The utility model relates to the field of electronic components detection technology, and discloses a 20W submicron three-dimensional X ray real-time imaging detection system, including: X ray protection frame component, computer display, electrical control panel, main door, loading door, servo control component, same step air floating self balancing device, X ray shadow Such as device, X ray tube, high pressure lead device and motherboard, computer display, electric control panel and synchronous air floating self balancing device are installed on the X ray protection frame component; the loading door is installed on the main door; the servo control component is installed on the synchronous air floating self leveling device; the X ray image device is installed in the device. Servo control component. The utility model obtains the three-dimensional imaging, through the servo control component, realizes the 360 degree omnidirectional detection, and uses the synchronous air floating shock absorption self balancing device as the supporting device to provide stable support, and has the advantages of adjusting synchronization and good balance.
【技术实现步骤摘要】
一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统
本技术涉及电子元器件检测
,特别是涉及一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统。
技术介绍
X射线实时成像检测系统是电子、半导体行业用来测试电子元器件的内部缺陷的测试系统,通过一定能量的激发产生X射线,X射线穿透被测物体,然后投射到X射线影像装置上,X射线影像装置根据X射线被吸收后的情况,通过计算把被测物体的结构呈现出来,以方便对被测物体的内部缺陷进行分析。目前X射线实时成像检测系统主要由X射线机、平板探测器、计算机、检测工装以及防护装置组成。其原理是:X射线穿透待测构件后被平板探测器接收,平板探测器将不可见的X射线信号转换为可见光图像,再通过图像采集卡将可见光图像转换为数字图像,并输入到现场的计算机中,在计算机上通过控制软件和图像处理软件实现高质量X射线图像的采集和显示。但是,在数字平板式X射线实时成像检测系统度无损检测上,由于X射线机大多固定不动或者只有两个自由度,因而只能广泛应用在工业产品的简单构件的检测上,无法满足对焊件所有位置焊缝的检测,适用范围受局限。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是X射线机大多固定不动或者只有两个自由度,因而只能广泛应用在工业产品的简单构件的检测上,无法满足对焊件所有位置焊缝的检测,适用范围受局限的问题。为解决上述技术问题,本技术采用的一个技术方案是:提供了一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统,包括:X射线防护框架组件、电脑显示器、电气控制面板、主门、装载门、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置和主板,所述电脑显示器通 ...
【技术保护点】
1.一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统,其特征在于,包括:X射线防护框架组件、电脑显示器、电气控制面板、主门、装载门、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置和主板,所述电脑显示器通过显示器支架安装在所述X射线防护框架组件上,所述电气控制面板、所述同步气浮减震自平衡装置、所述主门、所述主板安装于所述X射线防护框架组件上;所述装载门通过铰链安装在所述主门上,用于装载被测物体时作为窗口使用;所述伺服运动控制组件安装于所述同步气浮减震自平衡装置上;所述X射线影像装置安装于所述伺服运动控制组件上,所述X射线管固定在所述主板上,所述高压导联装置安装于所述X射线管底部,所述电气控制面板分别与所述电脑显示器、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置相连接。
【技术特征摘要】
1.一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统,其特征在于,包括:X射线防护框架组件、电脑显示器、电气控制面板、主门、装载门、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置和主板,所述电脑显示器通过显示器支架安装在所述X射线防护框架组件上,所述电气控制面板、所述同步气浮减震自平衡装置、所述主门、所述主板安装于所述X射线防护框架组件上;所述装载门通过铰链安装在所述主门上,用于装载被测物体时作为窗口使用;所述伺服运动控制组件安装于所述同步气浮减震自平衡装置上;所述X射线影像装置安装于所述伺服运动控制组件上,所述X射线管固定在所述主板上,所述高压导联装置安装于所述X射线管底部,所述电气控制面板分别与所述电脑显示器、伺服运动控制组件、同步气浮减震自平衡装置、X射线影像装置、X射线管、高压导联装置相连接。2.根据权利要求1所述的一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统,其特征在于,所述伺服运动控制组件,还包括:X马达、X丝杆、承载板、Y马达、Y丝杆、Y板、Z马达、Z向组件、旋转马达、旋转轴、皮带轮、皮带、弧形轨道、左右移动马达和滑动轮,所述X丝杆安装于所述Y板上,所述Y丝杆安装于所述Z向组件上,所述Z向组件安装于所述主板上;所述X马达、所述Y马达、所述Z马达、所述旋转马达、所述左右移动马达都与所述电气控制面板相连接;所述X马达通过X丝杠驱动承载板在X方向移动,所述Y马达通过Y丝杆驱动Y板在Y方向上移动,所述Z马达驱动Z向组件在Z方向上移动,所述左右移动马达通过滑动轮带动所述X射线影像装置在所述弧形轨道上左右旋转,所述旋转马达通过所述旋转轴、皮带轮、皮带驱动弧形轨道前后旋转,用于实现5轴联动。3.根据权利要求2所述的一种20W亚微米级三维X射线实时成像检测系统,其特征在于,所述X射线影像装置通过滑轮安装于所述弧形轨道上,位于所述X射线管上方...
【专利技术属性】
技术研发人员:张斌,
申请(专利权)人:达格测试设备苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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