专利技术实施例2提供的抛光设备的结构示意图。图标：100-抛光装置；10-机架；11-顶板；12-底板；13-支撑杆；14-滑槽；20-抛光盘；21-抛光层；22-基层；23-转轴；30-第一驱动装置；31-第一电机；32-第一齿轮；33-第二齿轮；40-支撑架；41-底座；42-导柱；43-中心孔；44-条形通孔；50-活动架；51-第一套筒；52-连杆；53-第二套筒；60-第二驱动装置；61-第二电机；62-第一丝杆；70-夹具；71-放置盘；711-放置孔；712-限位部；72-夹具座；73-挤压件；731-固定体；7311-导向孔；7312-第二凸出部；732-活动体；7321-杆体；7322-挤压体；7323-第一凸出部；733-弹性件；74-导向件；741-外管；742-内杆；80-第三驱动装置；81-第三电机；82-第二丝杆；90-中心轴；200-抛光设备；210-出液管。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本专利技术实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。实施例1如图1所示，本实施例提供一种抛光装置100，包括机架10、抛光盘20、第一驱动装置30、支撑架40、活动架50、第二驱动装置60、夹具70和第三驱动装置80。抛光盘20可转动的设置于机架10，第一驱动装置30用于驱动抛光盘20相对机架10绕第一竖轴线转动；支撑架40设于机架10上，活动架50与支撑架40活动连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光装置，其特征在于，包括：机架；抛光盘，所述抛光盘可转动的设置于所述机架；第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动；支撑架，所述支撑架设于所述机架上；活动架，所述活动架与所述支撑架活动连接；第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述活动架相对所述支撑架竖向移动；夹具，所述夹具可转动的设置于所述活动架，所述夹具能够相对所述活动架绕第二竖轴线转动，所述夹具位于所述抛光盘的上方。

【技术特征摘要】
1.一种抛光装置，其特征在于，包括：机架；抛光盘，所述抛光盘可转动的设置于所述机架；第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动；支撑架，所述支撑架设于所述机架上；活动架，所述活动架与所述支撑架活动连接；第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述活动架相对所述支撑架竖向移动；夹具，所述夹具可转动的设置于所述活动架，所述夹具能够相对所述活动架绕第二竖轴线转动，所述夹具位于所述抛光盘的上方。2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括第三驱动装置；所述支撑架与所述机架活动连接，所述第三驱动装置用于驱动所述支撑架相对所述机架移动，以使第二竖轴线沿所述抛光盘的径向移动。3.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具包括放置盘，所述放置盘上设有用于放置晶体的放置孔。4.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具还包括夹具座和挤压件，所述夹具座可转动的设置于所述活动架；所述放置盘可移动的设置于所述夹具座上，所述放置盘能够相对所述夹具座竖向移动；挤压件，所述挤压件设于所述夹具座，当所述放置盘向靠近所述夹具座的方向竖向移动时，所述挤压件能够挤压所述晶体。5.根据权利要求4所述的抛光装置，其特征在于，所述挤压件包括固...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯晶，谢瑞清，陈贤华，李洁，廖德锋，钟波，邓文辉，田亮，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川,51