柔性OLED显示面板及其形成方法技术

本发明专利技术提供了一种柔性OLED显示面板及其形成方法，在柔性基底上形成钝化层后，至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层，然后在所述柔性基底上形成平坦化层。本发明专利技术通过去除走线上方的部分区域的钝化层或者完全去除走线上方的钝化层，缓解了走线与其上方膜层之间的应力，进而降低了走线断裂的几率。

Flexible OLED display panel and its forming method

The present invention provides a flexible OLED display panel and a forming method. After forming a passivation layer on a flexible substrate, at least the passivation layer on the part of the line above the line is removed, and a planarization layer is formed on the flexible substrate. The invention relieves the stress between the line and the upper layer by removing the passivation layer above the part of the walking line or completely removing the passivation layer above the walking line, thus reducing the probability of the line breaking.

【技术实现步骤摘要】
柔性OLED显示面板及其形成方法
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种柔性OLED显示面板及其形成方法。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)因其能耗低、分辨率高、亮度高、发光效率高、响应速度快、视角宽、不需背光源、成本低、驱动电压低等诸多优点,在平板显示和光源等领域具有广泛的研究、应用前景。让显示器可以自由弯曲已经成为未来各种智能应用的屏幕的发展趋势。与传统的刚性显示器相比，柔性显示器具有诸多优点，例如耐冲击，抗震能力强，重量轻，体积小，携带更加方便等。使用塑料、聚酯薄膜或胶片等材料作为基板，OLED面板可以做到更薄，甚至可以折叠或卷起来，可实现柔性软屏显示和柔性光源。柔性OLED显示面板通常需要在其边框区域形成各种走线，比如VDD电源走线和VSS电源走线，以为像素单元提供高电压和低电压。然而，实践中发现，在柔性OLED显示面板使用过程中，其边框区域的走线很容易断裂，影响显示效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种柔性OLED显示面板及其形成方法，以减小边框区域的走线断裂的几率。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种柔性OLED显示面板的形成方法，包括：提供一柔性基底，所述柔性基底包括显示区和非显示区，所述柔性基底的非显示区内形成有走线；在所述柔性基底上形成钝化层；至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层；以及在所述柔性基底上形成平坦化层。可选的，在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中，至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层的步骤，包括：去除所述走线上方的部分区域的钝化层，在所述走线上方的钝化层中形成孔洞，所述平坦化层填充至所述孔洞中并覆盖所述钝化层的表面。可选的，在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中，至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层的步骤，包括：去除所述走线上方的所有区域的钝化层，所述平坦化层覆盖所述走线的表面。可选的，在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中，所述走线是非显示区内的VDD电源走线和/或非显示区内的VSS电源走线。可选的，在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中，所述钝化层是含氢的介质层。进一步的，所述钝化层是含氢的氧化硅、含氢的氮化硅以及含氢的氮氧化硅中的一种或多种，所述钝化层通过化学气相沉积以及退火工艺形成。可选的，在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中，所述平坦化层是聚酰亚胺。可选的，在所述的柔性OLED显示面板的形成方法中，在所述柔性基底上形成平坦化层之后，还包括：在所述柔性基底的显示区内依次形成阳极、有机材料功能层和阴极。根据本专利技术的另一面，还提供一种柔性OLED显示面板，包括：柔性基底，所述柔性基底包括显示区和非显示区，所述非显示区内形成有走线；以及形成于所述柔性基底上的平坦化层；其中，所述平坦化层覆盖所述走线，或者，所述柔性基底和平坦化层之间设置有一具有孔洞的钝化层，所述平坦化层填充所述孔洞并覆盖所述钝化层的表面。与现有技术相比，本专利技术在柔性基底上形成钝化层后，至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层，然后在所述柔性基底上形成平坦化层。本专利技术通过去除走线上方的部分区域的钝化层(在钝化层中形成若干个孔洞)或者完全去除走线上方的钝化层(平坦化层直接覆盖走线)，可缓解走线与其上方膜层之间的应力，进而降低了走线断裂的几率，并且不影响像素单元正常发光。附图说明图1a至图1d是本专利技术实施例一中柔性OLED显示面板的电源走线、钝化层以及平坦化层的剖面结构示意图；图2a至图2d是本专利技术实施例二中柔性OLED显示面板的电源走线以及平坦化层的剖面结构示意图。具体实施方式在
