The invention discloses a multi dimension compatible LED thickness detection automation device, including a wafer box library, a manipulator, a pre aligned platform and a marble air floatation platform. One side of the manipulator is provided with a crystal box library, and the other side of the manipulator is provided with a pre aligned platform at a position of ninety degrees with the wafer box. Because of the use of 12 wafer storehouses, and the method of grasping and placing wafers by the manipulator, the detection efficiency is greatly improved compared with the previous manual wafer placement. The invention has added a pre alignment platform part to make the positioning precision of the wafer far higher than that before the final detection. By manual placement, the detection precision is greatly improved; the invention has a marble air floatation platform, compared with the traditional mechanical testing platform, and the better platform performance makes the detection precision greatly improved.
【技术实现步骤摘要】
一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备及其检测方法
本专利技术属于LED厚度检测设备
,具体涉及一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备及其检测方法。
技术介绍
随着近年来国内半导体行业的迅猛发展,晶圆的需求量也大大提升了,晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其尺寸按直径可分为2英寸,4英寸,6英寸,8英寸,12英寸等;在晶圆的生产过程中,会经过切割、研磨、抛光等一系列工序,晶圆片的厚度对其以后的加工和生产有着重要的影响,所以在生产的每一道工序之后对晶圆进行厚度检测是十分必要的。在目前的行业中,检测设备均为人工上片,检测效率低下,已无法满足日益增长的晶圆产量,所以一种自动检测晶圆厚度的设备来满足产量已显得尤为必要。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本专利技术提供了一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备及其检测方法,具有可检测不同规格的晶圆片、检测精度高、检测效率大幅度提高的特点。本专利技术另一目的在于提供一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备的检测方法。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,包括晶圆盒库、机械手、预对准平台和大理石气浮台,所述机械手的一侧设置有晶圆盒库,所述机械手的另一侧且与晶圆盒库成九十度的位置设置有预对准平台,所述机械手远离晶圆盒库的一侧设置有大理石气浮台;所述晶圆盒库的内部设置有晶圆盒适配器,所述晶圆盒适配器共设置有十二个,十二个所述晶圆盒适配器共分为上下两层,所述晶圆盒适配器的一侧边设置有第二传感器,所述第二传感器靠近晶圆盒适配器的底部设置有第一传 ...
【技术保护点】
1.一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,包括晶圆盒库(1)、机械手(2)、预对准平台(3)和大理石气浮台(4),其特征在于:所述机械手(2)的一侧设置有晶圆盒库(1),所述机械手(2)的另一侧且与晶圆盒库(1)成九十度的位置设置有预对准平台(3),所述机械手(2)远离晶圆盒库(1)的一侧设置有大理石气浮台(4);所述晶圆盒库(1)的内部设置有晶圆盒适配器(11),所述晶圆盒适配器(11)设置有多个,多个所述晶圆盒适配器(11)共分为上下两层,所述晶圆盒适配器(11)的前端设置有第二传感器(14),所述第二传感器(14)靠近晶圆盒适配器(11)的底部设置有第一传感器(13),所述晶圆盒适配器(11)的上方设置有2英寸晶圆盒(15)或者4英寸晶圆盒(12);所述机械手(2)的一侧设置有机械手L轴臂(22),且机械手(2)的另一侧设置有机械手R轴臂(25),所述机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)的一侧均设置有抓取手(21),且机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)共同的另一侧设置有机械手Z轴臂(24),所述机械手L轴臂(22)的尾端设置有第三传感器(23);所述预对准平台(3)的一侧 ...
【技术特征摘要】
1.一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,包括晶圆盒库(1)、机械手(2)、预对准平台(3)和大理石气浮台(4),其特征在于:所述机械手(2)的一侧设置有晶圆盒库(1),所述机械手(2)的另一侧且与晶圆盒库(1)成九十度的位置设置有预对准平台(3),所述机械手(2)远离晶圆盒库(1)的一侧设置有大理石气浮台(4);所述晶圆盒库(1)的内部设置有晶圆盒适配器(11),所述晶圆盒适配器(11)设置有多个,多个所述晶圆盒适配器(11)共分为上下两层,所述晶圆盒适配器(11)的前端设置有第二传感器(14),所述第二传感器(14)靠近晶圆盒适配器(11)的底部设置有第一传感器(13),所述晶圆盒适配器(11)的上方设置有2英寸晶圆盒(15)或者4英寸晶圆盒(12);所述机械手(2)的一侧设置有机械手L轴臂(22),且机械手(2)的另一侧设置有机械手R轴臂(25),所述机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)的一侧均设置有抓取手(21),且机械手R轴臂(25)与L轴臂(22)共同的另一侧设置有机械手Z轴臂(24),所述机械手L轴臂(22)的尾端设置有第三传感器(23);所述预对准平台(3)的一侧设置有CCD检测仪(31),且预对准平台(3)的另一侧设置有调整台(32);所述大理石气浮台(4)的中间位置设置有厚度检测传感器(41),上下共两个,同心设置,所述两个厚度检测传感器(41)的中间位置设置有兼容2,4寸的检测载物运动台(42)。2.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,其特征在于:所述晶圆盒库(1)、预对准平台(3)和大理石气浮台(4)均安装在以机械手Z轴臂(24)为圆心的不同半径的圆上。3.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,其特征在于:所述晶圆盒适配器(11)兼容2英寸的晶圆盒(15)和4英寸的晶圆盒(12)。4.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,其特征在于:所述调整台(32)由三个运动轴组成,所述三个运动轴分别为水平方向的直线运动轴X、竖直方向的直线运动轴Z以及旋转轴R组成。5.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,其特征在于:所述两个厚度检测传感器(41)能够在竖直方向进行微调。6.根据权利要求1所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备,其特征在于:所述检测载物运动台(42)能够在水平面上做X,Y两维运动。7.根据权利要求1-6任一项所述的一种多尺寸兼容的LED厚度检测的自动化设备的检测方法,主要包括以下步骤:(1)放置晶圆盒:由操作人员将2英寸晶圆盒(15)或者4英寸晶圆盒(12)放入晶圆盒库(1)里的晶圆盒适配器(11)中;(2)有无晶圆盒检测:晶圆盒适配器(11)中装有第一传感器(13),能够自动检测库中是否存在2英寸晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:周俊晨,陆敏杰,
申请(专利权)人:无锡纵合创星科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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