技术介绍
中已经提及，由于柔性OLED显示面板需要经常弯折，随着弯折次数的增加，其非显示区(边框区域)的走线(如VDD电源走线和VSS电源走线)很容易发生断裂，影响屏体显示质量。申请人研究发现，产生电源走线断裂的原因是走线与其上方的钝化层之间具有较大的应力，尤其是VDD电源走线和VSS电源走线需要流过较大电流，因此线宽一般在数百到上千微米，较宽的VDD电源走线和VSS电源走线与钝化层之间更容易产生较大的应力，导致其在弯曲过程中更容易出现断裂。基于此，本专利技术提供一种柔性OLED显示面板及其形成方法，在柔性基底上形成钝化层后，至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层，然后在所述柔性基底上形成平坦化层。本专利技术通过去除走线上方的部分区域的钝化层(在钝化层中形成若干个孔洞)或者完全去除走线上方的钝化层(平坦化层直接覆盖走线)，可缓解走线与其上方膜层之间的应力，进而降低了走线断裂的几率，并且不影响像素单元正常发光。以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的柔性OLED显示面板作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需要说明的是，图中只是示意性的表示出柔性OLED显示面板的非显示区的局部剖面结构，其中各层薄膜厚度和区域大小形状并不反映OLED显示面板的真实比例和布局，目的只是示意性的说明本实施例的内容。实施例一图1d是本专利技术实施例一中柔性OLED显示面板的电源走线、钝化层以及平坦化层的剖面结构示意图。如图1d所示，所述柔性OLED显示面板包括柔性基底100、形成于所述柔性基底100的非显示区(边框区域)内的走线120、钝化层140和平坦化层160，所述走线120上方的钝化层140中具有若干个孔洞140’(结合图1c所示)，所述平坦化层160填充至所述孔洞140’中并覆盖所述钝化层140的表面。在柔性基底100上形成钝化层140后，去除走线120上方的部分区域的钝化层(在钝化层140中形成若干个孔洞140’)，可缓解走线120与其上方膜层(此处是指钝化层140)之间的应力，进而降低了走线断裂的几率。所述柔性基底100通常为透明柔性基底，所述柔性基底的形状可为平面、曲面或其他不规则形状。这里，所述柔性衬底基板可以包括聚乙烯(polyethylene，简称PE)、聚丙烯(Polypropylene，简称PP)、聚苯乙烯(Polystyrene，简称PS)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PolyethyleneTerephthalate，简称PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PolyethyleneNaphthalate，简称PEN)、以及聚酰亚胺(Polyimide，简称PI)中的至少一种。应理解的是，所述柔性基底100的材质以及形状在此不做限制。所述走线120可以是VDD电源走线，即，VDD电源走线区域上方的钝化层140中具有若干个孔洞140’，平坦化层160填充至所述孔洞140’中并覆盖所述钝化层140的表面。所述走线120也可以是VSS电源走线，即，VSS电源走线区域上方的钝化层140中具有若干个孔洞140’，平坦化层160填充至所述孔洞140’中并覆盖所述钝化层140的表面。所述走线120还可以是VDD电源走线和VSS电源走线，即，VDD电源走线区域和VSS电源走线区域上方的钝化层140中均具有若干个孔洞140’，平坦化层160填充至所述孔洞140’中并覆盖所述钝化层140的表面。当然，本专利技术中的走线并不限制为VDD电源走线或VSS电源走线，边框区域内其它走线(如扇形区内的走线)上方的钝化层中也可以设置孔洞，以缓解该区域的应力。此外，在实际应用中，通过光刻工艺图形化走线120上方的钝化层以形成孔洞时本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性OLED显示面板的形成方法，其特征在于，包括：提供一柔性基底，所述柔性基底包括显示区和非显示区，所述柔性基底的非显示区内形成有走线；在所述柔性基底上形成钝化层；至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层；以及在所述柔性基底上形成平坦化层。

【技术特征摘要】
1.一种柔性OLED显示面板的形成方法，其特征在于，包括：提供一柔性基底，所述柔性基底包括显示区和非显示区，所述柔性基底的非显示区内形成有走线；在所述柔性基底上形成钝化层；至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层；以及在所述柔性基底上形成平坦化层。2.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的形成方法，其特征在于，至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层的步骤，包括：去除所述走线上方的部分区域的钝化层，在所述走线上方的钝化层中形成孔洞，所述平坦化层填充至所述孔洞中并覆盖所述钝化层的表面。3.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的形成方法，其特征在于，至少去除所述走线上方的部分区域的钝化层的步骤，包括：去除所述走线上方的所有区域的钝化层，所述平坦化层覆盖所述走线的表面。4.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的形成方法，其特征在于，所述走线是非显示区内的VDD电源走线和/或非显示区内的VSS电源走线。5.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的形成方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：高胜，袁波，徐琳，刘玉成，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32